Тара для полупроводниковых пластин

Тара для полупроводниковых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ТАРА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, преимущественно кремниевых, содержащая корпус, крышку, замок и ручку, шарнирно соединенную с крышкой посредством оси, отличающая с я тем, что, с ц1елью расширения функциональных и эксплуатационных возможностей, она снабжена подпружиненными крышками и фиксатором, расположенным на оси ручки, причём замок выполнен в виде защелки с выступом и Г-образным упором, установленным с . возможностью взаимодействия с фиксатором оси ручки, а корпус снабжен, кварцевой защитной подложкой, закрепленной в его доннойчасти. (Л оь 00

СОЮЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) 02 А

Заю Н 01 L 21/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕ ГЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3345943/18-21 (22) 23.09.81 (46) 07.10.83. Бюл. V 37 (72) Н,И.Лаврухин и Л.Н.Новоселова (53) 621.798.1(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

И 572402, кл. В 65 D 45/00, 1975.

2. Авторское свидетельство СССР

11 509501, кл. 8 65 D 83/08, 1974. (54)(57) TAPA для ПОЛУПРОВодНИКоаЫХ

ПЛАСТИН, преимущественно кремниевых, содержащая корпус, крышку, замок и ручку, шарнирно соединенную с крышкой посредством оси, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью расширения функциональных и эксплуатационных возможностей, она снабжена подпружиненными крышками и фиксатором, расположенным на оси ручки, причем замок выполнен в виде защелки с выступом и

Г-образным упором, установленным с . возможностью взаимодействия с фиксатором оси ручки, а корпус снабжен кварцевой защитной подложкой, закрепленной в его донной части.

1 10468

Изобретение относится к оборудованию для производства полуйроводниковых приборов и может быть применено для хранения и транспортирования кремниевых пластин на различных операциях технологического процесса.

Известен контейнер для транспортирования концентратов цветных, металлов, содержащий корпус, крышку, ручку и замок Г11 . 1О

Однако данный контейнер не приспособлен для перемещения тонких плоских изделий и в силу конструктивных особенностей не может быть использован для транспортировки полупровод- 15. никовых пластин.

Наиболее близкой к предлагаемой. является тара, состоящая из корпуса, крышки, замка и ручки, шарнирно соединенной с крышкой посредством. 20 оси E? )

Известная тара предназначена для обеспечения герметизации помещенных внутри изделий и неудобна для размещения и транспортировки лодочек с 25 полупроводниковыми пластинами, так как открывает доступ к ним только через отверстие в верхней части тары. Кроме того, она не позволяет ме" хвнизировать загрузку и выгрузку лодочек из-за отсутствия торцовых отверстий.

Цель изобретения - расширение функциональных и эксплуатационных возможностей тары.

Указанная цель достигается тем, что тара для полупроводниковых плас" тин, преимущественно кремниевых, содержащая корпус, крышку, замок и ручку, шарнирно соединенную с крышкой посредством оси, снабжена подпружи" ненными крышками и фиксатором, рас" положенным на оси ручки, причем эа» мок выполнен в виде защелки с выступом и Г-образным упором, установлен" ным с возможностью взаимодействия с фиксатором оси ручки, а корпус снабжен кварцевой защитной подложкой, закрепленной в его донной части.

На фиг. 1 изображена тара с открытой крышкой, общи" ; на фиг.2 то же, с закрытой крышкой; на фиг.3.разрез А-А на фиг.2 (ручка поднята) на фиг.4 - узел l на фиг.2 (ручка в поднятом положении); на фиг.5 - то Ы же,(ручка в опущенном положении 2.

Тара для полупроводниковых пластин фиг. 1-3) состоит иэ корпуса 1 и

02 2 крышки 2, изготовленных из листовой нержавеющей стали толщиной 0,4 мм и соединенных шарниром 3. С боков тары расположены подпружиненные крышки 4, которые удерживаются в закрытом или открытом положении пружинными меха-низмами 5. Ручка 6 для переноса тары жестко связана с осью 7, имеющей в центре фиксатор 8. Тара снабжена замком, представляющим собой соединенную с крышкой 2 защелку 9, выполненную в виде упругой металлической

I пластины, на одном конце которои рас положен Г-образный упор 10,а на другом - выступ 11, заходящий при закрытии тары за скобу 12, прикрепленную к корпусу 1. Защелка 9 выполнена с прорезью 13, в которую входит прикрепленный к крышке 2 металлический стержень l4 с пружиной 15, служащей для удержания защелки в закрытом положении. На дне тары закреплена штифтом 16 кварцевая защитная подложка

17, необходимая для того, чтобы предупредить появление задиров металла, возникающих на внутренней поверхности тары при перемещении лодочки 18 с кремниевыми пластинами 19 во время загрузки в диффузионную печь, и исключить возможность попадания металлических частиц на направляющие лодочки. Перемещение лодочки в печь осуществлется с помощью толкателя 20, соединенного со штоком 2 1. Тара установлена на ножках 22 и удерживается от передвижения в загрузочной камере направляющими 23.

Для размещения лодочки 18 с кремниевыми пластинами 19 внутри тары последняя устанавливается на ножках 22, опускается ручка 6, откидываются назад подпружиненные крышки 4 и нажимается Г-образный упор 10 защелки 9. При нажатии на Г-образный упор 10 сжимается пружина 15, слегка приподнимается и выходит из-за скобы l2 выступ 11 защелки 9 и открывается верхняя крышка 2. После размещения на кварцевой подложке 17 лодочки 18 опускается верхняя крышка 2, тара запирается с помощью защелки 9, закрываются подпружиненные крышки 4 и тара транспортируется за ручку 6 в загрузочную камеру диффузионной печи. Во время переноски, когда ручка 6 находится в поднятом положении, Г-образный упор 10 защелки 9 взаимодействует с фиксатором 8 оси 7 для предупреждения случайного нажатия упо3 10468 ра 10 и последующего неожиданного открывания, крыаки 2. Помещенная в загрузочную камеру тара открывается и толкателем 20 лодочка 18 передвигается ,в печь. Ilo окончании процесса диффу5 зии. лодочка с помощью толкателя сноВа йеремещается в тару.

02 4

Использование предлагаемой ры значительно облегчает транспортировку полупроводниковых пластин, позволяет за счет механизации процесса загрузки и вы- . грузки лодочек ускорить обработку пластин.

1046802

1046802 .? auÀð уют

1 ВЖрл уж

Составитель Л. Михайлова

Редактор IO.Êîâà÷ Техред А.Бабинец Корректор А.Зимокосов еВ е

Заказ 7738/50 Тираж 703 Подписное

8НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

313035, Москва, _#_-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4