Устройство для нанесения покрытий

Устройство для нанесения покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, содержащее испарительную камеру, соединенную с источником подачи инертного газа, и тигель, расположенный в испарительной камере , отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, оно снабжено крышкой с отверстием в центральной части и перфорированным коллектором, расположенным на крышке вокруг отверстия и соединенным ,с источником газа. S 7 4i Од оо 4 4 ж,

„„Ь0„„1046344 А

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОИИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

3(51) С 23 С 13/12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ " - - ", Н АВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3315312/18-21 (22) 08. 07 . 81 (46) 07, 10,83, Бюл. 9 37 (72) В. В. Стацура, В.K.Ãóïàëîâ и А.E.Ìèõååâ (53) 621,793 . 7 (088 8) (56) 1. Ройх И. Л. и др. Нанесение защитных покрытий в вакууме. Машиностроение, 1976, с.5-.15, 20.7 262.

2, Заявка Англии Р 1397083„ кл. С 23 С 13/12, 1975 (прототип) . (54 ) (57 ) УСТРОЯСТВО ДЛЯ HAHECEHHH

НОКРЫТИИ, содержащее испарительную камеру, соединенную с источником подачи инертного газа, и тигель, расположенный в испарительной камере, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции, оно снабжено крышкой с отверстием в центральной части и перфорированным коллектором, расположенным на крышке вокруг отверстия и соединенным .с источником газа.

1046344

Изобретение относится к нанесению покрытий термическим испарением и может быть использовано для получения защитных покрытий на деталях, рабртающих в агрессивных средах, Известно устройство для нанесения металлических покрытий термическим испарением металла в вакууме, содержащее вакуумную камеру с размещенными в ней испарителем и подложкодержателем с подложками(1 ).

Недостатком данного устройства является сложность конструкции, так как для создания вакуума в камере требуется многоэлементная откачная система и большое количество герметизирующих элементов.

Наиболее близким к изобретению является устройство для нанесения покрытий, содержащее испарительную камеру, соединенную с источником газа, и тигель, расположенный в испарительной камере(2 ).

Недостатком известного устройства является сложность конструкции, так как испарительная камера выполнена в виде двух отделений: наружного, соединенного с источником газа, и внутреннего (с источником пара), причем давление пара во внутреннем отделении выше давления газа в наружном. Наличие двух отделений, с различными давлениями требует наличия сложных герметизирующих устройств для ввода и вывода подложки иэ одного отделения и вывода подложки из одного отделения в другое при непрерывном нанесении на движущуюся подложку.

Цель изобретения . — Уйрощение конструкции устройства °

r Поставленная цель достигается тем что устройство для нанесения покрытий, содержащее испарительную камеру соединенную с источником газа, и тигель, расположенный в испарительной камере, снабжено крышкой с отверстием в центральной части и перфорированным коллектором, расположенным на крышке вокруг отверстия и соединенным с источником газа.

На чертеже изображено устройство общий вид. г

Составитель И. Серебрянникова

Редактор А.Шандор Техред И.Метелева Корректор О.Тигор

Заказ 7670/27 Тираж 956 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство содержит камеру 1 испарения, графитовый тигель 2, расположенный в корпусе 3 и установлен-в. ный на основании 4. Сверху корпуса установлена крышка 5 с отверстием в центральной части и перфорированным коллектором 6, установленным вокруг отверстия. Внутри корпуса установлены цилиндрические радиацион5 ные экраны 7, изготовленные иэ молибденового листа. В основании и корпусе имеются каналы 8 для подвода инертного газа в камеру испарения. Для охлаждения корпуса, основания и крыш)P ки имеются охлаждающие тракты 9.

Устройство работает следующим образом.

После загрузки в графитовый тигель 2 металла, используемого в ка 5 честве покрытия, подают воду в охлаждающие .тракты 9, подают аргон в корпус 3 и .на наружную завесу через перфорированную поверхность коллектора 6. Затем через корпус 3 и основаО ние 4 на тигель подают электрический ток.

-Графитовый тигель 2, окруженный радиационными экранами 7, разогревается и металл начинает испаряться.

Пары металла смешиваются с аргоном и после истечения через отверстие в крышке 5, окруженное инертной средой, осаждаются на подложке, находящейся над отверстием.

Использование устройства для наЗО.несения металлических покрытий обеспечивается по сравнению с существующим следующими преимуществами: упрощается конструкция устройства за счет исключения из системы наружного

356отделения камеры, испарения и вакуумного оборудования, преднаэначенного для откачки камер перед заполнением инертным газом; сокращается продолжительность технологического про,4О цесса нанесения защитного покрытия за счет исключения времени, требуемого на отхачку воздуха из защитной камеры до давлений 0,1-1 мм рт.ст, времени заполнения камер Эа45 щитным газом до давления 760 мм рт.ст.; расширяются технологические возможности за счет снятия ограничений по размерам деталей, которые лимитируются габаритами испарительной камеры и по конфигурациям

5О деталей, так как в известном устройстве возникают дополнительные трудности,по созданию уплотняющих устройств для ввода сложных по форме деталей в защитную и испарительную камеру.