Способ определения асимметрии магнитного поля линз электронного микроскопа

Способ определения асимметрии магнитного поля линз электронного микроскопа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

_#_ 103408

Класс 21е, 12

21е, 36:,„

СССР

<,р ) ;"

О П И С А Н И Е И З О Б Р Е Т Е:Н И-Fl

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

П. A. Стоянов

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АСИММЕТРИИ МАГНИТНОГО ПОЛЯ ЛИНЗ

ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Заявлено 12 яннаря 1951 г. за М Г)6346/441459 в Гост«лни)<у СССР

)):)об))етснис oT)lo<)lт )I мерения осевой асимметрии магнитного поля в линзак электронного згикрос) опа. основанным на баллистическом методе измерения разности импульсог, электродьпжущик сил двум катушек. одна из которым — компенсационная — распело;кена Hà о;и поля, а другая — измерительная — на пери@ерин, на некотором расстоянии от оси линзы. 1)oíñòðóêöè)) ирпоора обеспечивает постоянство электродвижущей силы компенсационной катушки п прямо пропорппональнуго зависимость элсктродвижущей силы оТ изменения потокосцспления измерительной катуни;и, служащей для измерения асимметрии поля.

Потокосцеплеиие изменяется, н;))ц)имер, иерекл)очением тока, питая)щего линзу, с Ilp)D10I о направления иа обратное н;ги с максимума до нуля.

Способ измерения может быгг полезным при контроле качества <нолюснык

)шконечниксв электромагнитным линз электронного микроскопа.

На чертеже показан прибор и разрезе

И СЕЧЕНИЕ ИО Лг),.

Катушки смонтированы на корпусе из немагннтного материала. 1) озгпенсационная катушка (1) (большего дпамегра1 соосна с отверстиями полюсного наконечника (2), ось пзмерптельной катушки (3) (меньшего диаметра) не совпадает с геометрической ось)о полюсного накоггечанка. Измерительная катушка (3) иомсщаегея в продольном пазу корпуса (4) так, ITo плоскости витков обеик кату)пек совпада)от, а измерительная катушка оказывается внутри компенсационной.

Обмотки обеих катушек вкгпочены встречно, так что наводни гс в них алектродвижу)цие силы вычитаются.

1),орпус, на котором смонтированы оо нату)пкп, имеет на одном конце посадочное место. плотно входя)цее в одно и; .)тверстий полгосного н<зггонечника, что

)беспечивает вращение всего Il))II))opo вокруг геомстрическойг оси.

Прп вращении измерительная катушка попадает в различные участки поля, отстоящие от оси на равном расстоянии.

Не потокосцепление изменяется только прп наличии отступлений поля от аксиальнзй симметрии. Потокосцепленпе компенсационной катушки всегда остается постоянным. таг. как прп вращении она поворачивается вокруг собственной <я и, не согещаясь относительно поля.

11увствительность пзмеритстьного у<;Tройства к л)обг,гзг неоднородностям поля может быть резко повышена путем увеличения числа витков измерительной катушки при надтежащей компенсации пк соответствующим .числом BIITEQB компенсационной катушки.

Виткп компенсационной катушки могут быть прп желанпи подобраны так, что результирующая элегтродвпжущая шыа 00(и. fi< т) ш(. ционяльня и;!)(Онени!О иотокосцеиления нзмеритсльио!! катушки. В случае Отеуя(т!>И>! яеичм(Tpffff ПО ГОI<0(цеилен!1е изме)>!(((!(ьнон liудгт иогтояннО. ))

СУ)(М<(()НЯ 5(,55>.(Е)<ТР:ill;Jt<(УИ(;l)l 11,1

1<<(ТУП(с!< В МОМ(,}> Г ИЗМЕН(НИЯ О(<ЫЕЕ (5!

))ЯВНОИ. Ilb 110. Ь Jlf)()7()01(0)) СЛУЧЯГ. Ji0(,l

О(. из(мегри!! Ilû(.(!1(51, II0то(<0(. цси I(.Iпп! 114)и, (>и) 0<(О!!011 НЯТ < Ill!

Ill(, IЦ)пч("((. ).Мч5) (нля обепя !(я(уше)(, измеренная ирпооР011, (>h;I(т Ill>0T(0(>I(l(0)(8! ьн<1 .>том) It))II(><(J I !(! НИ(0.

Л:!Е(<<Г()ОДИНi!<УUl, )5((! It l<(. )>О,IIIII(i<(10(t(<(5(И .ЧОЧЕ(1 Г И(ЧЕ!)ЕНИН. МО)0(1 (>ЬГ(Ь ИЗ>(Е!)(!ьнь(м ба)1

ЦРГД)(е J и:«,>ОРеlет! I)I

Способ опреде (el(1(a асимметрии магнитного поля линз электронного микроОНОИЯ, О ГЛНЧЯ,(О!ЦийСЯ тЕМ, ЧтО, целью и,)мерения величины асиммет(>!!и по;!5(, и иое,>(сднеи устянавлива10т .(Не 1!ы!О линзе, а другую эксцентрично. и по разности э:(ектродоижуп(пх сил !(атушск, иза(еряемым, например, баллистическим гальват(0)(стром, (улот (О> асимметрии иягнитно

I0 ИО)(З.

Ст. Г>еда>(то)) Л. A. Се1)жанне(тн))(1159787 .1)т )":)/IX 1956 r. Ста>н)т@рт(>)>т). Объем (),125 п. л, Tap 700, Ц на 26 кон.

Тппографи)()(:)<(-ВЯ «M0<:кон(нян п(>ЯНЯ((», (Хотялпне)(ИИ П(>р,,,"<. Зап. 4466