Смотровое устройство для вакуумных установок

Смотровое устройство для вакуумных установок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СМОТРОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК, содержащее герметичный корпус, смотровое стекло и оптически прозрачный защитный экран с механизмом поворота, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и увеличения угла обзора устройства, оно снабжено выполненной с возможностью поворота в корпусе трубой с закрепленными на ее торцах смотровым стеклом и зеркальной системой , например поворотной призмой, а прозрачный защитный экран выполнен в виде полого цилиндра, охватывающего зеркальную систему и установленного соосно трубе с возможностью продольного перемещения , 6 5 / / /

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

3m F27 Р 2102

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМЪ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

C) 4

CO

Оч

А фиг. 7

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3503029/22-02 (22) 20.10.82 (46) 30.01.84. Бюл. № 4 (72) Ю. Г. Громаков и М. А. Полянов (71) Государственный ордена Октябрьской

Революции научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности (53) 669.187.2 (088.8) (56) 1. Пипко А. И. и др. Основы вакуумной техники. М., «Энергия», 1981, с. 318.

2. Авторское свидетельство СССР № 238786, кл. F 27 D 21/02, 1969.

„„SU„„1070415 А (54) (57) СМОТРОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ

ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК, содержащее герметичный корпус, смотровое стекло и оптически прозрачный защитный экран с механизмом поворота, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и увеличения угла обзора устройства, оно снабжено выполненной с возможностью поворота в корпусе трубой с закрепленными на ее торцах смотровым стеклом и зеркальной системой, например поворотной призмой, а прозрачный защитный экран выполнен в виде полого цилиндра, охватывающего зеркальную систему и установленного соосно трубе с возможностью продольного перемещения

1070415

Изобретение относится к вакуумной мета;длургии. . Известно смотровое устройство для вакуумных установок, содержащее герметичный корпус, смотровое стекло и защитный экран, выполненный в виде непрозрачного диска с узкими радиальными щелями и с механизмом вращения. При частоте вращения диска более 1500 об)мин большинство летучих частиц осаждается на диске или боковых стенках щели, при этом обеспечивает я хорошая видимость объекта наблюдения (1) .

Однако в указанное устройстве расположенный снаружи рабочей камеры защитный экран (диск) одним своим краем захо!

5 дит в рабочий объем камеры и нарушает ее герметично ть. Кроме того, необходимость вращения экрана с высокой скоро тью усложняет конструкцию устройства.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому эф- 20 фекту является смотровое устройство для вакуумных установок, содержащее герметичный корпус, смотровое стекло и оптически прозрачный защитный экран с механизмом поворота (2).

К недостаткам известного устройства следует отнести необходимость частой смены защитного экрана и малый угол обзора (+ 5 ) . Повышение ресурса работы экрана можно достигнуть увеличением его размеров или же увеличением количества экранов, но оно приводит к усложнению конструкции устройства.

Цель изобретения — упрощение конструкции и увеличение угла обзора устройства.

Поставленная цель достигается тем, что смотровое устройство для вакуумных установок, содержащее герметичный корпус, смотровое стекло и оптически прозрачный защитный экран с механизмом поворота, снабжено выполненной с возможностью поворота в корпусе трубой с закрепленными 4а на ее торцах смотровым стеклом и зеркальной системой, например поворотной призмой, а прозрачный защитный экран выполнен в виде полого цилиндра, охв ггывающего зер"альную систему H устав"в енн" о соос 45 на трубе с вазможностью продольного с реме(цении, Нд фиг,. 1 паказана смотровое утройсгво, прадальнае сечение; на фиг. 2 -- сечение

А-А на фиг. 1, Устройство со:таит из цилиндрического gp герметичного корпуса " Иатрубкам 2 для крепления устройства на вакуумной каA.ере.

На одном торце корпуса 1 коаксиально ему установлено смотровое стекло 3, скрепленное фланцами с трубой 4, на свободном конце которой укреплена зеркальная система, например поворотная призма 5. На другом торце корпуса 1 coocHQ co cMQTpoBblM стеклом 3 у тановлен защитный экран в виде прозрачного цилиндра 6, закрепленного на штоке 7, с помощью которого цилиндр 6 можно поворачивать вокруг оси и продольно перемещать. Сечение патрубка 2 конусообразно расширяется в направлении, перпендикулярном продольной оси корпуса 1.

Герметичность у тройства обеспечивается вакуумными уплотнениями.

Смотровое устройство работает ледующим образом.

Устройство устанавливают на вакуумной камере так, чтобы продольная ось патрубка 2 совпадала с продольной о ью отверстия в стенке вакуумной камеры. Цилиндр 6 перемещают в исходное (крайнее левое) положение. Поворотом смотрового стекла 3 устанавливают призму в нужное положение и ведут наблюдение, поворачивая призму в ту или иную сторону (предельно на +- 45 ).

Летящие из рабочей зоны частицы или пары металлов оседают на прозрачном цилиндре 6 только на участке, ограниченном сечением патрубка 2. После потери прозрачности этого участка цилиндра 6 его поворачивают и так повторяют, пока вся кольцевая часть цилиндра, расположенная против патрубка 2, не окажется полно тью запыленной, после чего перемещают цилиндр 6 вдоль оси

1ак, чтобы против патрубка 2 оказался чистыи кольцевой участок цилиндра. По мере запыленности вновь поворачивают цилиндр на необходимую величину и операции повторяются.

Отсутствие каких-либо приводов значительно упрощает конструкцию устройства, позволяет выполнить его компактным.

Возможность поворачивать призму на значительную величину. от среднего положения (на +. 45 ) обеспечивает обзор на много больше, чем в известных устройствах, рабочего участка в вакуумной камере при одновременном уменьшении здпыляемого участка прозрачного цилиндра, повышает каче тво контроля за ходам техналагичеекага процесса, а следовательно, и качества получаемой продукции, Увеличивая в допустимых пределах диаметр и длину цилиндра 6, повышают надежность рабаты устройства.

1070415

Составитель С. Дзигосв

Редактор С. Квятковская Техред И. Всрсс Корректор О. Билак

Заказ 1314 39 Тираж 583 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и от крытий

I 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4