Устройство для измерения угла скоса легкой оси анизотропии цилиндрической магнитной пленки
Иллюстрации
Показать всеРеферат
УСТРОЙСПВр ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛА :ЬСОСА ЛЕГКОЙ Х:И АНИЗОТРОПИИ ЦЙЛИН-Г ДРИЧЕСКОЙ МАГНИТНОЙ ПЛЕНКИ, СОДеРГ жащее цепь из последовательно соединенных подложки, первого согласуют щего резистора, (йалансировочного резистора, второго согласующего резистора и компенсирующего прбводнкка , подключёиную к первичной обмотг ке дифференциального траисфо1 атора , вторичная обмотка которого сов. динена с входсм импульсного усилителя , средняя точка - с выходе рв гулируемого генератора постоянного тока, генератор, первый выход которого соединен последовательно с первым фо1 4ирователем импульсов электрического тока и обмоткой,охватывающей подложку и ксдапенсирующий ПРОВОДНИК, а второй выход сое|ДИНен с входом второго, формирователя импульсов электрического тока, |Два паралледьньис канала, состоящих из последовательно соединенных дискрИАШнатора и преобразователя импульсных сигналов в постоянное напряжение каждый, включенный между выходом и 1пульсного усилителя и первым и вторымвходами вычитающего .блока соответственно, первую и ато:рую линии задержки,выходы которых подключены к вторым входам соответствующи Е первого и второго дискриминаторов , а вход П€1рвой линии задержки - к вторсялу выходу генератора, и измерительными резистор, о т л иШ ч а ю щ ее с я тем, что, с целью повышения точности измерения,оно снабжено третьим формирователе импульсов, вход которого подключен к третьему выходу генератора и к входу второй линий задержки, выходы 5 второго и тре-гьего формирователей соединены со средней точкой дифференциал bHoVo трансформатора, вторые входы подключеиы к второму выхрду. регулируемого генератора постоянно-, го тоКа, вход.которого соединён О J с выходом вычитающего блока,а измерительный резистор включён между вторым выходом регулируемого генератора постоянного тока и баланси ровочным резистором. 00
COOS СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТ ИЧЕСИИХ
РЕСПУбЛИН
3(Я),.G 01 R 33/О- 0 01 R 33/12
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ HOMHTET СССР
nO gEJlAM ИВОбРЕТЕИИЙ H OTHPblT+!
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИй::.
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕ ГЕЛЖТВУ (21.) 3401412/18-21 (22).01.03.82 (46) 15.12.83. Бюл. В 46 (72) C.Ê. Эодеников и П.И. Иващенко (5u 621.817.44 (088.8) (56) 1. Коперсако Н.Т.,:Нестеров П В.;
Особенности непрерывного измерения параметров и разбраковка цилиндри ческих магнитных пленок -"Электрон». ная техника", cep. Ylq вып. 4,-1971, 15 -17.
2. Авторское свидетельство СССР
В 522477, кл.6 01 а 33/12, 1974, (54) (57)УСТРОЙСТВО ДНЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛА, CK0CA ЛЕГКОЙ ОСИ AHHSOTPOHRM АМИЛИИ=
ДРИЧЕСКОЙ МАГНИТНОЙ ПЛЕНКИ, содер-. жащее цепь из последовательно соединенных подложки, первого согласую-- .. щего резистора, балансировочного резистора, второго согласующего ре-. зистора и компенсирующего проводнкка, подключенную к первичной обмотке дифференциального траисформато ра, вторичная обмотка которого сое-.. динена с входом импульсного усили» теля, средняя точка - с выходом ре> гулируемого генератора постоянного. тока, генератор, первый выход кото рого соединен последовательно с первым формирователем импульсов электрического тока и обмоткой,охватывающей подложку и компенсирующий проводник. а второй выход соеаюЬВш 8 А,динен с входом второго формирователя импульсов электрического тока,. два параллельных канала, состоящих
;из последовательно соединенных дискриминатора и преобразователя импульсных сигналов в постоянное напряжение каждый, включенный между выходом импульсного усилителя и .первым и вторым входами вычитающего .блока соответственно, первую и вторую линии..задержки, выходы которых подключены к вторик входам соответствующих первого и второго дискриминаторов, а вход первой линии задержки - к второму выходу генератора, и измерительный резистор, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повь|шения точности измерения,оно снабжено третьим формирователем импульсов, вход которого подключен в третьему выходу генератора и к входу второй линии задержки,.выходы второго и третьего формирователей соединены со средней точкой дифференциально1.о трансформатора, вторые входи подключены к второму выходу регулируемого генератора постоянно-, го тока, вход, которого соединен . с -выходом вычитающего блока,а измерительный резистор включен между вторым выходом регулируемого гене-. ратора постоянного тока и балансировочным резистором.
10б1078
Изобретение относится к области магнитных измерений и предназначено для измерения параметров цилиндрических магнитных пленок в процессе производства.
Известны устройства для измерения угла скоса легкой оси анизотропии цилиндрической магнитной пленки, содержащие регулируемый генератор постоянного тока, подключенный через балансировочный и согласую.щий резисторы и подложке с магнитной пленкой и компенсирующей про,волоке, которые в свою очередь присоединены к первичной обмотке дифференциального трансформатора, средняя точка которого подключена к второму выходу генератора постоянного тока, соединенные последовательно обмотку, охватывающую подложку и компенсирующую проволоку, включенные последовательно вторичную обмотку дифференциального трансформатора и измерительный приббр (1)
20
Однако данному устройству свойственна низкая точность измерения.
Наиболее близким по технической сущности к предложенному является устройство для измерения скоса легкой оси анизотропии цилиндрической магнитной пленки, содержащее регулируемый генератор постоянного тока, подключенный через балансировочный и согласующий резисторы к подложке с магнитной пленкой и компенсирующей проволоке, которые в свою . 35 очередь присоединены к первичной обмотке дифференциального трансформатора, средняя точка которого подключена к второму выходу генератора постоянного тока, генератор, первый 40 выход которого соединен последовательно с первым формирователем импульсов электрического тока и.обмот À, охватывающей подложку и компенсирующую проволоку, а второй. выход соединен с вторым формирователем импульсов электрического тока, выход которого соединен с выходом первого формирователя тока, включенные последовательно вторичную обмотку дифференциального трансформатора, импульсный усилитель и два параллельных канала, состоящих из последовательно включенных дискриминатора и преобразователя импульсных сигналов в постоянное напряжение каждый, подключенных к вычитающему блоку и сумматору, две линии задержки, выходы которых подключены к управляющим вхо-. дам дискриминаторов, а входи — к выходам генератора, измерительный ре- 60 зистор и модулятор, вход которого соединен с выходом вычитающего блока, первый выход — с первым выходом генератора постоянного тока, а второй с измерительным резистором, выход 65 сумматора подключен к входу генератора постоянного напряжения (2) .
Однако известное устройство характеризуется невысокой точностью измерения, обусловленной невысоким уровнем сигнала ЭДС, наводимого в подложке при перемагничивании пленки, и погрешностью, вносимой постоян ной составляющей магнитного поля, приводящей к распаду векторов намагниченности при снятии внешнего перемагничивающего поля.
Цель изобретения — повышение точности измерения. восставленная цель достигается тем, что устройство для измерения угла скоса легкои оси анизотропии ци линдрической магнитной. пленки,содержащее цепь из последовательно соединенных подложки, первого согласующего резистора, балансировочного резистора, второго согласующего резистора и компенсирующего проводника, подключенную к первичной обмотке дифференциального трансформатора, вторичная обмотка которого соединена с вхбдом импульсного усилителя, средняя точка — с выходом регулируемого генератора постоянного тока, генератор, первый выход которого соединен последовательно с первым формирователем импульсов электрического тока и обмоткой, охватывающей подложку
-и компенсирующий проводник, а второй выход соединен с входом второго формирователя импульсов электрического тока, два параллельных канала, состоящих из последовательно соединенных дискриминатора и преобразователя импульсных сигналов в постоянное напряжение каждый, включенных между выходом импульсного усилителя и первым и вторым входами вычитающего блока соответственно, первую и вторую линии задержки, выходы которых подключены к вторым входам соответствующих первого и второго дискриминатбров, а вход первой линии задержки — к второму выходу генератора, и измерительный резистор, дополнительно снабжено третьим формирователем импульсов, вход которого подключен к третьему выходу генератора и к входу второй линии задержки, выходы в oporo и третьего формирователей соединены со средней точкой дифференциального трансформатора, вторые входы подключены к второму выходу генератора постоянного тока, вход которого соединен с выходом вычитающего блока, а измерительный резистор включен между вторым выходом регулируемого генератора постоянного тока и балансировочным резистором.
На чертеже представлена схема предложенного устройства.
1061078
Устройство содержит регулируемый генератор 1 постоянного тока, измерительный 2, балансировочный 3 и . первый 4 и второй 5 согласующие резисторы,подложку б с магнитной пленкой и компенсирующий проводник 7:; дифференциальный трансформатор 8, генератор 9, первый 10, второй 11 и третий 12 формирователи импульсов электрического тока, обмотку 13 импульсный усилитель 14, дискриминаторы 15 и 16 и преобразователи 17 и 18 импульсных сигналов, вычитаю-, щий блок 19, первую 20 и вторую 21 линии задержки.
Подложка б, первый согласующий резистор 4, балансировочный реэис» тор 3, второй согласующий резистор .5 и компенсирующий проводник 7 соеди.нены последовательно и подключены к первичной обмотке дифференциального трансформатора 8, средняя точка которого соединена с выходом регули-,. руемого генератора постоянного тока 1, первый выход генератор 9 соединен пооледовательно с первым формирователем 10 импульсов электрического тока и обмоткой 13, охваты- . вающей подложку б и компенсирующий проводник 7, а второй выход соединен с вторым формирователем 11 импуль.сов электрического тока, вторичная обмотка дифференциального трансформатора 8, подключена к импульсному. усилителю 14, два параллельных канала, состоящих из последовательно соединенных дискриминатора 15(16) и преобразователя 17(18) импульсных сигналов в постоянное напряжение каждый, включены между выходом усилителя 14 и первым и вторым выходами вычитающего блока 19, выходы первой 20 и второй 21 линий задержки подключены к вторым входам соответствующих дискриминаторов 15 и 16, а вход первой линии эадержки 20к второму выходу генератора 9,вход третьего формирователя импульсов 12 подключен к третьему выхбду генератора 9 и к входу второй линии задерж ки 21, выходы второго 11 и третьего.
12 формирователей соединены с средней точкой дифференциального трансформатора 8, вторые входы подключены к второму выходу генератора постоянного тока 1, вход которого соединен с выходом вычитающего блока 19 а измерительный резистор 12 включен между вторым выходом регулируемого генератора постоянного тока 1 и балансировочным резистором 3.
Устройство работает следующим образом.
Генератор 9 вырабатывает импульс запуска формирователей 10,11,12 импульсов токов, согласованные во времени, с выходов формирователей 1Ъ и 12 разнополярные импульсы токов
J и 3 одинаковой амплитуды попеременно поступают на подложку б,намагничивая пленку в одном иэ двух направлений осей легкого намагничивания каждый, причем после каждого из импульсов J q или 3 следует импульс тока 3> формируемый формирователем 10 ймпульсов тока, который, протекая через обмотку 13., 10 охватывающую подложку 6 измеряемого образца и компенсирующий проводник 7, благодаря которому компенсируются помехи, вызывает перемагничивание пленки в направлении, 13 совпадающем с направлением поля, создаваемого импульсом тока 3> в обмотке 13„ В моменты прохождения фронтов и спадов импульсов тока 3>, протекающих через обмотку 13, в цепи, образованной подложкой б, резисторами 3,4 и 5, компенсирующим проводником..7 и первичной обмоткой трансформаторов 8 возникают импуль-. сы ЭДС, которые после усиления уси25 лителем 14 поступают на дискриминаторы 15 и 16, где происходит выделение сигналов от перемагничивания из двух противоположных по направлению намагниченных состояний, ЗО.соответствующих двум возможным направлениям осей легкого намагничивания, обеспечиваемое за счет управления дискриминаторами 15 и 16 импульсами запуска формирователей
11 и 12 через линии задержки 20 и
21. После преобразования выделенных сигналов в постоянный уровень на преобразователях 17 и 18 они поступают на вычитающий блок 19, откуда разностный сигнал в качестве
4О управляющего поступает на регулиру- . емый генератор 1 постоянного тока. .Ток с выхода генератора 1 постоянного тюка автоматически поддер45 живается таким, чтобы сигналы ЭДС от перемагничивания из двух противоположных направлений осей легкого намагничивания были одинаковыми, что соответствует скомпенсирэванному углу скосов, и по величине постоянного тока, определяемого с помощью резистора 2, определяется угол скоса.
Сигналы ЗДС при перемагничивании пленки иэ предварительно намагниченных состояний с противоположным направлением намагниченности по осям легкого намагничивания значительно выше, чем при перемагничивании из состояния, в котором
60 распределение намагниченности по двум направлениям осей легкого намагничивания определяется только углом скоса, что существенно повы.шает точность измерения из-эа
65 меньшего влияния помех, кроме того,.
1061078
Составитель М.Клыкова
Техред М Тенер КоРРектоР Г. Решетник
Редактор 31;::Веселовская
Заказ 10034/48 Тираж 710 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская .наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная,4 постоянная .составляющая магнитного поля не сказывается на результате измерения, так как в предложенном устройстве внешним перемагничивающим полем опрашивается не состояние, характеризующее распад векторов намагниченности, а состояние магнитного насыщения, на которое йостоянная составляющая не сказывается, так как она много меньше козрцитивной силы, а характеристика перемагничивания в легком направлении намагничивания имеет прямоугольный вид.