Способ химико-термической обработки металлов и сплавов
Иллюстрации
Показать всеРеферат
СПОСОБХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ г ОБРАБОТКИ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ, вклю чающий предварительное нанесение покрытия на поверхность изделий, нагрев до образования жидкой фазы и выдержку с наложением ультразвуковых колебаний, о тличающийс я тем, что, с целью-улучшения каче-. ства диффузионного слоя за счет обёзгаживания и увеличения эвтектоидной зоны, в процессе нагрева производят дополнительную выдержку при температуре на 20-50°С ниже температуры образования жидкой фазы и ультразвуковые колебания накладывают, начиная с этой температуры, при этом весь процесс нагрева и выдержки произво10 а « 10 мм рт.ст. дят в вакууме
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
„„SU„„1044667 А за С 23 С 9/00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
Il0 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA С. ьЦ®Д1, у
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ; .;,";,И
К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ЙИИМОД@ (21) 3385807/22-02 (22) 28.01.82 (46) 30,09.83. Бюл. И 36 (72) А.Д. Соловьев, А.П. Савчук,.
С,Я. Харитонский и R.Ã. Яковенко (71) Опытное конструкторско-технологическое бюро с опытным производст" вом Института металлофизики АН Украинской CCP (53) 621 785.527 (088.8 ) (56) 1. Авторское свидетельство CCCF и 255727, кл. С 23 С 9/02, 1967.
2. Авторское свидетельство CCCP:
У 633929, кл. С 23 С 9/00, 19Щ. (54)(57) СПОСОБ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ, ОБРАБОТКИ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ, вклю чающий пред ва ри тель ное нанесение покрытия на поверхность изделий, нагрев до образования жидкой фазы и выдержку с наложением ультразвуковых колебаний, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью улучшения каче ства диффузионного слоя за счет обеэгаживания и увеличения эвтектоидной эоны, в процессе нагрева производят дополнительную выдержку при температуре на 20-50 С ниже температуры образования жидкой фазы и ультразвуковые колебания накладывают, начиная с этой температуры, при этом весь процесс нагрева и выдержки производят в вакууме 10 - 10 мм рт.ст.
104466
Изобретение относится к химикотермической обработке иэделий из металлов и сплавов и может быть использовано при изготовлении иэделий со специальными физическими свойствами, работающих в вакууме, а именно в сверхвысоковакуумных системах.
Известен способ нанесения покрытий на изделия из металлов и сплавов заключающийся -в том, что в зазор между поверхностью обрабатываемой . детали и уплотненным диффундируемым слоем вводят легкоплавкий порошок металла и обработку ведут при тем- пературе выше температуры плавления. t5 вводимого порошка металла, Но ниже температур!плавления детали и диффундируемого слоя (1 1 .
Однако легкоплавкий порошок металла невозможно равномерно расположить 20 в .зазоре, если зазор имеет разветвленную внутреннюю поверхность, что приводит к неравномерности заданного распределения толщины (глубины ) диф-. фузионной зоны. Наличие легкоплав- 25 кого порошка металла в зазоре между, обрабатываемой поверхностью и диффундируемым слоем создает промежуточный диффузионный переход, что во многих случаях является нежелатель- 30 ным эффектом, так как нарушаету не только заданную глубину, но и заданный состав диффузионной зоны. Кроме того, наличие ненадежного механического контакта между обрабатываемой поверхностью и диффундируемым слоем, способствует неравномерному прогреву как обрабатываемой детали, так и диффундируемого слоя, что вносит дополнитеяьные технологические труд- 40 ности получения равномерной заданной толщины (глубины 1и состава диффузионной эоны.
° Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является способ хими ко-термической обработки металлов и сплавов, включающий предварительное нанесение покрытия на поверхность изделий, нагрев изделий, до образова-50 ния жидкой фазы и выдержку с наложе" нием ультразвуковых колебаний 2 $ .
На поверхности металлов всегда находится окисная пленка, толщина ко-55 торой зависит от технологического процесса и свойств конкретного металла. Наличие окисной пленки, кото-, 7 2 рая находится между обрабатываемым иэделием и диффундируемым слоем, создает дополнительное препятствие для диффузионного процесса, а также вносит соответствующие загрязнения в диффузионную зону, что приводит к нарушению заданной толщины (глубины )и состава диффузионной эоны.
При нагреве изделия из-эа отсутствия . защитной среды окисная пленка увеличивается по толщине и тем самым нарушается и без того ненадежный контакт между поверхностью изделия и диффундируемым слоем, что приводит к неравномерности прогрева этих элементов и вносит дополнительные технологические трудности получения равномерной толщины (глубины ) диффузионной зоны. Кроме того, во время термическо -o процесса поверхность изделия, а также диффундируемый слой сорбируют различные газы и другие, вещества из окружающей среды, что отрицательно сказывается на работоспособности конкретного изделия, предназначенного для работы в условиях, где требуется максимальная чистота поверхности с низким газоотделением с поверхностей, например, в сверхвысоком вакууме, Цель изобретения — улучшение качества диффузионного слоя за счет обезгаживания и увеличение эвтектоидной зоны.
Для достижений поставленной цели согласно способу химико-термической обработки металлов и сплавов, включающему предварительное нанесение покрытия на поверхность изделий, нагрев до образования жидкой фазы и выдержку с наложением ультразвуковых колебаний, s процессе нагрева производят дополнительную выдержку а при температуре на 20-21 С ниже температуры образования жидкой фазы и ультразвуковые колебания накладывают начиная с этой температуры, при этом весь процесс нагрева и выдержки про 5 изводят в высоком вакууме 10
-l0 мм рт.ст.
В результате экспериментальных исследований установлено, что обработку изделий ультразвуком начинают при температуре íà р0-20 С1ниже температуры плавления диффундируемого слоя и выдерживают в таком режиме в течение 10-20 мин, что позволяет
3 10446 производить механическое .обезгаживайие в высоком вакууме с помощью ультразвуковых колебаний.
Обработку изделий ультразвуковыми колебаниями:начинают,при тем, пературе ниже температуры образования жидкой фазы диффундируемого слоя с целью более полного обезгаживания изделия в условиях вакуума..
Такая очистка в процессе механичес- 10 кого,обезгаживания обрабатываемого: иэделия, произведенная непосредственно перед дальнейшей химико-термической обработкой изделия, позволяет получить диффузионнь1й слой со спе. циальными физическими свойствами. и высокой чистотой не только на nosepxности изделия, в и в семой диффузион ной зоне, что играет решающую роль в дальнейшей эксплуатации изделия, 20 предназначенного для работы в вакууме ° .
Затем после выдержки при механи-. ческом обезгаживании в высоком вакууме температуру обрабатываемого 2s изделия повышают до температуры йлавления диффундируемого слоя. Дальнейшее повышение температуры .и выдержка
so времени производятся в зависимос. ти от физических и физико-химических. 30 свойств применяемых металлов как несыщаемого, так и диффундируемого, а также от требуемой глубины диффу. зионной эоны.
Пример ..Проводят химикотермическую обработку медного клада" на для сверхвысоковакуумного затвора . с условным проходом Ду100. Клапан изготовлен из меди марки И1 по
ГОСТ 859-78. В качестве диффундируе- . 4 мого слоя используют гальванически осажденный на поверхность медного клапана слой индия, толщина которого составляет 60 мкм. Гальваническое осаждеиие индия нв поверхность мед" ного клапана проводят в сернокиелой ванне. 8 результате гальванического осаждения индиевое покрытие получа67 4 ется светлым, равномерным по поверх- ности, повторяющим рельеф подложки (медного клапана ), и с прочным адгезионным сцеплением с медью, что яв- ляется важным условием для дальнейшей химико-термической обработки.
Подготовленное таким образом изделие помещают в вакуумную камеру, где в условиях высокого вакуума
10 5 - 10"6 мм рт.ст. прогревают до
130 С, т.е. на 26 С ниже температуры плавления индия (диффундируемого слоя). При выходе на данный температурный режим на изделие воздействуют ультразвуковыми колебаниями в течение
10 мин, т.е. производят механическое обезгаживание в высоком вакууме с помощью ультразвуковых колебаний.
Такая высокоэффективная очистка важна для получения специальных физических и физико-химических свойств изделия, так как оно предназначено для работы в условиях высокого вакуума.
Затем температуру обрабатываемого изделия повышают до точки .плавления индия (156 С ), выдерживая при этом не более 5 мин. Дальнейший технологический процесс заключается в посте" пенном (.s течение 4-5 мин ) повышении температуры до 175 C с последующей выдержкой в течение 10 мин. При этом начиная с обезгаживания, на изделие воздействуют ультразвуковыми коле" баниями с частотой 22 кГц. Длительность. ультразвуковой обработки определяют длительностью всех вышеуказанных этапов до завершения всего процесса.
Аналогичную обработку согласно предлагаемому способу проводят при нанесении предварительного покрытия холодной прокаткой основного металла и наносимого, а также при нанесении предварительного покрытия испарением в вакууме.
В таблице представлены результаты после обработки согласно предлагаемому способу и известному.
„(4
CL X о
Е N (Е О
Л Э О
I- (X Ю
0 + «С> о m (c
0.0 х
O (D Z X
У (0 Э CL
О {- С С
С:>
LA
I. е о
Z Iу )z
{афон
>I-zzX
WmЧО Y. 1- ()! X Я Е
С>
С:>
СР
ОЪ
С>
С ) LA
Щ L»
ГО К
Х
Е z (Q
% Ш э о
={ д {= х (М Х
X Х
X (6
K э о
М о! (6 О ао
Щ «
C Я
Е а
Э О)
l1
3Э (g
{Е
ЭО а!—
О Х! з{ лоа аc;(УК (D e O O X
m I- Z C 1(Е. о е
l- Э
Э а
X; {:
v о с
О о
Э
z х z
Э („
X (Р
1 I» о е
У И
Х {6 д сос
К
fQ
У
Э
X а
Э
{-! о
X
Е
X х
I (6 Я
В.
)Х э о
1 У
v cc о х с м
Ш
1 (6
{6 3.
IO )Х о о
X cT а х
% а 3.
8 >Х о о у (Е С
-у
X {С
X Х
K z
Э (6 д Ш е m л
Э.(t Х Z а 3 Y x
Ш Ш % X
Э I
C >)
X 1m {g (6 О
1- а. ао
{C CL
m « ф {Е х z аз У х
m ш Q X
I ф I с о е ф (Q (6 а. аО
Л. ф Х
Э (X Y Z а з и х
mmo.X
l- I оо{с фхе
X z
Ш К
omo х {
1v
Э ш >z
10М667 (6 I
1-ахи (6 {8 z I-.
О ШЕ
О О О Х {6
C {Е ()I IQ! I о
U>Z Y
Я Х (6 (O Y Ш
I !
» I I
И O a 1Э Х (6 Ш
У
ШК(ЕО о (6 о а
О Z С C
I (Q >Х
Ф о
ОЛК{
{Е (Q X 9 а z
У О mIO
Э о (6 У Э Z (Dm о(Ех .() Э 3Е
У (6 Э
{6 {Q Z V Z
{- L- Z O Z t
I»
Э
Ш )Z ()! 3
X Х
Э >Х
v o
:с
ШОЭ
X Z
К У Z
X O (6 (Е z ш
1044667
:Т.
lO 1
Ф I
1- 1
Х о
О. о
С Ъ
Э. 1
Э 1
3Е 1
1„1
О:
I . l
m o
Х 1х 2 >х
1 3О Э О 2
1 1 I- x J X сариссы
l l 6X0)X
LA
ID
C) cf. I I о о
Яг I .М
1. X
1 Ф
C)
C) 1
I 1
1 к а
I X Э э.3Е х х а2x s
l а а % л 1
1 333 1
l >, Х
I. 1
3 3
1!
l
1
1 Э 1 1 а
emmи
1- аао
1L
S х х
x m 3t а э о
0- Ф
I 1
I 3E
I IL CL
I X Э
I 1
1. I
1 Э IX»X 1
1 Q 2 S S а а ы е
1 л 3 l
1 COL
>, 3С
1,1
СЧ X
J
x m
% э о
I Э 1
1 X O. ! Э Ф Ф 4.3
1- 1- Q,О
Ф 1
I l 1 ! О 1
1 1О 1
I ц 1 л
1 X fII ф
1 Э Ц X I
1 а 2 33 x I а 3Х Е
1 1
O. 1
IC)
О I
Ф Ф
Q. t3
3О о is о о м
3Й 3Е
33
X lL X
K J
33. а
I 1 л I
1CO ò
I Х l . I .М
1 1
I X 1
1 и 1
3Х1
1 1
1 I ооо Lx айа
2 IO Е
>3 3
Исса аоа
1»- Е В Ц-а..Х К
ЕВФЭООX, Rem -ХRСI»
I
I
1 о о
Э 331 а Ф с 11
I
1 1
1
1
Э
1m
m х о
1
1
1
О I
m 1
Р I
X 1 а
Э 1
I 1
1 I о
1
1 .й
1 Iо о а о
1 М
I <>
I 2
m Ф
Q. Ф
3О & о зх э о с ы о 3Е о s
1 %
1 m
Ф а
3О с о о х
X . 3Е
О. X
L 33
Э о о
2 "О а Kc4 о
m J S
m Э Q.
1-СС
1
I ФСЭ ао
I Э
С Ф
Е а
3 Э
I l 1»
3 Е4 а. Е
X N
Е сЕ v
1
I !
1 !
I
I, 1
I
I !
Э
О
a X М схо
Ф C.Э .1 Ф 2
11
Ф >Х
1 I.
1 экао
35 X X f3I З 1
Ф Х IX u х х х
L3e J ООФЭ оефзюхсах
Фа!
mzzvz oo>
cIJ ctха оl- х:ь
ОЭХ ОХ20ФX !
Краха Сна а
1о
Э
m z
6) 2 лс!
1
1
1!
I, 1
I .0
1 11 О о
I CL
О х
X D с
Э 1 е
Е 1 X
Ф 1 Z е 1 10
Y I
О С
C 1 I т
З
X с
<О 1
X
Э о с.
<х о
CL
О
1 С < а X о
X "
Ict О
Э
Ct
З
Ф о
° с<
IL <М
Х S э а
< C
Э
X х е х
Э
1 о
3С х
1 о
I» х >д. эоз
t-,õ х
Ф . с i О е х N
<с\
СЪ
СР
С<
Y
l I З
I Е Ф
I О.Е !
ye
I >Х
Э 0
1 <„Y
О ct о z с м
X x ! x e
1 % Ф э о
I а 6)
tc а
Э
9 Ct
CL З
z x х z
3E X
<.m Ф
N <:, х
1.1
CV
cv
Э 1 с х
% к а
X Э э <с
CL З
О
1 е З! e m а е
l0 е
О! Ъх
Z 0
CL Y
1 С- ct
1 X
I C4 %
X X
1 X X
3Е х
1 Э Е
<аm
1 л
X X
М X л
C(3 <=
:,. х е
М
Iо
<О е
CL
IO о
tC е
Y о
9 у
X
CL
Э
11 о
z
X х
tC 1
Э с а З е Ф
1 !
1
1 I о з
I e 6)
1 е е
< ае
8 >z
О
О Y
I Ct%
-. %
tC
z z ! 3Е Х
1 Э Е а.Ф
Y
% а сч
I
1
I
I
1 е О ао .Э л с е х а
Э 3 )
<» 1I
1 е
1 Ct эо а<1 OX
I г
t (1
З
CL
Х <С о z
С 1-.
1 1 I
ctX
9 CLW аеэ са(о ! о
0 Ое
0 ee x, о о
I
1
1
1
1
I
I
1
I
1
1
I !
I
1
I
1
1
I
I
I !
I
I
I
I
1
1
I
l
1
I
1
I
I
I
I ,1
1
1
9 Е Е D
1- а. ао
Э 1 л
9 Е Е D
l- а 0.0
1044667
1 I о
О<Х Y
З х е.X саха:, 1
Э х
О. tC I IC 1
z ox 0
C9 ° СЙХФО
ozx оз дух zас;а
Составитель r. Клыкова
Редактор С. Квятковская Техред M.ßóçüìà г»
Корректор А. Зимокосов, ° В 4В
Заказ 7466/23 Тираж 95б Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Иосква, N-35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент", t. Ужгород, ул. Проектная,4
11 1044667 12
Приведенные результаты показывают, руемого слоя (индия ) и проведения что выбор метода.предварительного всего процесса в условиях высокого покрытия не несет в себе значитель- вакуума резко снижается газовыделеных изменений физико-механических . ние с поверхности образцов и увеличисвойств металлов и сплавов после 5 вается глубина эвтектоидной зоны по их ХТО как по известному способу, сравнению с известным способом, что так и по предлагаемому. В реэульта- . позволяет повысить эксплуатационнуе те наложения ультразвуковых колеба- стойкость и снизить величину натеканий при температуре ниже температу- ния изделий,. предназначенных для ры образования жидкой фазы диффунди-. 10 работы в вакуумных системах.