Электронно-оптическая система

Электронно-оптическая система

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ЭЛБКТРОННО-ОПТИЧЕСКА.Ч СИСТЕМА , содержащая электромагнитные линзы, включающие обмотку, вькгшний и внутренний магнитопроводы и полюса , от л. и чающаяся тем, что, с целью упрощения констру;-;ции системы, она снабжена общим для электромагнитных линз внутренним магнитопроводом, выполненным в виде толстостенной трубы с кольцевыми канавками на её внешней доверхности в количестве, соответствующем числу линз в системе.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ (i9> - ((1>

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ HGMHTET СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 261200«/18-25 (22) 22.05.78 (46) 30.09 ° 83. Бюл. 9 36 (72) К.А .Макаров, О.П.Братов, A.Ô.Ï ÿîâ, В.К.Морозов, Г.Д.Кисель, Л.В.Казаков,. В.B.Гурин и i1.В.Дерипаска (53) 621.385.8(088.8)

{56) 1. Деркач В.П., Княшко Г.Д., Кукрчук М.С. Электронно-зондовые уст ройства. Киев, "Наукова Думка", 1974, с,166.

2, Авторское свидетельство СССР 9 366512, кл. Н 01 > 37/26, 1971 (прототип). (50 t 01 > 37/04; H 01 Т 37 14 (54)(57} ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКАЛ СИСТЕМА, содержащая электромагнитные линзы, включающие обмотку, вн=:øíèé и внутренний магнитопровады и полю а, отличающаяся тем, что, с целью упрощения констр„:::.ции систе>ж, она снабжена общим для электромагнитных линз внутренним магнитопроводом, выполненным в виде толстостенной трубы с кольцевыми ка".а=-вками на ее внешней поверхности в Kct;H÷åñòíå, соответствующеМ числу линз в системе.

1045309

Составитель B.Ãаврюшин

Редактор С.Пекарь Техред T.Ìàòo÷êà КорректоР О. Билак

Заказ 7601/55 Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ ГосударственногО комитета СССР по делам изсбретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патен ", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к электронно-оптическим системам электронноэондовых приборов и может быть использовано для просвечивающих и растровыХ электронных микроскопов, рентгеновских микроанализаторов и других устройств.

Известна электронно-оптическая система для формирования и фокусировки электронного пучка, содержащая электромагнитные линзы в которых 10

3 внутренний магнитопровод снабжен

Специальными полюсными наконечниками, требующими тщательной подгонки при установке f1 ).

Такая конструкция электронно- 1 оптической системы трудоемка в изготовлении и не обеспечивает точной юстировки. Наличие большого числа резиновых уплотнителей усложняет

Конструкцию и не обеспечивает высокой степени разряжения в системе.

Наиболее близким к предлагаемой по технической сущности является электронно-оптическая система со держащая электромагнитные линзы, 25 включающие обмотку, внешний и внутренний магнитопроводы и полюса (. 2).

В известном устройстве имеет место большое число посадок,. что не позволяет обеспечить соосность электронно-оптической системы, а большое число резиновых вакуумных уплотнений и полных вакуумных соединений затрудняет получение необходимого >азряжения в системе.

Цель изобретения — упрощение кон- З5 струкции электронно-оптической систеMH„

Поставленная цель достигается тем, что электронно-оптическая система

Снабжена общим для электромагнитных 40 линз внутренним магнитопроводом, выполненным в виде толстостенной трубы с кольцевыми канавками на ее внешней поверхности в количестве, соответствующем числу линз в системе. g$

На чертеже представлена конструкция трехлинзовой электронно-оптической системы.

Электронно-оптическая система содержит внутренний магнитопровод 1, выполненный в виде толстостенной трубы с кольцевыми канавками 2, расположенными на внешней поверхности трубы, одну или несколько обмоток 3 линз, внешний магнитопровод 4, боковые фланцы 5 магнитопровода, которые в совокупности со стыковочными элементами образуют вакуумные уплотнения 6 по цилиндрической поверхности внутреннего магнитопровода на его концах.

Электронно-оптическая система работает следующим образом.

Электронный пучок подает в магнитное поле первой линзы (первая по ходу пучка канавка), магнитное поле которой формирует изображение кроссовера электронной пушки, ниже средней плоскости первой канавки.

Это.изображение является предметом для второй линзы (район второй канавки), которая формирует второе промежуточное изображение источника электронно-оптической системы, позволяет существенно упростить юстировку системы, так как внутренний магнитопровод всех входящих в систему линз выполняется из цельного куска материала, и коаксиальность внутренних отверстий магнитопровода ограничивается только точностью изготовления.

Применение вакуумного уплотнения по цилиндрической поверхности внутреннего магнитопровода на era концах упрощает конструкцию электронно-оптической системы и позволяет более точно состыковать электронно-оптическую систему с электронной пушкой, последующей электромагнитной линзой или рабочей камерой.