Устройство для контроля сопротивления

Устройство для контроля сопротивления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ, содержащее гнездо для установки свидетелей и блок кон,- тактов, электрически связанных с блоком контроля сопрртивления, о тли чающееся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройст,ва, гнездо для установки свидетелей выполнено в виде бункера с направляющим каналом и тол катёлем, а блок контактов расположен в направлтощем кангше. 2. Устройство по п. 1, о т л ич а юще ее я тем, что направляю щий канал выполнен с пазок для свидетеля и имеет прямоугольное сечение. (Л С оо 00 со 00

СОЮЗ GOBETCHHX

СОН ЬКП

РЕСПУБЛИК

;И5Р C 23 С 13/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABT0PCH0hOf СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ЮСУДАРСТОЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНЯТИЙ (21) 3377088/18-21 (22) 29. 12. 81 (46) 30. 08. 83. Бюл. Р 32 (72) A. С. Мустафин, А. С. Прибыловский и Б.Н. Фатюнин (53) 621.79(088.8) (56) 1. Минаков В. И. и др. Производство тонкопленочных схем. Л., "Мир", 1973, с. 90-93.

2. Блинов И.Г. и др. Вакуумное .оборудование для нанесения тонких пленок. Справочные материалы по электронной технике. Вып. 1 (7).

Электроника, М., 1969, с. 33-37 (прототип).

SU.„1038380, А (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

СОПРОТИВЛЕНИЯ, содержащее гнездо дпя установки свидетелей и блок,кон- . тактов, электрически связанных с блоком контроля сопротивления, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей устройства, гнездо для установки свидетелей выполнено в виде бункера с направляющим каналом и тол кателем, а блок контактов расположен в направляющем канале.

2, Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что направляющий канал выполнен с пазоМ для свидетеля и имеет прямоугольное сечение. е

1038380

Изобретение относится к средствам нанесения тонких пленок и может быть использовано для контроля сопротивления пленок при изготовлении иэделий микроэлектроники.

Известно устройство для контроля сопротивления пленок, содержащее резистивный свидетель, включенный в электрическую измерительную схему, например мостовую, и размещенный на пути частиц испаренного материала $13.10

Недостаток известного устройства состоит в снижении точности измерений при нанесении многослойных схем. что обусловлено нелинейным характером изменения сопротивления свидете- 15 ля по мере увеличения числа, нанесенных слоев.

Наиболее близким по текнической сущности к предлагаемому является устройство для контроля сопротивления, содержащее гнездо для установки свидетеля, блок контактов, электрически связанный с блоком контроля сопротивления (2).

Недостатком устройства является. малое количество свидетелей, что не позволяет изготовлять схемы с большим количеством резистивных слоев.

Цель изобретения — расширение функциональных воэможностей устрой- ЗО ства.

Поставленная цель достигается тем, .что в устройстве для контроля сопротивления, содержащем гнездо для установки свидетелей и блок кон- 35 тактов, электрически связанных с блоком контроля сопротивления, гнездо для установки свидетелей выполнено в виде бункера с направляющим каналом и толкателем, а блок контактов расположен в направляющем канале.

Причем направляющий канал выполнен с пазом для свидетеля и имеет прямоугольное сечение.

На фиг. 1 показано устройство, общий вид, на фиг. 2 - то же,,поперечный разрез.

Устройство содержит гнездо для установки свидетелей, выполненное. в виде бункера 1 с установленной в нем стопой свидетелей 2, груз 3 50 для фиксации свидетелей в бункере, канал 4 прямоугольного сечения для перемещения свидетелей, имеющий направляющие пазы 5, расположенные в верхней части канала симметрично 55 относительно оси этого канала, а в канале выполнен паз 6 для свидетеля и размещен блок контактов с контактами 7 для подключения свидетелей к блоку контроля сопротивления (контакты могут иметь сверху прижим» ные пружины или же выполняться подпружиненными1-, толкатель 8, соединенный с электромагнитом 9 рычагой

10, на котором закреплена заслонка

1l, проходящим в сквозную прорезь

12 в нижней части канала для перемещения свидетелей. Все элементы устройства размещены на кронштейне

13. Конец направляющего канала для перемещения свидетелей входит внутрь экрана 14 позиции испарения установ ки. Один из контактов изолируется от массы прокладкой 15. Контактирование свидетеля с контактами обес печивается пружинами 16.

Устройство работает следующим образом.

В исходном состоянии нижний свидетель 2 стопы лежит в направляющих пазах 5. На электромагнит 9 подают ток и толкатель 8 продвигает этот свидетель по направляющим пазам и устанавливает его на контакты 7 напротив паза, подключая тем самым к блоку контроля сопротивления. Следующий свидетель удерживается от падения в направляющие пазы телом толкателя. Одновременно поток испаряемых частиц перекрывается заслонкой 11 на время выполнения всех подготовительных операциЯ (смена масок, подложен, испарителей и т.п.) . По завершении подготовительных операций электромагнит 9 возвращает толкатель 8 в исходное состояние и освобождает стопу свидетелей. Нижний свидетель стопы при этом занимает место свидетеля, выдвинутого в позицию испарения.

Начинается напыление слоя, причем поток пара попадает на свидетель только через печь в направляющем канале. Один и тот же свидетель при этом может использоваться в зависимости от требуемой точности контроля до 5-10 раз. После этого точность измерений снижается в 2-3 раза и производится замена свидетеля повторным включением электромагнита 9.

Использованный .свидетель при этом выталкивается из паров 5 и падает на базовую плиту установки.

Устройство позволяет сохранить заданную точность измерений (с изменением не более чем в 2-3 раза) при напылении схем с большими количествами резистивных слоев, не прерывая вакуумного цикла для замены свидетелей. Одновременно повышается производительность установки и качество изготавливаемых в ней схем и деталей.

Составитель Н. Серебряникова редактор Н. Хеаеля Техред.К.Мыцьо Корректор В. Бутяга

Ю ЮЮ Ю Ю Ф В

Заказ 6148/27 Тираж 956 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

123035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 .филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4