Соединительная структура для сборки полупроводниковых приборов

Соединительная структура для сборки полупроводниковых приборов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЕДИНИТЕЛЬНАЯ СТРУКТУРА ДЛЯ СБОРКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащая диэлектрическую подложку с размещенными на ней токопроводящи ми выводами, одни концы которых предназначены для соединения с контактными площадками корпуса, а другие - с контактными площадками полупроводникового прибора, отличающаяся т&л, что, с целью повышения надежности приборов, она снабжена компенсирующими элементами, . соединяющими выводы и выполненными из материала подложки.

COI03 СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) П1) Рабочая у технологическая (21) 3418831/18-21 (22) 05.04.82 (46) 07.11.83. Бюл. М 41 (72) Б.В.Березин, И,A.Tó÷èíñêèé .и А.Г.Шеревеня ..(53) 621.396.6.049.75.002(088.8) (56) 1. Патент CtaA Р 3947867, .кл.. Н 01 L 23/48, 1976.

2. Патент Франции 9 2299724, кл. Н 01 L 23/12, 1976 (прототип). (54)(57) СОЕДИНИТЕЛЬНАЯ СТРУКТУРА ДЛЯ

СБОРКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, 3(59 Н 05 К 1/00 H 01 L 23 48 содержащая диэлектрическую подложку с размещенными на ней токопроводящи. ми выводами, одни концы которых предназначены для соединения с контактными площадками корпуса, а дру.гие - с контактными площадками полупроводникового прибора, о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения надежности приборов, она снабжена компенсирующими элементами, . соединяющими выводы и выполненными из материала подложки.

1053336

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к конструккиям полупроводниковых приборов с выводными рамками.

Известна конструкция соединительной структуры для сборки полупроводниковых приборов, содержащая в рабочей зоне компенсирующие элементы, размещенные на выводах рамки (1) .

Наиболее близкой по технической сущности к изобретению является 10 конструкция соединительной структуры ддя сборки полупроводниковых приборов содержащая диэлектрическую подложку с размещенной на ней системой тОкОпрОВОдящих вывОдОв Оцни KoH) 5 цы которых соединены с контактными площадками полупроводникового прибора, а другие †. с контактными площадками корпуса (2) .

Недостатком известных конструкций является низкая надежность в связи с отоутствием в рабочей зоне структуры. компенсирующих элементов, соединяющих выводы рамки, Целью изобретения является повышение надежности приборов. 25

Указанная цель достигается тем, чтб соединительная структура для сборки полупроводниковых приборов, .содержащая диэлектрическую подложку с размещенными на ней токопроводящи- 30 ми выводами, одни концы которых ,предназначены для соединения с контактными площадками корпуса, а другие — с контактными площадками полупроводникового прибора, снабжена компенсирующими элементами, соединяющими выводы и выполненными из материала подложки, Компенсирующие элементы, расположенные в рабочей зоне выводов, «40 необходимы как при монтаже интегральных схем (ИС), так и в процессе ее работы, так как они играют роль механических, тепловых компенсаторов и придают выводам большую эластичность.

Характерной чертой соединительной структуры является также и то, что диэлектрические компенсирующие элементы выполнены из материала подложки в едином технологическом цикле 50 изготовления системы выводов.

Форма диэлектрических компенсирующих элементов, расположенных в рабочей зоне, может быть в виде любой 55 геометрической фигуры,. например колец, полых тонкостенных ромбов, прямоугольников.

На, чертеже представлена конструкция соединительной структуры.

Соединительная структура состоит из двух зон: рабочей и технологи. ческой. Соединительная структура содержит диэлектрическую подложку 1, с токопроводящими выводами 2 (выводй, 5 находящиеся в технологической зоне, в работе готового прибора не участвуют и после монтажа кристалла к корпусу технологическая зона удаляется).

Выводы, находящиеся в рабочей зоне, состоят из внутренних концов 3, которые присоединяются к контактным площадкам 4 полупроводникового прибора 5, и внешних концов б, которые присоединяются к контактным площадкам 7 корпуса или платы, Между внутренними и внешними концами выводов, образующих рабочую зону, располагаются. компенсирующие элементы 8 в виде колец различной формы, предохраняющие выводы от различных механи-. ческих и тепловых воздействий как при монтаже ИС, так и в процессе ее работы.

Учитывая то, что выводы и компенсирующие элементы, изготовленные из алюминия толщиной 30 мкм, в процессе .монтажа, или работы ИС,изгибаются, они" скреплены компенсирующими элементами 9 в виде колец, изготовленных из материала подложки в одном технологическом цикле, для обеспечения единой плоскопараллельной системы выводов, Придание плоскопараллельности соединительной структуре необходимо для повышения надежности прибора, так как компенсирующие элементы, расположенные в рабочей зоне вывода, изгибаясь в процессе монтажа ИС и ее работы, электрически замыкают близколежащие токопроводящие эле менты.

Предлагаемую соединительную структуру изготавливают из лакофольгового материала марки ФДИ-AG50, представляющего собой двухслойный материал, где первый слой — алюминий толщиной 30 мкм, используемый в качестве токопроводящего слоя, вто-, рой слой - полиимид толщиной 20 мкм, используемый в качестве диэлектриЧЕСКОГО СЛОЯ.

Топологический рисунок на алюминии и полиимиде получают методом фотолитографии с последующим химическим фреэерованием.

Построение топологического рисунка подается таким образом, чтобы внутренние концы выводов совпадали с контактными площадками прибора, а внешние концы - с контактными площадками корпуса. В местах контактирования выводов и других необходимых технологических зонах в полиимиде вскрывают окна.

Таким образом, данное изобретение позволяет повысить производительность труда на сборочных операциях

1053336 на ЗОВ; механизировать н автомати- на 20%; повысить надежность HC в раэировать процесс сборки ИС; увеличить боте прн различных климатических выход годных на сборочных операциях воздействиях более, чем в 2 раза.

Составитель В. Любавин

Редактор Г. Волкова Техред T.Nàòî÷êà - Корректор Г.Решетник

Заказ 8905/59 Тираж 845. . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР о делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауюская наб., д, 4/5

Филиал ППП "Патент", r, Ужгород, ул, Проектная, 4