Дозатор парогазовой смеси

Дозатор парогазовой смеси

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ДОЗАТОР ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ, содержащий емкость, заполненную жидкостью , в верхней части которой имеется отверстие для выхода парогазовой смеси, а внутри нее расположен конический распределитель газа с каналами для прохода, газа, отличающийся тем, что, с целью обеспечения стабильности состава парогазовой смеси при изменении расхода газа, каналы выполнены в виде расположенных по спирали на конической поверхности распределителя отверстий , а угол конуса oL при основании выбран в пределах О об 1 20°. ел А Ф

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ЗСЮ 0 01 у 11 28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTQPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО делАм изОБРетений и ОтнРытИЙ (21 ) 3262513/18-10 (22) 23.03.81 (46) 07.01.84. Бюл. Р 1 (72) В.Н. Михайлин, В.И. Носов, В.В. Сирота и A..Â. Вервыка (71) Центральный научно-исследовательский и проектно-технологический институт механизации и электрификации животноводства Южной эоны СССР (53) 543.058(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

9 688828, кл. 0 01 F 11/28, 1977.

2. Барил M.A. и др. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. М., "Энергия", 1978, с. 15 (прототип).

ÄÄSUÄÄ10 . А (54 ) (57 ) ДОЗАТОР ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ, содержащий емкость, заполненную жидкостью, в верхней части которой имеется отверстие для выхода парогазоной смеси, а внутри нее расположен конический распределитель газа с каналами для прохода. газа, о т л и ч а ю шийся тем, что, с целью обеспечения стабильности состава парогазовой смеси при изменении расхода газа, каналы выполнены в виде расположенных по спирали на конической поверхности распределителя отверстий, а угол конуса с(. при основании выбран в пределах 0 (Ы (20

1065690

Изобретение относится к дозиро» ванию материалов и может быть использовано при металлировании из парогазовой фазы, а также.для получения полупроводниковых материалов, Известен дозатор паров жидкости, состоящий из сосуда с отверстием для заливки диффуэанта, трубок ввода газа-носителя и вывода парогазовой смеси Г1).

Но в этом дозаторе насыщение пу- 10 зырьков резко изменяется при различных расходах.

Наиболее близким к изобретению является дозатор парогазовой смеси, содержащий емкость, заполненную жид- 15 костью", в верхней части которой имеется отверстие для выхода парогазовой смеси, а внутри нее расположен конический распределитель гаэа с каналами для прохода газа Г2 3.

Недостатком известного доэатора является невозможность применения одного и того же доватора в установках, работающих на раэлиЧных скоростях расхода газа-.носителя.в связи с тем, что он не обеспечивает стабиль,ную концентрацию состава парогазовой смеси.

Целью изобретения является обеспечение стабильности состава парогазовой смеси при изменении расхода

rasa.

Поставленная цель достигается тем, что в доэаторе парогазовой смеси, содержащем емкость, заполненную жидкостью, в верхней части которой имеется отверстие для выхода паро-, газовой смеси, а внутри нее расположен конический распределитель газа с каналами для прохода газа, причем каналы выполнены в виде расположен- 40 них по спирали на конической поверхности распределителя отверстий, а угол конуса с При основании выбран в пределах 0 < с6 с 20О.

На фиг. 1 схематически изображен дозатор; на фиг. 2 — то же, при повышенном расходе газа; на фиг.3 разрез А-A на фиг.2.

Дозатор состоит из емкости 1, которая закрывается крышкой 2. Распределитель 3 цилиндрической частью вмонтирован в крышку 2 и представляет с ней единое целое. Отверстия в конусной части распределителя 3 расположены по спирали, а угол конуса о при основании лежит в пределах 0 (К (20 О.

Дозатор работает следующим образом.

При установившемся расходе газаносителя уровень диффузанта 4 в распределителе 3 занимает определенное положение, соответствующее требуемой для данного расхода газа-носителя величины активной зоны. В этом случае газ-носитель проходит только через те отверстия, которые лежат выше установившегося уровня диффузанта.

Увеличение (уменьшение 1 скорости расхода газа-носителя приводит к самопроизвольному понижению (повышению ) уровня диффузанта внутри распределителя 3. При этом величина активной эоны увеличивается (уменьшается ) строго пропорционально изменению скорости расхода газа-носителя, причем саморегулирование величины активной эоны происходит плавно, так как отверстия в распределителе расположены по спирали. . В связи с тем, что конечной величине скорости расхода газа-носителя соответствует вполне определенная величина активной зоны, скорость газового потока в объеме диффуэанта поддерживается стабйльной, а состав парогазовой смеси на выходе из доэатора практически не меняется.

Составитель Т. Филиппова

Редактор Р. Цицика Техред; O.йеце Корректор:Л.Патай

«/

Заказ,11029/41 Тираж 615 Подписное

ВНИИПИ Государственйого комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская иаб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент",: r. Ужгород, ул. Проектная, 4