Способ измерения коэффициента отражения оптической поверхности

Способ измерения коэффициента отражения оптической поверхности

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ COBETCHHX

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

nw ail

SU (У1 G 01 и 21/55

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

Ф

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

; .д .ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ -. -:..:;;:, .;.".!

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3416631/18-25 (22) 05.04.82 (46) 30.07.83. Бюл. И 28 (72) Е.Т.Антропов, В,Т,Карпухий, В.Б,Конев и Н,С.Скуратов (71) Институт высоких температур

АН СССР (53) 535.241(088,8) (56) 1. Антропов E,Т. и др, Приборы и техника эксперимента. 1975, с. 197.

2, Авторское свидетельство СССР

I . 135256, кл. G 01 J 1/42, 1961 (прототип) . (54)(57) СПОСО6 ИЗМЕРЕНИЯ КозффИЦИЕНТА ОТРАЖЕНИЯ ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХИОСТИ путем направления потока излучения перпендикулярно к исследуемой оптической поверхности через полу- . прозрачный светоделитель, располо" женный перед этой поверхностью под углом 45» к потоку регистрации отра женного светоделителем излучения поворота светоделителя на 180 вокруг оси потока и регистрации отраженного от светоделителя излучения

1» в обратном ходе после нормального отражения от.исследуемой оптической поверхности, о.т л и ч а юшийся тем, что, с целью лоанаения точности измерения, дополнительно поворачивают светоделитель на .угол 90а вокруг оси, перпендикулярной к осям направляемого на свето-. делитель и отраженного от него ïîтоков, регистрируют отраженное от светоделителя излучение li > коэф", фициент отра ения вычисляют по формуле Н @/1 1 ь .

1032375 1

Изобретение относится к оптичес- ким измерениям и может быть использовано для измерения коэффициента. отражения оптических поверхностей, например лазерных зеркал.

Известен способ измерения коэффй циента отражения оитической поверхности, состоящий в том, что излучение от источника пропускают через полупрозрачный светоделитель на приемник излучения, а затем изменяют оптическую схему, перемещая оптические элементы для получения. отражения от измеряемой поверхности, при сохранении общей длины оптического пути в измерительном тракте 1. 1 ), Однако указанный способ не позволяет измерять коэффициент отражения при нормальном падении излучения на измеряемую поверхность, что необходимо при исследовании характеристик лазерных зеркал.

Наиболее близким к предлагаемому является способ измерения коэффици" ента отражения оптической поверхности .путем направления потока излучения перпендикулярно к исследуемой оптической поверхности через полупрозрачный светоделитель., расположенный перед этой поверхностью под углом 4$ к потоку, регистрации отраженного от светоделителя излучения l, поворота светоделителя на 180< вокруг оси потока и регистрации отраженного от светоделителя излучения в обратном ходе после мормального отражения от исследуемой оптической поверхности. Затем вычисляют коэффициент отражения, причем коэффициент f пропускания светоделителя измеряют заранее, например, путем калибровки по эталониому-зеркалу с заранее известным коэффициентом отражения 1 2 .

Недостаток известного способа заключается в низкой точности измеса рения. В частности, при несовпадении спектрального состава излучения источника и кривых спектрального пропускания оптического тракта при изменении отражения эталонного зеркала и при изменении характеристик неизвестного зеркала ошибка в окончательном значении коэффициента отражения может быть значительной.

Цель изобретения - повышение точности измерения коэффициента отраже" ния оптической поверхности за счет исключения использования эталонного зеркала.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измерения коэффициента отражения оптической поверхности путем направления потока излучения перпендикулярно к исследуемой оптической поверхности через йолупрозрачный светоделитель, расЮ положенный перед этой поверхностью од углом 45 к потску, регистрации отраженного светоделителем излучения Iq, поворота светоделителя на

180 вокруг оси потока и регистрации

15 отраженного от светоделителя излучения I< в обратном ходе после нормального отражения от исследуемой оптической поверхности, дополнительно поворачивают светоделитель на угол 90,вокруг оси, перпендикулярной к осям направляемого на светоделитель и отраженного от него потоков, регистрируют отраженное от светоделителя излучение 15 и коэф2S фициент отраиения и вычисляют по формуле Я„gl<> .

Тасое выполнение способа позволяет повысить точность измерений коэффициента отражения зеркал, так как в нем исключена операция калибровки по эталонному зеркалу из-за дополнительного поворота светоделителя и регистрации

На фиг. 1-3 представлена схема осуществления предлагаемого способа

З5 при расположении светоделителя под углом 4, 180 и 900 соответственно.

Схема включает измеряемую поверхность 1 и полупрозрачный светоделитель 2, На фиг. 1-3 обозначены коэф" фициент R отражения, подлежащий измерению; коэффициент к отражения отражающей поверхности светоделителя; коэффициеят 9 пропускания светодели45 теля; интенсивность lb noxowa 3ayчения от источника (не показан); измеряемая интенсивность I и I

1» 2 З выходного потока излучения соответственно в первом, втором и третьем замерах.

Измерение коэффициента отражения выполняют следующим образом.

Пропускают поток излучения Iо от источника через светоделитель, уста55 новленный под углом 45 к оси потока (фиг. 1)у и регистрируют интенсиb» ность 1 излучения, отраженного от аветоделителя и падающего на фотоприемник (не показан).

1032375

Составитель С.Непомнящая

Редактор А.Лежнина Техред И.Гайду КорректоР Г,Решетник

Заказ 5394/49 . Тираж 873 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

tl3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, Поворачивают светоделнтель на

180» вскруг оси направляемого потока (фиг. 2), пропускают поток излучения снова через светоделитель и далее на исследуемую поверхность, установленную нормально к оси первичного потока,и регистрируют интенсивность I излучения, отраженного от светоделителя в обратном ходе после отражения от измеряемой поверхности и падающего на фотоприемник, Затем поворачивают светоделитель о на угол 90 вокруг оси, перпендикулярной к оси направляемого от источника потока и оси отраженного потока излучения (эта ось нормальна . плоскости чертежа), при этом схема получает расположение, представленное на фиг. 3.

Снова пропускают поток излучения

I под углом 45О через светоделитель

0 и регистрируют интенсивность I> потока излучения, отраженного от све тоделителя и падающего на фотоприемник.

Вычисляют неизвестйый коэффициент отражения на осноеанни зарегистрированных интенсивностей I, fg и .4, Так как I.й g 4 1, и у Й, 5 I» й, то, разревив Систему урав-. нений относительно и, получаем—

К- /Е/!, 1, Повышение точности измерения ко .ярфицнента отражения оптических деталей, главным .образом лазерных. зеркал, приводит к меньшей мх отбраковке при последующем использовании и снижению расхода дорогостоящих металлов (в основном золота), применяемых для on"

I5 тического покрытия лазерных зеркал а

И(-области, В связи с устранением ручной операции .- калибровки по эталонному зеркалу, предлагаемый способ может

zo быть легко автоматизирован,что приведет к значительному снижению удельных трудозатрат при его использова" нии для цехового контроля при серийном производстве измеряемых из"

25 делий.