Стекло
Иллюстрации
Реферат
. СТЕКЛО, в ключ ааяцее Si О j, BjOjf A02®3 BaO, о т л и ч a ю ц ее с я тем, что, с целью снижения коа ф4«Ш1енТа линейного Термического рабвшрения и температуры размягчения, оно содержит указанные компоненты при следующем соотношении , «ас,%: Si0247,8-49,9 BjOj9,7-13,5 Ав Оз10,0-10,5 ВаО28,7-29,9
3489С 03 С 3 10
ОПИОАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
IC a50P СЙОМУ åó (21) 3398305/29-33 (22) 17.02 ° 82 (46) 15 ° 08.83. Бюи» 9 30 (72) И.K.Íåèêîâè÷, О.В.Яееар, A.Н.филенко, Д.А.Йлимеискаи и И.Н.Лепик (71) Белорусский ордена Трудового Красного Заамеии политекиический институт . (53 ) ббб. 112 ° 9 (688 ° 8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР
В 540830, кл С 03 С 3/08, 1974.
2. Авторамое свкдетельство СССР по заявке Ф 3289817/29-33, кл. С 03 С 3/10, 1981 (прототип /.
54)(57) CTKN30 включазащее Мо
В О3, М20 и Вао, о т л и ч аю щ е е с гг тем,.что, с целью снижения коэф@вщиента линейного термического рааииреиия и температуры . размягчении, оио содержит указанные иоьвгоиейты нрн следукщем соотиогггеиии, мас, Вг
ЗчОр". 47, 8-49,9
В О3 9,7-13 5
АЗ,О, Вао 28,7-29,9
1035010
47,8-49,9
9,7-13,5
10,0-10 5
28,7-29,9
Стекло
Предлагаемое
Прототип
2 (1
45,5-47,5
6,0-7,0
9,4-10,3
47,8
48,7
49,9
9,7
13,5
11Р9
BZOg
10i0
10,2.
10 5
А02О3
35, 2-30, 1
28,7
29,2
29,9
ВаО
1500
1530+10
1500
1500
Температура выработки, С
1320+10
1300
1300
1300
Кристаллизационная способность, С о
Не кристаллизуется
670+10 730+10
680+10
690+10
48,0+1
54+1
48,0+1
48, О+1
10""-1 О" 2
1О"
10 "2
10"
Химическая устойчивость (потери массы ),%, по отношению к
Н20
0,07-0,10
3,87-4,01
3,1 3-3,29
0,14
0,05
0,04
0,90
0,85
0,35
1 н. НСЕ
1 н. NaOH
1,91
3,35
3 51
Изобретение относится к технологии силикатов и предназначается для использования его в электронике в качестве износостойкого диэлектрика для микросхем специального назначения. 5
Известно стекло (1, включающее, мас.%: SiO 2 15-25; В О 24-36;
АЕ20 16-24; ВаО 18-30; И О 1-5.
Однако данное стекло имеет температуру размягчения 620+15 С, коэф- 10 фициент термического расширения
52-10 +2 .10 град-"и пониженную твердость, что является причиной неустойчивости этих стекол в условиях повышенного абразивного износа. 15
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является стекло (2 ), включающее, мас.%: SiOz 45,5-47,5;
АЕ,О 9,4-1О,3; В,О 6 О-7,0;
ВаО 35,2-39,1.
Компоненты и свойства
Состав стекла, мас.%
sio<
Температура варки, С о
Температура размягчения С о
Коэффициент теплового
-7 -1 расширения, 10, град
Удельное электрическое сопротивление, при 300 С, Ом см
Основными недостатками укаэанного стекла являются высокое з начение коэффициента линейного термического расширения (54 ° 10 град-1) и высокая температура размягчения (730 10 С) .
Цель изобретения — снижение коэффициента линейного термического расширения и температуры размягчения стекла.
Поставленная цель достигается тем, что стекло, включающее SiOZ
В О, АР20 и ВаО, содержит указаннйе компоненты в следующем соотношении, мас.%:
sio
В2О
" 5"3
Конкретные составы стекол и их
Физико-химические свойства приведены в таблице.
1035010
4 б
Составитель Г. Каменских
Редактор A. Гулько ТехредМ.Иадь: Корректор С. Шекмар
Тираж 486 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 5748/20
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Для синтеза стекол используют
Обычную технологию пронэводства, включаюцую составление шихты, варку стекла в газовой печи в кварцевых тиглях при 1500 С, выработку иэделий методами отливки выдувания, .вытягивание и прессование с последующим их отжигом в электрических муфельных печах.
Приведенные в таблице данные
:свидетельствуют, что по сравнению с прототипом преДлагаемое стекло обладает пониженными значениями ко» эффициента теплового расширения и температуры размягчения, что позволяет испольэовать его для создания проплавленного без трещин рельефа на подложках из ситалла СТ-50 в микросхемах специального назначения и предотвратить деформацию ситалловой подложки при обжиге покрытия.