Оптический волновод

Оптический волновод

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

;1 ОПТИЧЕСКИЙ ВОЛНОВОД со скачкообразным изменением показа теля преломления на транице вблноводная . пленка - подложка, содержащий подложку с nepBi показателем и нанесенную поверх аморфнуюволноводную пленку с вторым показателе преломления, большим первого, отличаю щи йс я тем что, с целью повышения устой:чивости к механическим и температур .ный воддействиям,подложка и волноводная пленка выполнены из материалс в одинакового качественного и ко-, личественного химического состава, но отличакнвшхся внутренней структуройч ;2, волновод по л, .1, о л и ч аю щ ни с я тем, что подложка и вол-g .новодная пленка выполнены из SlOi, : 8

(1% (И) СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК

3(5Р G 02 В 5/172

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ. СВИДЕТЕДЬСТЗУ

Ф

: Lty

AKVAAPCTBEHHblA КОМИТЕТ CCOP

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTHA (21) 3416075/18-10 (22) 0le04e82 (46) 23,1;2 83, Вк(л 9 47 (72) Л И Ланда,, К,,а, Ланда и;Г.,;Г. Петровский (71) кемеровский государственный университет (53) 535,813 1088,8) (56);l Петровский;Г,;1, и Агафоно.-ва К., Д, Физика и химия стекла", ;То б, 1980, 9 1,,с,, 3-1,8а.

;2. Интегральная оптика",, .

Под ред ",Г, Темира, И,, ™Мир, 1978,;с, 232 (прототип). (54) (57),1ф ОПТИЧЕСКИЙ ВОЛНОВОД со скачкообразным изменением показателя преломления на границе волноводная пленка — подложка, содержащий подложку с первым показателем и нанесенную nosepx аморфную волноводную пленку с вторым показателем преломления, большим первого, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения устой чивости к механическим и температур,.ным воздействиям,подложка и волноводная пленка выполнены из материалов одинакового качественного и ко-, личественного химического состава, но отличающихся внутренней структу-. рой.

;2, Волновод по п 1, о т л и ч аю шийся тем, что подложка и вол. новодная пленка выполнены из S10g, I

1062635

Составитель;В. Лавров

Техред А.Бабинец Корректор И.Муска

Редактор О, Юрковецкая

Эаказ 10214/47 Тираж 511 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам и з обретений и от крытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская н б, д, 4/5 филиал ППП Патент, Г. Ужгород, ул Проектная, 4

Изобретение относится к элементам интегральной оптики, а именно к волноводам с резким изменением показателя преломления.на границе волноводная пленка — подложка.

Известны оптические водноводы, полученные путем нанесения на подложку кристаллической или аморфной пленки толгггиной s яескольхо микрон с показателем преломления большим, чем у подложки, причем химический состав пленки качественно или количественно отличается от состава подложки (1,).

Недостатком волноводов является неполная технологическая совместимость слоев из-за сочленения различных по химическому составу материалов, которая вызывает наличие тре. щиноватого слоя в волноводной пленке на границе с подложкой, снижающего качество волновода как элемента оптической системы;.низкую адгезионную прочность слоев иэделия; ,узкий диапазон допустимых температурных изменений s условиях эксплуатации, а также хранения и транспортировки, так как различие коэфФициентов расширения разных по химическому составу материалов вызывает появление напряжения и сколов уже при колебаниях температуры в нес-. колько десятков градусов, Известен также волновод со скачкообразным изменением показателя преломления на границе волноводная пленка . — подложка, содержащий подложку с первым коэффициентом преломления и нанесенную поверх аморфную волноводную пленку с вторым коэффициентом преломления, большим первого, причем химический состав пленки близок, но не тождественен составу подложки,что необходимо для создания волноводного эффекта за счет разности показателей преломления пленки н подложки (2Д

Недостатком известного волновода .является невозможность добиться полной технологической совместимости слоев, а следовательно, низкая устойчивбсть к механическим и температурным воздействиям.

Цель изобретения — повышение устойчивости к механическим и температурным.воздействиям. Указанная цель достигается тем, 5 что в оптическом волноводе со скачкообразным изменением показателя преломления на границе золноводная пленка — подложка, содержащем подложку с первым коэффициентом преломления и нанесенную поверх аморфную волноводную пленку с вторым коэффициентом преломления, большим первого, подложка и волноводная пленка выполнены нз материалов одинакового качественного и количественного химического состава, но отличающихся внутренней структурой ° При этом подложка и волноводная пленка выполнены из $10 .

Оптический волновод можно изготовить с помощью катодно-реактивного распыления и осаждения аморфной пленки 810Z на поверхность подложки из стеклообразного 810,, Показатель преломления пленки в этом случае

1,4.67 на длине волны 0,63 мкм и превьааает показатель, преломления подложки (1,457), что обусловлено pàçличием внутренней структуры пленки и подггожкя е

ЗО . Могут быть ггредложены и другие способы нанесения аморфной пленки, например, высокочастотное распыление, - Предложенный волновод отличается от известного более высокими показателями качества.

Не имеется трещиноватого слоя в аморфной волноводной пленке, и адгеэионная прочность определяется не

40 дефектностью слоев на границе пленка — подложка, а природной химической связью материала, например, 81Оg.

Температурный интервал, в котором может работать волновод, определяет45 ся температурой структурных превращений,материала пленки, и верхняя граница.ex o составляет 1000 К, в то время как в известном волноводе этот

:предел обусловлен различием коэффициентов термического расширения и не превышает сотни градусов,