Устройство для нанесения покрытий сложного состава в вакууме

Устройство для нанесения покрытий сложного состава в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ СЛОЖНОГО СОСТАВА В ВАКУУМЕ, содержавшее источник паров наносимого материала, коллектор реактивного iгаза-В виде тора с отверстиями и электродом ионизации, подложкодержатель и источник электропитания, ;ОТЛ и чающееся тем, что, сцелью повышения качества покрытий и технологичности сборки устройства , электрод ионизации выполнен в виде электро1 эолированной втулки, размещенной соосно с коллектором с образованием между наружной поверхностью коллектора и внутренней поверхностью втулки полости для прохождения ионизованного газа, причем электрод ионизации соединен с положительным полюсом источника электропитания . (Л с со СП К .)тному источнику

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

3(59 С 23 С 13/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И AST0PCH0MV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ю

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3241271/18-21 (22) 27.01,81 (46) 15.08.83. Бюл. 9 30 (72) E.В.Изволенский .(53) 621.793.14(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

М 378119, кл. С 23 С 13/08, 1971.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 2616129/18-21, кл..С 23 С 13/00, 1978. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ПОКР1 1ТИЙ СНОЖНОГО СОСТАВА В ВАКУУМЕ, содержав(ее источник паров наносимого материала, коллектор реактивного

ÄÄSUÄÄ 1035092 A,газа.в виде тора с отверстиями и электродом ионизации, подложкодержатель и источник электропитания,,.о т л и ч а ю ш е е с я тем, что, с. целью повышения качества покрытий и технологичности сборки устройства,. электрод ионизации выполнен в виде электроизолированной втулки, размек1енной соосно с коллектором с образованием между наружной поверхностью коллектора и внутренней поверхностью втулки полости для прохождения ионизованного газа, причем электрод ионизации соединен с положительным полюсом источника элект:ропитания.

1035092 Изобретение относится к получению покрытий сложного состава в вакууме и может быть использовано в машиностроении, станкоинструментальной промышленности и других областях науки и техники для иэделий, работающих в тяжелых эксплуатационных условиях.

Известно устройство для нанесения покрытий сложного состава в вакууме, содержащие испаритель-анод, 10 термокатод, коллектор реактивного газа в виде тора с отверстиями по внутреннему диаметру (1), Недостатком этого устройства является низкая степень ионизации ре 15 активного газа, что отрицательно сказывается на качестве покрытий вследствие низкой скорости и полноты протекания плазмохимической .реакции газа с наносимым металлом. 0

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является устройство для нанесения покрытий сложного состава в вакууме, содержащее йсточник паров наносимого материала, коллектор реактивного газа в виде тора с .отверстиями и . электродом ионизации, подложкодержатель и источник электропитания 21.

Недостатками этого устройства

30 являются низкое качество покрытий всл дствие невысокой степени ионизации реактивного газа и нетехнологичность сборки:устройства.

Цель изобретения — повышение ка- 35 честна наносимых покрытий и технологичности сборки устройства.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве .для нанесения покрытий сложного состава в вакууме, со- 40 держащем источник паров наносимого материала, коллектор реактивного газа в виде тора с отверстиями и электродом ионизации, подложкодержатель .и источник электропитания, электрод

I ионизации выполнен в виде электроизолированной втулки, размещенной соосно с коллектором с образованиеммежду наружной поверхностью коллектора и внутренней поверхностью втулки полости для прохождения ионизированного газа, причем электрод ионизации сое-динен с положительным полюсом источника электропитания.

На фиг. 1 изображена принципиаль.ная конструктивная .схема устройства, на фиг. 2 - разрез коллектора с элек. родом ионизации в увеличенном виде узел на фиг. 1).

Устройство для нанесения покрытий

:ложного состава в вакууме содержит 60 источник 1 паров наносимого материала в виде тигля-анода 2 и термокатода 3, коллектор 4 реактивного газа, соединенный с газовой системой с помощью вентиля 5, Соосно с коллектором 4 размещен электрод ионизации в виде втулки б, электроизолированн и от него изолятором 7, причем между наружной поверхностью коллектора 4 и внутренней поверхностью втулки б образуется полость 8 для прохождения ионизованного газа. Над коллектором 4 размещен подложкодержатель 9, соединенный с отрицательным полюсом источника 10 электропитания, положительный полюс которого соединен с тиглем-анодом 2 и электродом б ионизации. Устройство размещейо в вакуумной технологической камере 11. устройство для нанесений покрытий

< сложного состава в вакууме работает следующим образом.

После достижения разрежения в вакуумной камере и нагрева электронной бомбардировкой наносимого материала, размещенного в тигле 2, включается источник 10 электропитания,. и открывается вентиль 5, обеспечивающий доступ реактивного газа в коллектор 4. В межэлектродном про" странстве возникает несамостоятельный разряд в парах наносимого материала.

При прохождении газом разрядного промежутка — полости 8, образованной наружной поверхностью коллектора 4 и внутренней поверхностью втулки б электрода ионизации (полость выделена на фиг. 1 жирными линиями), газ в разряде ионизуется, что существенно повышает эффективность протекания,плазмохимической реакции с испаряемым материалом.

Кроме тога, возникновение разрядов в полости 8 приводит к интенсивному разогреву стенок разрядного промежутка, что вызывает дополнительную активацию реактивного газа.

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет значительно повысить эффективность процесса нанесе- ния покрытий сложного состава, повысить качество покрытий эа счет

° интенсификации плазмохимич"ской реакции возбужденного и ионизованного газа и наносимого металла. Раз.мещение электрода ионизации на наруж. ной поверхности коллектора повыпа .;ет. технологичность устройства,так как существенно упрощает сборку газового коллектора.

-1035092

Составитель С. Иироыкин

Техред й. Бабинец Корректор И.Макаренко

° Ю

РЕдактор И.Касарда

Филиал ППП "Патент", г.уагород, ул.Проектная, 4

Заказ 5764/24 Тирик 956 .. Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, й-35, .Раужская наб., д. 4/5