Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос

Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

КСМБИНИРОВАННЫЙ МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС, содержащий герметичный ксрпус с размещенными в нем карманами с магнитами , разделяющими корпус .на секторы , в которых установлены испарители геттера, а между карманами разлЕщены разрядные блоки с плоскими электродами, отличающийс я тем, что, с целью повышения удельной быстроты откачки и улучшения условий эксплуатации, карманы расположены друг над другом симметрично относительно диаметральной плоскости насоса, а поверхности электродов разрядных блоков перпендикулярны оси насоса, при этом карманы выполнены сквозными и герметично соединены с корпусом по их торнем . W с 00 4

(19) (!1) СОЮЗ СОВЕТСКИХ

ВНМИСЬ

РЕСПУБЛИК

Заю Н 01 З 41

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРКТЕНИЙ И ОтНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИ ЕЛЬСТВУ (21) .3417319/18-21 (22) 29 ° 01.82 (46) 07.08.83. Бюл. Р 29 (72) Н.П. Решетняк, В.В. Нойсс и С.Д. Островка (53) 621.528(088,8) (56) 1. Ахманов Ш.A. и др. Комбинированные электроразрядиые геттерно-ионные насосы, Обзорная информация, Сер. ХМ-6 ЦИНТИХИМНефтемаш, 1979, с. 33.

2. Авторское свидетельство СССР

Р 943920, кл. Н 01 3 41/16, 1980 (прототип) . (54) (57) КОМБИНИРОВАННЫЙ МАГНИТО-.

РАЗРЯДНЫЙ PETTEP HO-ИОННЫЙ НАСОС

I содержащий герметичный ксрпус с размещенными в нем карманами с магнитами, разделяющими корпус .на секторы, в которых установлены испарители геттера, а между карманами размещены разрядные блоки с плоски.ми электродами, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения удельной быстроты откачки и улучшения условий эксплуатации, карманы расположены друг над другом симметрично относительно диаметральной плоскости насоса, а поверхности электродов разрядных блоков перпен" дикулярны оси насоса, при этом кар маны выполнены сквозными и герметично соединены с корпусом по их торцаме

1034100

Изобретение относится к вакуумной технике и касается, в частности конструирования вакуумных насосов с совмещенными ионной откачкой посред ством разряда Пеннинга и поглощением газов пленкой испаряемого геттера. Оно может найти широкое применение в установках термоядерного синтеза, в электронной промышленности при производстве электровакуумных приборов, радиокомпонентов и других изделий, в металлургии при получении металлов высокой чистоты и в других областях, где для обеспечения технологического процесса

t необходим беэмасляный вакуум.

Известен комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос, содержащий магниторазрядную ступень откачки и испаритель геттера L1).

Такой насос имеет сравнительно невысокую быстроту откачки, так как обладает существенными недостатками, ограничивающими эффективнос ь его быстродействия. Размещение рядов карманов и магниторазрядных блоков у корпуса в виде многоугольника, а испарителей геттера в центральной .камере, внутри магнито-разрядной ступени, не позволяет использовать большую часть внутренней поверхности корпуса и обращенных к ней поверхностей карманов с разрядными блоками между ними для запыления геттером.

Кроме того, насос неудобен в обслуживании. В вертикальном положении эксплуатация и обслуживание насоса затруднены. Прогрев насоса должен осуществляться при предварительно снятых магнитах. Магнитные блоки снимаются со стороны днища вниз

: через открытые концы полых карманов.

Это вызывает необходимость при

I использовании насоса в различных.установках и системах предусматривать возможность доступа к днищу насоса.

Известен также комбинированный магнитораэрядный геттерно-ионный насос, содержащий герметичный корпус с размещенными в нем карманами с магнитами, разделяющими корпус на секторы, в которых установлены ис.парители геттера, а между карманами размещены разрядные блоки с плоскими электродами f23.

В этом насосе ряды карманов с магниторазрядными блоками расположены рядами вдоль радиусов, так, что плоскость симметрии каждого ряда проходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углы между плоскостями симметрии соседних рядов равны, а испарители геттера размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другу стенками соседних рядов карманов.

Йесмотря. на такую компоновку насоса, не вся сорбционная поверхность корпуса насоса и карманов одновременно используется для откачки. Это следует из того, что в много5 .секторных насосах с тремя и более секторами количество работающих одновременно испарителей меньше,чем число секторов. В результате этого по10

65 верхность сорбции используется нерационально. Кроме того, карманы, выступающие внутрь корпуса, сокращает внутренний объем насоса, создавая тем.самым сопротивление поступающему через входной патрубок газу. Все эти факторы в совокупности приводят к снижению удельной быстроты откачки.

Насос также обладает невысокими эксплуатационными показателями при установке в различных положениях.

Цель изобретения - повышение удельной быстроты откачки и улучшение условий эксплуатации насоса.

Поставленная цель достигается тем, что в комбинированном магниторазрядном геттерно-ионном насосе, содержащем герметичный корпус с размещенным в нем карманами с магнитами, разделяющими корпус на секторы, в которых установлены испарители геттера, а между карманами размещены разрядные блоки с плоскими электродами, карманы расположены друг над другом симметрично относительно диаметральной плоскости насоса„ а поверхности электродов разрядных блоков перпендикулярны оси насоса, при этом карманы выполнены сквозными и герметично соединены с корпусом по их торцам.

На фиг. 1 изображен насос, разрез, на фиг. 2 - то же, вид csepxy.

Насос содержит цилиндрический; корпус 1 с днищем, входной патрубок с фланцем 2 для присоединения к откачиваемому объему. В корпусе 1 под фланцем размещены друг над друroM полые сквозные карманы 3, продольные оси которых совпадают с плоскостью симметрии и осью насоса.

Поверхности карманов 3, обоазующиезазор для разрядных блоков, перпендикулярны оси насоса. С двух противоположных сторон в корпусе имеются отверстия, соответствующие профилю карманов, которые совместно с герметично присоединенными к корпусу карманами служат для установки магнитов 4. Карманы снаружи закрыты магнитопроводами 5. Между карманами расположены разрядные блоки, состоящие из ячеистого анода б и катодных пластин 7. По обе стороны от карманов внутри корпуса размещены испарители 8.

Насос предварительно откачивается до давления 13,3 Па, после чего одновременно включаются магни1034100

Составитель А, Захаров

Редактор Е. Лушникова Техреду О,Цеце, Корректор A.Ôeèåíè

Заказ 5635/55 Тираж 703 Подписное

BHHHHH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, R-35, Раушская наб., д. 4/5

ЮЮ» ° В Ю ФФ Ю 4 6 Ф

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 торазрядная ступень и два испарителя, расположенные с противоположных сторон карманов.

Поток газа, проходяцнй через входной патрубок, раздваивается на поверхности верхнего кармана и поступает с двух сторон в разрядные промежутки электродных блоков, а также в области расположения испарителей. 13 разрядных промежутках,газ откачивается за счет ионизации и собирания ионов на катодах, а в об.ласти между карманами и стенками корпуса поглошение газа происходит путем захвата его атомами испаряемого геттера на лету и химического взаимодействия геттера с молекула- ми газа на стенках. Благодаря тому, что вся внутренняя поверхность корпу са используется для откачки, а также благодаря рациональной.компоновке карманов разрядных блоков удельная быстрота откачки, как показыва5 ет расчет, увеличивается по сравнению с айалогом и прототипом в

2,5 и 1,6 раза соответственно.

Насос удобен i обслуживании и эксплуатации, удобен в работе. Сквоэ30 ные карманы позволяют при прогреве насоса легко снимать и устанавливать магнитные блоки с любой стороны карманов. Это позволяет использовать насос в любом положении и

15 не требует наличия больших свободных пространств для его сборки (разборки).