Станок для разрезки слитка полупроводниковых материалов, в частности, германия и кремния, на пластины
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Класс 80d, 2
Pk 10/099
8PЩ лг реq
Патент;,:, M6RK;i,, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ЗАВИСИМОМУ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
А. И. Байков
СТАНОК ДЛЯ РАЗРЕЗКИ СЛИТКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЪ|Х
МАТЕРИАЛОВ, В ЧАСТНОСТИ, ГЕРМАНИЯ И КРЕМНИЯ
НА ПЛАСТИНЫ
Заявлено 16 апреля 1956 г. за № 554061 в Комитет ио делам изобретений и открытий, при Совете Министров О СР
Основное авт. св. № 105357 от 25 декабря 1946 г. на имя того же лица
В основном авт. св. М0 105357 описан способ разрезки драгоценных камней и минералов посредством натянутых стальных проволок, смазанных абразивной суспензией и совершающих возвратно-поступательное движение.
Предлагаемый станок предназначен для осуществления способа, описанного в основном авт. св.
М 105357, применительно к условиям разрезки слитков полупроводниковых материалов, в частности, германия и кремния на пластины (кристаллы) .
OcoocHHocTb станка — в выполнении его и виде подвижного в вертикальной плоскости рамочного барабана с намотанной на нем по спирали проволокой и державки для разрезаемого слитка, приводимой в качательное движение в плоскости расположения витков режущей проволоки.
Такое выполнение станка обеспечивает его точную и надежную работу по разрезанию слитков полупроводниковых материалов на пластины. На чертеже схематически изображен предлагаемый станок.
Горизонтальная рамка 1 одним концом шарнирно соединена со станиной и может качаться вокруг оси шарнира. На расстоянии - /з длины рамки от оси ее качания укреплен рамочный барабан 2 с намотанной на нем по спирали режущей проволокой о. В осевой плоскости барабана 2 непосредственно под ним расположена державка 4 разрезаемого слитка о. Державка 4 укреплена на колене коленчатого вала б, коренные шейки 7 которого расположены горизонтально в вертикальной осевой плоскости рамочного барабана 2. Коленчатый вал б получает качательные движения от кривошипношатунного механизма 8. № 107099
Взаимодействие проволок > с разрезаемым слитком 5 осуществляется в результате периодического возвратно-качательного движения вдоль проволок и надавливания на них слитка 5 в процессе колебаний коленчатого вала 6. Врезание проволок 8 на глубину осуществляется и результате опускания рамки 1 с рамочным барабаном 2 под воздействием пружины 9.
Подача абразивной суспензии в рабочую зону станка производится по резиновому шлангу 10 насосом 11.
Для этой цели может быть применен центробежный насос с четырдхлопастным ротором 12, вращающимся в .полом цилиндре 18, являк>щемся продолжением полого коничсского сосуда 14, в который заливается абразивная суспензия.
Предмет изобрстения
1. Станок для разрезки слитка полупроводниковых материалов, I) частности, германия и кремния, на пластины (кристаллы) по способу, охарактеризованному в авт. св. № 105357, о тли ча ющи йс я тем, что он выполнен в виде подвижного в вертикальной плоскости рамочного барабана с намотанной на нем по спирали режущей проволокой и державки для разрезаемого слитка, приводимой в качательное движение в плоскости расположения витков режущей проволоки.
2 Станок по п. 1, отл и ч а к>щи и с я тем, что для подачи режущих проволок на слиток барабан установлен на поворотной подпружиненной рамке.
X 107099
Отв. редактор Л. Г. Голандский
Стандартгнз. Подп. к печ, 23/Ъ 1958 г. Объем 0,34 п. л. Гираж 650. Цена 50 коп.
Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Нервенная, 23. Зак. 3042.