Устройство для совмещения фотошаблона с подложкой

Устройство для совмещения фотошаблона с подложкой

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ФОТОШАВЛОНА С ПОДЛОЖКОЙ, преимущест-, в.енно в установках Для фотолитографии , содержащее шаблонодержатель с микроманипулятором, стол для крепления подложки, установленный на перпендикулярных к его плоскости штоках, и механизм подъема и выравнивания стола, снабженный пружиной, о т; л ич а ю. щ е е с я тем, что, с целью . улучшения эксплуатационных возможностей , оно снабжено пальцами, ради ально размещенными на столе) шарнирно соединенными со штоками, каждый из которых установлен с возможностью поворота Bokpyr оси.

С01ОЗ СОВЕТСКИХ . СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

1Ю Н. 01 Ь 2

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ .:. н втоескомм свидятилмтвм

C4 Ally

Avфю лаут

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ- СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

f (21) 3468789/18-21

;(22) 13.07.82 (4 6) 07. 11.83. Бюл, 9 41 (72) В.И.Булахов (53) 621 ° 382.002(088.8) (56} 1. Авторское свидетельство СССР

В 372859, кл. Н 01 L 21/00, 1965.

2. Патент CtilA Р 349971.4, кл. 356" 138, 1970 (прототий) . (54 ) (57 ) УС ГРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ.

ФОТОШАБЛОНА С. ПОДЛОЖКОЙ, преимущест"., венно в установках для фотолитогра„91ЯО.„А фии, содержащее шаблонодержатель с микроманипулятором, стол для крепле.ния подложки, установленный на перпендикулярных к его плоскости штоках, и механизм подъема и выравнивания стола, снабженный пружиной, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей, ойо снабжено пальцами, раднально размещенными на столе шарнирно соединенными со штоками, каждый из которых установлен с возможностью поворота вокруг оси.

1053188

Изобретение относится к технологическому оборудонанию для производства полупроводниковых и СВЧ-цриборов . и может быть использовано в производстве печатных плат.

Известно устройство для совмещения рисунка фотошаблона с рисунком полупровбдниковой пластины, содержащее фотошаблон с держателем, опору держателя, шаровой сегмент с закрепленной на нем подложкой, колонку, 10 поворотное устройство с корпусом.

Между фотошаблоном и верхней частью колонки образован закрытый объем, в который выходит воздушный канал, а нижняя сторона колонки и верхняя 15 сторона фотошаблона связаны с атмосферой. Уплотнение между колонкой, корпусом и держателем фотошаблона позволяет перемещать колонку со сферическим сегментом и подложкой н нап- о равлении Х, У, Е с помощью устройства совмещения, Прижим подложки к фотошаблону и выравнивание происходит при вакуумиронании закрытого объема путем приложения атмосферного давления на нижний торец колонки и на верхнюю плоскость фотошаблона fl) .

Такое контактирование позволяет снизить износ фотошаблона путем устранения его прогиба, но уменьшение усилия реакции шаблона о подложку, необходимое для преодоления момента трения в шаровом сегменте, при этом не достигается, так как равнодействующая сжимающего усилия проходит 35 через ось шарового сегмента, размеры которого соизмеримы с подложкой.

Увеличение трения н шароном сег"

:менте обусловлено также тем, что данление реакции снязи гнезда колонки 40 на сегмент образуется н нерхней об" ласти гнезда и направлено под углом близким к 90 относительно вертикальной оси, и увеличивается в1/сон|с раз в сраннении со сжимающей силой. 45

Наиболее близким техническим ре" шением к предлагаемому по технической сущности является устройство для совмещения фотошаблона с подложкой, содержащее шаблонодержатель с микроманипулятором, стол для крепления подложки, установленный на перпендикулярных к его плоскости штоках, и механизм подъема и выравнивания стола, снабженный пружиной (2).

Однако известное устройстно не обеспечивает качественной эксплуатации фотошаблона и связи с трением между фотошаблоном и подложкой.

Цель изобретения - улучшение зкс,бО плуатационных возможностей.

Это достигается тем,, что устройст" во для совмещения фотошаблона с подложкой, преимущественно н установках для фотолитографии, содержащее шабло" нодержатель с микроманипулятором, стол для крепления подложки, установленный на перпендикулярных к его плоскости штоках, и механизм подъема и выравнивания стола, снабженный пружиной, снабженО пальцами радиально размещенными на столе и шарнирно соединенными со штоками, каждый из которых установлен с возможностью поворота нокруг оси.

На чертеже показана кинематическая схема предлагаемого устройства.

Устройство состоит из каретки 1, установленной н шариковые направляющие 2. Вертикальный ход каретки 1 ограничивается винтами 3 и упором 4.

Нижней плоскостью каретка 1 упирается н шток пневмокамеры 5, а силоное замыкание осуществляется пружиной 6.

Столик 7 для крепления подложки связан с тремя штоками 8, установленными н корпусе 1 с возможностью понорота и осевого смещения и соединенными шарнирно с помощью осей 9 и вилок 10 с пальцами 11, устанонленными н столике.7 с возможностью понорота и осевого смещения. По центру столика 7 между нижней ere плоскостью и,кареткой 1 установлена пружина 12, а внутри нее проходит гибкая связь (тросик) 13, одним концом присоединенный к центру столика 7, а другим к рычагу 14 пневмокамеры 15, установленной на каретке 1. Три пненмокамеры 16 установлены на каретке 1 и своими штоками 17 могут взаимодействовать со штоками 8, а полости пневмокамер 16 соединены с общим входом 18 сжатого воздуха, Устройство работает следующим образом.

Держатель с фотошаблоном (не показан) поднимается, подложка устанавливается на столик 7 и закрепляется на нем, а держатель .с фотошаблоном опускается и фиксируется. Пнен" мокамера 15 опорожняется, а в полость пневмокамеры 5 подается сжатый.воздух. При этом каретка 1 перемещается, вверх до упора в верхний винт 3, а столик 7.под действием пружины 12 до упора н нижнЮю плоскость фотошаб лона. Происходит выравнивание столика 7 с подложкой о нижнюю поверхность фотошаблона. На.вход 18 сжатого воздуха и в пневмокамеры 16 подается сжатый воздух и тем самым штоки 8 фиксируются н корпусе каретки 1. Пневмокамера 5 опорожняется и каретка 1 под действием пружины 6 опускается на величину микрозазора до упора н нижний нинт 3. В -eToM положении производится совмещение рисункон фотошаблона с рисунками подложки с помощью микроманипулятора.

После совмещения в камеру 5 снова подается сжатый воздух и каретка 1 подает подложку к фотошаблону и производится экспонирование, после чего

1053188, Составитель В.Титов

Редактор А.Коэориэ Техред М.Костик

Корректор М. шароши

ВЬ

Заказ 8884/51 Тираж 703 Подпионое

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-.35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, r.Óæãîðîä, ул.Проектная, 4 пневмокамеры 5 и 1б опорожняются, а в пневмокамеру 15 подается сжатый воздух. Каретка 1 и столик 7 опуска" ются в нижнее положение и производит" ся съем обработанной подложки.

Предлагаемое устройство обладает 5 большей чувствительностью механизма для выравнивания, так как в процес се выравнивания кинематические пары этого механизма не нагружаются усилием прижима. Трение, возникающее 10 в кинематических парах, обусловлено только случайными факторами (шерохо-. ватость поверхности, погрешности формы и т,д.) „ является постоянным по величине и не зависит от усилия прижима. За счет более чувствительного механизма для выравнивания сжимаемых плоскостей и вследствие уменьшения потребного сжимающего усилия в устройстве снизится прогиб фотошаблона и его износ, что улучшает его эксплуатационные возможности, так как в итоге повышается качество воспроизведения рисунков фотошаблона на подложке.