Электродуговой испаритель металлов

Электродуговой испаритель металлов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ, содержащий анод, расходуемый катод, выполненный в виде диска с поверхностью испарения и поверхностью охлгикдения с цилиндpичeqкнм углублением, и блок управления, о тличающийся тем, что, с целью улучшения условий эксплуатации, он снабжен электроизолированным проводником , установленным в углунблении, причем проводник соединен с анодом через резистор, выводы которого подключены к блоку управления.

(1% (11) СОЮЭ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

3(5II С 23 С 13 12 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЦЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) «4464353/18-21 (22) 05.07.82 (46) 23.01.84. Вюл. 9 3 (72) Л.П.Саблев, A Ç.Гербовицкий, Л.Ю.Аркусский и Г.М. Слуцкий (53) 621.793.14(088.8) (56) 1. Электродуговой сорбционный .высоковакуумный агрегат ВЭД-1.- Вопросы атомной науки и техники. Серия

"физика и техника высокого вакуума, вып. 1(1), Харьков, 1973, с.21-29. . 2. Авторское свидетельство СССР

У 408574, кл. С 23 С 13/12, 1971 (прототип) . (54) (57) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ HCIIAPHTEJlb

METMOIOB, содермаший анод, расходуемый катод, выполненный в виде диска с поверхностью испарения и поверхностью охлалсдения с цилиндрическим углублением, и блок управления, о тл и ч а ю м и и с я тем, что, с целью улучшения условий эксплуатации, он снабжен электроизолированным проводником, установленным в углублении,. причем проводник соединен с анодом через резистор, выводы которого подключены к блоку управления.

1068542

Изобретение относится к технике ,вакуумной металлизацин и может быть использовано при нанесении тонких пленок и покрытий.

Известен электродуговой испаритель металлов, в котором контроаь за расходом материала катода основан на пропорциональности между количеством расходуемого металла и током дуги и осуществляется с помощью счетчика количество, энергии 11. 10

НедосТатком данного электродугового испарителя является отсутствие автоматической системы контроля, включающей сигнализацию и отключение испарителя после выработки ресурса 15 работы катода испарителя.

Наиболее близким к изобретению является электродуговой испаритель металлов, содержащий водоохлаждаемые анод и расходуемый катод, выполненный gp в виде диска с поверхностью испарения, обращенной к подложке, и поверхностью охлаждения с цилиндрическим углублением, контактирующей с держателем катода, и блок управления L2$ .

Недостатком известного электро- дугового испарителя является неудобство эксплуатации, обусловленное необходимостью регулярного промера профиля расходуемого катода в процессе его работы.

Целью изобретения является улучшение условий эксплуатации.

Поставленная цель достигается тем, что электродуговой испаритель металлов, содержащий анод; расходуемый катод, выполненный в виде диска с поверхностью испарения и поверхностью охлаждения с цилиндрическим углублением, и блок управления, снабжен электроизолированным проводником, установленным в углублении, причем проводник соединен с анодом через резистор, выводы которого подключены к блоку управления.

На чертеже схематически представ- 45 лен электродуговой испаритель металлов.

Электродуговой нспаритель содержит водоохлаждаемые анод (не показан) и расходуемый катод .1, выполненный в виде диска с поверхностью 2 испарения, обращенной к подложке, расположенной над ней (не показана) и поверхностью 3 охлаждения. В теле катода 1 со стороны поверхности охлаждения выполнено цилиндрическое углубление 4, в котором размещен электроизолированный проводник 5, со- единенный с анодом,-испарителя через резистор 6, выводы которого подключены к блоку 7 управления

Электродуговой испаритель работает следующим образом.

При зажигании дугового разряда катодные пятна дуги перемещаются по поверхности 2 испарения, эродируя i материал катода. Когда толщина катода станет равной высоте углубления, в катоде образуется сквозное отверстие. Поскольку проводник 5 находится . под потенциалом анода, то при попадании катодного пятна в полученное сквозное отверстие в.цепи проводника протекает ток и на резисторе б возникает падение напряжения, которое поступает в блок 7 управления. При этом блок управления выдает световой или звуковой сигнал.о том, что до окончания ресурса работы катода осталось время, необходимое для проведения технологического цикла, а после окончания необходимо провести смену катода.

Предлагаемый электродуговой испаритель применен в электродуговом насосе НЭД-12. Катод имеет диаметр

250 мм, толщину 80 мм. Насос откачи- вает печь отжига с технологическим циклом Т 100 ч. Испаритель насоса работает при среднем токе-200 A.

Предлагаемый электродуговой испаритель удобен в эксплуатации, поскольку отпадает необходимость в регулярном контроле толщины катода при работе насоса.

1068542 ды

Составитель С.Мирошкин

Техред Т.Маточка Корректор О.Билак

Редактор В.Иванова

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул.:Проектная, 4

Заказ 11420/25 Тираж 903, Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, %-35, Раушская наб., д.4/5