Устройство для передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях

Устройство для передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ПЛАСТИН МЕЖДУ КОНВЕЙЕРАМИ, РАСПОЛОЖЕННЫМИ НА РАЗНЫХ ВЫСОТНЫХ УРОВНЯХ, включающее размещенный в вертикаль- . ном стволе подъемный стол с ограничителями , отличающееся тем, что, с целью снижения повреждений при передаче пластин, изготовленных из хрупкого материала, подъемный стол выполнен с соединенными между собой и наклонными к его поверхности отверстиями, связанными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненный соответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров и в боковой стенке подъемного стола.

(19) (11) СОЮЗ СОВЕТСКИХ

И ВЬ

РЕСПУБЛИК

3(51) В 65 G47 52

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС ГВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3491925/27. 03 (22) 08.09.82 (46) 15.01.84. Бюл. Р 2 . (72) М.Г.Ураевский (71) Киргизский горнометаллургический комбинат (53) 621.867(088 ° 8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Р 122428, кл. В 65 G 47/54, 1958. 2, Авторское свидетельство СССР

9775022, кл., В 65 G 47/52,, 1978 (прототип) . (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ

ПЛАСТИН МЕЖДУ КОНВЕЙЕРАМИ, РАСПОЛОЖЕННЫМИ НА РАЗНЫХ ВЫСОТНЫХ УРОВНЯХ, включающее размещенный в вертикальном стволе подъемный стол с ограни- чителями, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения повреждений при передаче пластин, изготовленных из хрупкого материала, подьемный стол выполнен с соединенными между собой и наклонными к его поверхности отверстиями, связанными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненный соответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров и в боковой стенке подьемного стола.

1066918 подъемного стола 7, Стол выполнен с полостью 8, которая через проточ ку 9, выполненную в боковой стенке подъемного стола и через каналы 4 . и И, выполненные в вертикальном стволе, и зависимости от положения стола может соединяться с системой сжатого.газа. Прверхность стола 7 выполнена с отверстиями 10, расположенными наклонно. Отол выполнен по меньI шей мере с двумя гнездами ll с отверстием 12, в которых расположен ограничитель 13 со штоком 14:, который выполнен с возможностью свобод-ного перемещения в отверстии, при

15 этом высота ограничителя меньше вы . соты гнезда, а размер ограничителя со штоком больше высоты стола. На поверхность стола подается пластина

15. Подъемный стол перемещается между

2() расположенными на разных высотных уровнях подающим 16 и отводящим 17 конвейерами, которые могут быть выполне-. ны ленточными. Стол 7 снабжен штоком 18, который соединен с механизмом продольного перемещения. Дно вертикального ствола выполнено с отверстиями 19. Каналы 4 и 5, выполнен. ные в боковых стенках ствола, соединены с системой сжатого газа, например с системой сжатого воздуха через управляющие элементы 20 и 21, например электромагнитные вентили, а механизм продольного перемещения штока 18 выполнен в виде зубчатой рейки 2 2, с которой входит в зацепление шестеря 23 с приводом 24, например, в виде электродвигателя с реверсивным управлением.

-Устройство работает следующим

40 образ ом.

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и материалов, в частности для созданий автоматической линии производства пластин монокристаллического кремния

Известно устройство для передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях, включающее размещенный в вертикальном стволе подъемный стол .с ограничителями и механизмом перемещения

I:13

Недостатком данного устройства является повреждение пластин при передаче эа счет возникновения ударных нагрузок на пластииу при подаче ее на подъемный стол, который выполнен наклонным с неприводными ролика" ми, и при разгрузке подъемного стола при его повороте.

Известно также устройство для передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровнях, включающее размещенный . в вертикальном стволе подъемный стол с ограничителями C2Ä.

Недо ст ат ком данного устрой ств а является повреждение пластин при их перемещении на подъемном столе по его роликам„ а также трение пластин о ролики в процессе перемещения подьемного стола, что вызывает повреждение пластин.

Целью изобретения является снижение повреждений при передаче пластин, изготовленных иэ хрупкого материала.

Для достижения указанной. цели в стройстве для передачи пластин межу конвейерами, расположенными на разных высотных уров н ях, включающем размещеннный в вертикальном стволе подъемный стол с ограничителями, подъемный стол выполнен с соединен-. ными между собой и наклонными к его поверхности отверстиями, связанными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненных со- ответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров, и в боковой стенке подъемного стола.

На фиг, 1 показано предлагаемое устройство при перемещении пластин вверх; общий вид; на фиг. 2 - то же, при перемещении пластин вниз.

Устройство состоит из вертикаль-, ного ствола 1, который имеет загру зочный канал 2 и разгрузочный канал

3, которые выполнены в виде щели с размерами больше размеров перемещаемых пластин. Стенки ствола выполне ны с каналами 4 и 5, которые соединены с системой энергоносителя под давлением, например с системой сжатого газа через запорную арматуру.

Вертикальный ствол также снабжен ограничителями 6 перемещения хода

Открывают электромагнитный вен- тиль 21 и в каналы 4 подают сжатый газ, через проточку 9 поступающий

)в полость 8 подъемного стола 7, из которого через отверстия 10 поступает во внутреннюю полость вертикального ствола, в результате над столом, 7 создается газовый поток, направ-ленный от загрузочной щели к стенке.

50 Подающим конвейером 16 подают пластину 15, которая перемещается в стволе 1, подхватывается потоком и перемещается до упора в ограничитель

13 (фиг. 1) или в ограничитель 6

55 (фиг. 2 ), Электромагнитный вентиль

21 перекрывают и прекращается поток газа через канал 4 и проточку 9, полость 8 и отверстия .10, Пластина 15 плавно опускается на стол 7. Включаg0 ют привод 24, который, вращая шестерню 23 через зубчатую рейку 22, расположенную на штоке 18, поднимает стол 7 (фиг. 1) или опускает его (фиг. 2) до упора в ограничитель 6

<5. (фиг. 1) или ло днища (фиг. 2).

1066918

Составитель Б.Толчанов

Редактор С.Тимохина, Техред Л.Пилипенко Корректор А.Тяско

Заказ lll32/23 .- Тираж 848 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб. д.4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Проточка 9 совмещается с каналом 5, который электромагнитным вентилем

20 соединяют с системой сжатого га- эа. При подъеме стола 7 ограничите- ли l3 опускаются в гнездо 11. Направленный поток газа, проходящий через канал 5 и проточку 9, полость В и огверстия 10, поднимает и перемещает пластину 15 через канал 3 на отводящий конвейер 17, который перемещает пластину на следукицую операцию, О

Электромагнитный вентиль 20 закрывают, включают привод 24, который опускает (фиг. 1) или поднимает (фиг. 2) стол 7 за следующей пластиной. 15

На фиг. 1 н 2 показано, для примера, два варианта механи эма в ертикального перемещения пластин.

Преимуществом изобретения является исключение соприкосновения пластины со стенками вертикального ствола, плавная, осторожная загрузка и выгрузка пластин;- что обеспечивает перемещение хрупких пластин из полупроводникового материала. Более того, прн герметизации подводящих ,конвейеров и подаче очищенного инерт. ного газа устройс".во обеспечивает чистоту, стерильность атмосферы для перемещения деталей, что особенно важно при производстве полупроводниковых приборов .