Способ получения электропроводящего прозрачного покрытия

Способ получения электропроводящего прозрачного покрытия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

/СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ на диэлектриках путем вакуумного напыления смеси трехокйси индия и двуокиси олова с последуюыей термообработкой , отличаюадцйс я тем, чю, с целью снижения температуры термообработки, последнюю . проводят в водном насыщенном растjBooe перманганата калия при 70-100 с покрытие обрабатывают в воде, а затем - в 20-30%-нс 1 растворе перекиси водорода.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19I (ll) SU

301) ГОСУДАРСТВЕННЬ9 КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ.

Н АВТОРСКОМЪГ СВИДЕТЕЛЬСТВ,Ф (21) 3389163/23-05 (22) 04в12.81 (46) 15.11.83. Бюл, Р 42 (72) Б,П. Крыжановский,И.С.Иванова и Г,А.Никитина ,(53) 678.026(088.8) (56) 1.Патент CUIT Р 2756166, кл. 427-250, 1956., 2. Крыжановский Б.П. и др, Получение прозрачных проводящих покрытий трехокйси индия. Приборы и техника эксперимента, 1978, В 6,; с, 176 (прототип). (54) (57) /СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЬЛЕКТРО-

ПРОВОДЯЖЕГО ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ на диэлектриках путем вакуумного напыления смеси трехокиси индия и двуокиси олова с последумцей термообработкой, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью снижения температуры термообработки, последнюю . проводят в водном насыщенном pclcr ,воое перманганата калия при 70-100 С

I покрытие обрабатывают в воде, а- затем — в 20-30%-ном растворе перекиси водорода.

1053908

Изобретение относится к оптическЬму и электронному приборостроению н предназначено для получения прозрачных электродов и антистатических покрытий на поверхности диэлектриков, в.том числе полимеров с малой термостойкостью, и может быть использовано в жидкокристаллических,электрооптических и фотоэлектрических „ устройствах.

Известен способ получения электро. 10 проводящего прозрачного покрытия путем напыления на диэлектрик иодистой меди(1 .

Однако покрытие из иодистой меди обладает неустойчивым сопротивлением,15 а также малой химической устойчивостью и механической прочностью и в большинстве случаев требует защиты специальными пленками.

Наиболее близким к предлагаемо- ;р му по технической сущности и достигае. мому результату является способ получения электропроводящего прозрачного покрытия на диэлектриках путем вакуумного напыления трехокиси индия и двуокиси олова с последующей термообработкой на воздухе при

180-350 С и отличаются высокой механической прочностью (2(..

Однако высокая температура термообработки не позволяет получать эти покрытия на поверхности полимеров с малой тормостойкостью.

Целью издбретения является сни- жение температуры термообработки, Поставленная цель достигается тем, что согласно способу получения электропроводящего прозрачного по крытия на диэлектриках путем вакуумного напыления смеси трехокиси индия и двуокисй олова с последующей 40 образуется. так называемое серебтермообработкой последнюю прово дят в водном насыщенном растворе перманганата калия при 70-100 С покрытие обрабатывают s воде, а затем — в 20-З0%-ном растворе nepe+ 43 киси водорода.

Срособ реализуется следующим образом.

На поверхность диЭлектриков, например стекла К-8,полиметилмета- Я) крилата, поликарбоната, полиэтилентерейталата,,вакуумным испарением наносят смесь трехокиси индия (Зп ОЗ) с легирующей добавкой (103 вес,ч) двуокиси олова (ЯпО)) с интегоальным 55 светопропусканием ь, ю10-55% (в, зависимости от толщины напиленной смеси) . ро (микротрещины) и возможна его деформация. Дпя силикатного стекла, поликарбоната и другиХ более термостойких материалов процесс предпоч тительнее вести при 100 С так как при этом наблюдается более, вЫсокая прозрачность и проводимость.

Обработка в растворе перманганата калия при температуре выше 100 С не приводит к получению покрытий с более лучшими характеристиками.

Предлагаевим способом были по. лучены покрытия на. поверхности. стекла К-.8, органического стекла из полиметилметакрилата, поликарбоната и полиэтилентерефталатной пленки (см.таблицу) .i Светопропускание(i Öи удельное поверхностное српротивление(р )зависит от толщины (светопропускания) осажденного в вакууме слоя ° В таблице приведены данные удельного поверхностного. сопротивления(()и интегрального светопропусканиями) для окцсленных предлагаемым способом покрытий с различным светопропусОсажденную смесь термообрабатыва ют в водном насыщенном растворе пер- ® манганата калия (ЕМлЩпри 70-100 С

:в течение 1 ч, промывают в проточной воде, а затем обрабатывают в .20ЗОФ-ном растворе перекиси водорода при 15 — 25 С в течение 0,5 ч. Про" 65 цесс заканчивают сушкой детали с по. крытнем.

При уменьшении времени обработки в растворе KMn04 светопропускание падает, а удельное сопротивление возрастает. Время термообработки 1 ч, является оптимальным, так как при увеличении продолжительности термообработки последняя не влияет на оп. тические и электрические свойства покрытия. Водная промывка после обработки в растворе КИпО служит для удаления следов маргайца, который каталитически действует на разложение перекйси водорода (Н О ), а обработка в растворе перекиси водорода служит для окисления светопоглощающих следов марганца, который может остать ся в 1Iapax окиси индия после ТерМообработки.

Изменение концентрации перекиси вОдоРода в пределах 20 — ЗОВ и температуры обработки Э пределах 15—

25 С практически не влияет на конечные характеристики покрытий.

Интервал температур в пределах

70 — 100оС для обработки в растворе перманганата калия указаны потому, что ниже 70 С ие удается получить поКрытия с.достаточно высокой прозрачностью, окисление при этом идет недостаточно полно. Повышение температуры обработки от 70 до 100 С вызывает увеличение прозрачности и проводимости слоев (см. таблицу), однако выбор. температуры обработки определяется термостойкостью подложки. Стекло из полиметилметакрилата, например, ие позволяет проводить процесс при температуре выше 70 С,; так как при этбм на его поверхности

1053908

Светопропускание подложки с покрытием после вакуум ного нанесения

После обработки в насыщенном р-ре

КМп04 при 70 С и в р-ре Н О

Подложка

После обработки в насыщенном р-ре

KNnO4 прн 100 С и в р-ре Н О

Р5 ОМ с а

61 3.10

Ч

70 7 "10

73 1,5 ° 10

22

Оргстекло иэ полиметилметакрилата л с без покрытия 90%

9,5

18

60 Зр 2 ° 10

67 .6 ° 10

72 1, 5 ° 109

2,5 10

4 10

8 10

Оргстекло из поликарбоната t, беэ покрытия 80%

62

61

67

1

Полизтилентерефталатная пленка (лавсаф

8 беэ покрытия 81В

60 33 ° 10

65 7.(5 ° 109

71 2,5 10

2., 5 ° 10

5,5 10

2 ° 10

СоставиТель В. Полосухин

Редактор Т. Митейко Техред И. Гайду

Корректор О. Билак

Заказ 8972/8 Тираж 689

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий.

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подйисное

Филиал ППП Патент, г. ужгород, ул. Проектная, 4 канием после нанесения в вакууме.

По механической прочности покрытия относятся ко 2 группе по ОСТ 3-1901/ 73 и устойчивы к условиям 100% относительной влажности при 70 С.

Предлагаемый способ позволяет снизить температуру окисления элект ропроводящего покрытия с 180 — 350 до 70 — 100 С, что расширяет возможI ности применения малотермостойких подложек. Так, в частности, применение .предлагаемого способа позволяет заменить прозрачные электроды из силикатного стекла (бьющегося и тяжелого) в различного рода жидко- кристаллических индикаторах, напри-! мер, в электронных часах, на прозрачные электроды из органического стекла и т.п.