Фильтр для очистки воздуха

Фильтр для очистки воздуха

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. ФИЛЬТР ДЛЯ ОЧИСТКИ ВОЗ- . ДУХА, содержащий корпус с входными таигенциальными патрубками и фильтрующий элемент, отличаю; :1ч;®м 1 г Е II f m4 im mMUQimt щийся тем, что, с целью повышения степени очистки воздуха,фильтр. снабжен коническими отбойниками,четные по ходу газа из которых снабжены установленными по оси и заполненными фильтрующим наполнителем цилиндрами с сетчатыми торцовыми стенками, при этом первый нечетный по ходу газа отбойник снабжен цилиндрической жалюзийной решеткой, укрепленной на основании,а второй нечетный выполнен с окнами, в которых укреплен фильтрующий элемент. СО 4 СО со

СОЮЗ СО8ЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) )(51) В 01 D 46/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬГГИЙ

К ABTOPCHOMY CBMQETEJlbCTBV (.21 ) 3447404/23-26 (22) 27.05.82 (46) 15.10.83. Бюл. 9 38 (72) В.А. Газецкий, Д.И. Лившиц и я.л. Ващук (53) 621.928.95(088.8). (56) 1. Авторское свидетельство СССР

М 480428, кл..В 01 Р 46/00, 1973. (54) (57) 1. ФИЛЬТР ДЛЯ ОЧИСТКИ BO3- .

ДУХА, содержащий корпус с входными тангенциальными патрубками и фильтрующий элемент, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью ïîâûшения степени очистки воздуха, Фильтр, снабжен коническими отбойниками,четные по ходу газа из которых снабжены установленными по оси и заполненными фильтрующим наполнителем цилиндрами с сетчатыми торцовыми стенками, при этом первый нечетный по ходу газа отбойник снабжен цилиндрической жалюзийной решеткой, укрепленной на. основании,а второй нечетный выполнен с окнами, в которых укреплен фильтрующий элемент.

1047499

2. Фильтр по п,1, о т л и ч а ю шийся тем, что,в качестве фильтрующего наполнителя первого по ходу газа цилиндра используют пористую промасленную керамическую гранулу °

Изобретение относится к специальному технологическому оборудованию и может быть использовано в установках для очистки воздуха, входящих в комплекс оборудования для производ- 5 ства микросхем.

Известен фильтр для очистки воздуха, содержащий корпус с входными тангенциальными патрубками и фильтрующий элемент (1 ).

Недостатком известного фильтра является низкая степень очистки воздуха.

Цель изобретения — повышение степени очистки воздуха при сохранении минимальных габаритов фильтра. 15

Указанная цель достигается тем, что в фильтре для очистки воздуха, содержащем корпус с входными тангенциальными патрубками и фильтрующий элемент, снабжен коническими отбой- 7О никами, четные по ходу газа из которых снабжены установленными по оси и заполненными фильтрующим наполнителем цилиндрами с сетчатыми торцовыми стенками, при этом первый не 25 четный по ходу газа отбойник снабжен цилиндрической жалюзийной решет. кой, укрепленной на его основании, а второй нечетный выполнен с окнами, в которых укреплен фильтрующий элемент.

Целесообразно в качестве фильтрующего наполнителя первого по ходу газа цилиндра испольэовать пористую промасленную керамическую гранулу, а в качестве фильтрующего наполнителя второго по ходу газа цилиндра использовать хаотически расположенные ленты из фильтровальной бумаги.

На фиг. 1 изображен предлагаемый фильтр, вид в плане> на фиг. 2 — раз- 40 рез A-A на фиг.1.

Фильтр включают корпус 1. с танген-. циальными патрубками 2, конический отбойник 3 с цилиндрической жалюзийной решеткой 4. Четный nb ходу газа 45 конический отбойник 5, по оси которого установлен цилиндр б с сетча3. Фильтр по п.1, о т л и ч а ю шийся тем, что в качестве фильт. рующего наполнйтеля второго по ходу газа цилиндра используют хаотически расположенные ленты из фильтровальной бумаги.

2 тыми торцовыми стенками, заполнен -:ромасленной керамической гранулой 7.

Один торец цилиндра б входит в полость ступени глубокой очистки, сформированную отбойником 8, в окнах которого установлен фильтрующий элемент 9 в виде тканевой сетки, Конический отбойник 10 (вторая ступень очистки) имеет цилиндр 11, заполненный хаотически расположенными лентами 12 из фильтровальнсй бумаги. Оба торца цилиндра закрыты крупноячеистой сеткой 13.

Фильтр работает следующим образом.

IID тангенциальным патрубкам 2 воздух попадает на конический отбойник 3, проходит через цилиндрическую жалюзийную решетку 4, при этом частицы пыли, обладая большой кинетической энергией, отражаются от решетки 4 и попадают в кольцевой канал отбойника 5, а воздух всасывается в цилиндр б, где соприкасаясь с промасленной гранулой из пористой керамики 7, очищается от частиц пыли меньшей фракции. Из цилиндра б воздух проходит через окна отбойника 8, в которых установлен фильтрующий элемент 90 очищающий воздух от влаги и масляной пыли.

Пройдя окна в отбойнике 8, воздух по каналу, образованному формирующими поверхностями отбойников 8 и

10, попадает в цилиндр 11, где, соприкасаясь с фильтровальной бумагой лент 12, очищается от пылевых частиц самой мелкой фракции. Крупноячеистые сетки 13, концентрируют ленты 12 в минимальном объеме.

Применение предлагаемого фильтра позволяет значительно улучшить степень очистки воздуха в линиях пылезащиты комплексов специального технологического оборудования для фотолитографии. Экономический эффект получают за счет осуществления двухступенчатой очистки.

1047499 (,Риг 2

Составитель И. Дыбовская

Редактор Л. Алексеенко Техред M„ Кузьма Корректор Ю. Макаренко и 4в йв

Заказ 7797/5 Тираж 688 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета CdCP по делам изобретений и открытий

113035, Москва, й-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4