Устройство для обработки изделий в вакууме

Устройство для обработки изделий в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее загрузочную камеру с магазином и толкателем для изделий, соединенную с вакуумной камерой каналом с вакуум-- ным затвором, отличающеёс я тем, что, с целью повышения надежности в работе, оно снабжено направляющими для изделий, подвижно установленными в канале посредством упругих элементов, причем направляющие для изделий выполнены с подпружиненными фиксаторами, а вакуумный затвор расположен между направляющими для изделий. О :л эь DO эо

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК, (19) (И) 3(5)) И 01 Ь 21 70 С 23 С

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3382322/18-21 (22) 11.01.82 (46) 23.11.83. Бюл. )) 43 (72) Г.М.Кононов(53) 621.362(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

В 322321, кл. С 23 С 13/08, 11. 08. 69.

2. Патент США Р 4013262, кл. 250-492, 22.03.77. ,(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ

ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее загрузочную камеру с магазином и толкателем для изделий, соединенную с вакуумной камерой каналом с вакуумным затвором, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности в работе, оно снабжено направляющими для иэделий, подвижно установленными в канале посредством упругих элементов, причем направляющие для изделий выполнены с подпружиненными фиксаторами, а вакуумный затвор расположен между направляющими для изделий.

1056318

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам для обработки иэделий в вакууме, например полупроводниковых пластин для изготовления полупроводниковых приборов. 5

Известно устройство для обработки иэделий в вакууме, содержащее загрузочную камеру, соедйненную с вакуумной камерой каналом с вакуумным затвором (1) . 10

Недостатками устройства являются низкая производительность, так как в нем не обеспечивается автоматизированная загрузка иэделий в вакуумную камеру, а также низкая надежность15 в работе, не обеспечивающая надежную ориентацию изделий при загрузке их н вакуумную камеру.

Наиболее близким к изобретению является устройство для обработки иэделий в вакууме, содержащее загрузочную камеру с магазином и толкателем для изделий, соединенную с вакуумной камерой каналом с вакуумным затвором (2) .

Однако низкая надежность в работе не обеспечивает надежное ориентирование изделий при перегрузках иэ загрузочной камеры в вакуумную.

Цель изобретения — повышение надежности в работе. 30

Указанная цель достигается тем, что устройство для обработки изделий в вакууме, содержащее загруэоч ную камеру с магазином и толкателем для иэделий, соединенную с вакуумной 35 камерой каналом с вакуумным затвором, снабжено направляющими для изделий, подвижно установленными в канале посредством упругих .элемен- тов, причем направляющие для изде- 40 лий выполнены с подпружиненными фиксаторами, а вакуумный затвор расположен между направляющими для иэ- . делий.

На фиг. 1 показано устройство, общий виду на фиг, 2 — то же, разрез; на фиг. 3 - начало загрузки держателя из загрузочной камеры в канал; на фиг. 4 — ввод держателя в направляющую для изделий; на фиг. 5перемещение держателя в зоне вакуумного затвора; на фиг. 6 - начало загрузки держателя в направляющие колеса; на фиг. 7 †совмещение направляющей для изделий с направляющей колеса; на фиг. 8 — загрузка держателя в направляющие колеса; на фиг. 9 — разрез A-À на фиг. 2; на фиг. 10 — разрез Б-Б на фиг. 9 на фиг. 11 — разрез В-В на фиг. 2; на фиг. 12 — разрез Г-Г на фиг, 11. 60

Устройство для обработки изделий в вакууме содержит загрузочную камеру 1, соединенную каналом 2 с вакуумной камерой 3. B канале 2 установлен вакуумный затвор 4. В загрузочной камере размещен магазин для изделий, выполненный в виде карет-. ки 5, установленный с возможностью возвратно-поступательного перемещения на направляющих 6 и соединенную с винтовым механизмом 7. На каретке 5 установлена кассета 8 для изделий, например полупроводниковых пластин, которые размещены в держателях 9 изделий, установленных в гнездах кассеты 8. Кассета 8 выполнена с выступами 10 расположенными симметрично относительно гнезд кассеты 8. Для перегрузки изделий из загрузочной камеры 1 в вакуумную камеру 2 предназначен толкатель ll, конец которого выполнен фигурной формы, а в держателе 9 изделий выполнен фигурный паз 12 для толкателя 11. Толкатель 11 установлен в загрузочной камере 1 с возможностью возвратно-поступательного перемещения вдоль канала 2 и с возможностью поворота вокруг своей осМ

В вакуумной камере 3 расположено колесо 13 (колесо Ферри), по окружности, которого равномерно расположены гнезда для держателей 9 изделий, выполненные в виде направляющих 14, причем направляющие выполнены с ребрами 15, расположенными симметрично относительно оси направляющих 14„

Для ориентированного перемещения изделий в канале 2 предназначены направляющие 16 и 17 для изделий.

Направляющие 16 и 17 для иэделий выполнены s виде рамок, в которых выполнены пазы 18 для держателей изделий, ширина которых несколько боль ше толщины держателей 9, и установлены в канале 2 с возможностью перемещения, Направляющие 16 и 17 для изделий опираются на дно канала 2 бочкообраз ными роликами 19, которые соединены с направляющими 16 и 17 для изделий серьгами 20 подпружиненными пружиной 21, и ус ановлены в канале 2 подвижно посредством упругих элементов, выполненных в виде пружин 22 растяжения, соединяющих направляющие 16 и 17 для иэделий со стенками канала„ Направляющие 16 и 17 для иэделий выполнены со скошенными поверхностями 23 и 24, предназначенными для направления держателей 9 изделий в пазы 18. Кроме того, скошенные поверхности 23 выполняют функцию ловителей для совмещения паза 18 направляющей 16 для иэделий с гнездами кассеты 8 магазина, и для совмещения паза 18 направляющей 17 для изделий с.направляющими 14 колеса 13. На направляющей 16 для нзделий закреплен упор 25, который ограничивает ее перемещение в направлении к вакуумной камере 3, а на направляющей 17 закреплен аналогич1056318 держатель упирается в подпружиненный фиксатор 27 направляющей 17 для изделий, и направляющая 17 для изделий перемещается вместе с толкателем ll и держателем 9 иэделий по направлению к колесу 13. При этом направляющая 17 для изделий взаимодействует скошенными поверхностя»:. ми 23 с ребрами 15 направляющих 14 колеса 13 и самоустанавливается относительно направляющей 14 так, что пазы 18 направляющей 17 для изделий совмещаются с пазами направляю . щей 14. После того, как направляющая 17 для изделий упирается в направляющую 14 колеса 13, толкатель ll, преодолевая сопротивление подпружиненного фиксатора 27, перемещает держатель 9 в пазы направляющей 14, затем толкатель 11 поворачивается вокруг своей оси на 90 в обратном направлении и возвращается в исходное положение. Каретку 5 с кассетой 8 и колесо 13 перемещают для подачи следующего держателя 9, который также транспортируется толкателем 11 в вакуумную камеру 3. Выгрузка держателей 9 изделий из вакуумной камеры 3 после обработки изделий производится в обратной последовательности. При этом совмещение пазов 18 направляющей 16 для изделий с гнездом кассеты 8 обеспечивается эа счет взаимодействия скошенных поверхностей 23 направляющей:

:16 для иэделий с выступами 10 кассеты 8, при этом перемещение направляющей 16 для иэделий к кассе: те 8 обеспечивается за счет взаимодействия держателей 9 иэделий с подпружиненным фикса-, тором 27. ный упор 26, который ограничивает ее перемещение в направлении к загрузочной камере 1.. Направляющие 16 и 17 выполнены с подпружиненными фиксаторами 27., Вакуумный затвор 4 расположен

5 между направляющими 16 и 17 для изделий.

Устройство работает следующим образом.

При закрытом вакуумном затворе 4 в загрузочную камеру 1 на каретку 5 устанавливается кассета 8 с изделиями — полупроводниковыми пластинами, размещенными в держателях 9, затем загрузочная камера 1 герметизирует- 15 ся и в ней создается давление, равное давяению в вакуумной камере 3, после чего вакуумный затвор 4 открывается, Рабочее колесо 13 устанавливается в положение, при котором одна из направляющих 14 колеса 13 располагается соосно с гнездом кассеты 8 магазина. Толкатель 11 входит в фигурный паз 12 держателя 9, поворачивается на 90 вокруг своей оси, продолжает поступательное перемещение и транспортирует держатель 9 с иэделием в вакуумную камеру 3, при этом, взаимодействуя со скошенными поверхностями 23 и 24 направляющей 16 для иэделий, держатель 9 входит в паз 18. Направляющая 16 для иэделий самоустанавливается относительно. держателя 9 за счет деформации .упру гих элементов — пружина 22 растяже-. ния и пружина 21. При дальнейшем пе- Зз ремещении толкателя ll держатель 9 с изделием взаимодействует со скошенными поверхностями 23 и 24 направляющей 17 для изделий, входит в ее паз 18. Направляющая 17 для изделий 4{) также самоустанавливается относительно держателя 9 иэделий.

После того, как держатель 9 изделий перемещается за пределы кассеты 8, и входит полностью в канал 2,45 ориентированное положение держате, ля 9 изделий обеспечивается направляющими 16 и 17 для иэделий. При дальнейшем перемещении толкателя 11Использование изобретения обеспечивает повышение надежности в работе установки для обработки изделий

s вакуумной камере за счет обеспечения надежной ориентации иэделий при

"их транспортировании из загрузочной камеры в вакуумную камеру.

1056318,1оэбз18

18 25

Фиг. Ф

Фиг. Х

1056 318

Фиг. 7

1056318

1056 318

1056313 Риг 10

1056318

1056318

Составитель В.Дрель

Редактор Н.Бобкова Техред М.Костик КорректорО.Билак

Заказ 9320/49 Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r.Óæãîðîä, ул.Проектная, 4