Криогенный насос

Криогенный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

КРИОГЕННЫЙ НАСОС, содержащий корпус и расположенные в нем внутри охлаждаемого теплозаи1итного экрана криопанель и криосорбционную стуnelhb , отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик насоса путем автоматического включения в работу криосорбционной ступени, посл1едняя выполнена в виде концентрично размещенных с образованием кольцевой полости сильфонов, нижние торцы которых герметично закреплены на криопанели, а верхние образуют самоуплотняемое соединение, причем полость внутреннего сильфона заполнена водородом, а кольцевая полость - аргоном. (Л CZ 00 N) Ю сл

СОКИ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„.80„„032215 зсмк 4 В 08

„1

Л

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3405172/25-06 (22) 02.03.82 (46) 30.07 83. Бюл. к 28 (72) A.Â. Громов и И.Д. Костицкий (53) 621;527.8(088.8) (56) 1. Иинайчев В.E. Вакуумные крионасосы..И., "Энергия", 1976, с. 93.

2. 0атент Франции И 2161483, кл. Р 04 В 37/00, опублик. 1972. (54)(57) КРИОГЕННЦЙ НАСОС, содержац ий корпус и расположенные в нем внут, ри охлаждаемого теплозащитного экрана криопанель и криосорбционную ступе4ь, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных харак" теристик насоса путем автоматического включения в работу криосорбционной ступени, последняя выполнена в виде концентрично размешенных с образованием кольцевой полости сильфонов, нижние торцы KQTOpblx герметично закреплены на криопанели, а верхние образуют самоуплотняемое соединение, причем полость внутреннего сильфона заполнена водородом, а кольцевая полость — аргоном.

1 10322

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенных вакуумных насосов.

Известен криогенный насос, содержащий корпус и расположенную в нем внутри охлаждае огр теппозащитного экрана криопанель L 1).

Недостатком известного насоса является невозможность откачки трудно" конденсируемых газов, температура кон- 10 денсации которых ниже температуры криопанели.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является криогенный на- 15 сос, содержащий корпус и расположенные в нем внутри охлаждаемого теплозащитного экрана криопанель и криосорбционную ступень (21.

Наличие криосорбционной ступени обеспечивает откачку трудноконденсируемых газов с температурой конденсации ниже температуры криопанели, однако существенными недостатками этого насоса являются наличие значитель- 2S ных теппопритоков при подаче на криопанель газа, сконденсированный слой которого используется в качестве сорбента дпя трудноконденсируемых газов,,и невозможность автоматического вклю30 чения в работу- криосорбционной ступени.

Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса путем автоматического включения в раЬоту криосорбционной ступени. 35

Указанная цель достигается тем, что в криогенном насосе, содержащем корпус и расположенные в нем внутри охлаждаемого теплозащитного экрана 40 криопанепь и криосорбционную сту" пень, последняя выполнена в виде концентрично размещенных с образованием кольцевой полости сильфонов, нижние торцы которых герметично закреплены 45 на криопанели, а верхние образуют самоуплотняемое соединение, причем полость внутреннего сильфона заполнена

15 2 водородом, а кольцевая полость - аргоном.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Криогенный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем вйутри охлаждаемого и теплоэащитного экрана 2 криопанель 3 и криосорбционную ступень, которая выполнена в виде концентрично .размещенных с образованием кольцевой полости 4 сильфонов 5 и 6, нижние торцы которых герметично закреплены на криопанели 3, а верхние образуют самоуплотняемое соединение 7, причем полость сильфона 5 заполнена водоро" дом, а кольцевая полость 4 - аргоном.

Охлаждение криопанели производится от криогенератора 8.

Насос работает следующим ооразом.

При предварительном вакуумировании крионасоса внешней системой откачки вследствие увеличения разности давлений между полостью корпуса 1 и полостями сильфонов 5 и 6 происходит дополнительное уплотнение соединения 7, так как сильфоч 6 выбирается более жестким. Далее схпаждаются экран 2 и криопанель 3 с сильфонами 5 и 6. При достижении температуры тройной точки аргон конденсируется в по" лости 4 на поверхности сильфонов и криопанели, и давление в полости 4 понижается. Дальнейшее охлаждение криопанели приводит к снижению давления в полости сильфона 5, а при достижении температуры конденсации водорода последний конденсируется на внутренней поверхйости сильфона 5 и давление в сипьфоне 5 уменьшается настолько, что деформация его приводит к разуплотнению соединения 7.

Трудноконденсируемые газы, в основном гелий, неоткачанный криопанелью, поступают в полость 4, где адсорбируются переохпаждающими слоями аргона.

Таким образом, предлагавмый насос позволяет улучшить откачные характеристики вследствие снижения тепловых нагрузок на криопанель.

Составитель В. Кряковкин

Редактор П. Макаревич Техрев О.Неце Корректор B „Ãèðíÿê

Заказ 5365/41 Тираж Я5 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

11 ОЯ Москва Ж-Я Ра шская наб. л. 4/5

Я . Я . д.

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная.