Устройство для двусторонней очистки изделий

Устройство для двусторонней очистки изделий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ОЧИСТКИ ИЗДЕЛИЙ, содержащее два параллельно расположенных приводных моечных элемента, выполненных в виде дисков, и установленное между ними средство для размещения изделий, отличающееся тем, что, с целью повыщения качества очистки, на сторонах дисков, обращенных -к изделию, выполнены выступы в виде усеченных пирамид. 4 О)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

3(Ю В 08 В 3/02, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3512854/28-12 (22) 11. 10.82 (46) 23.02.84. Бюл. № 7 (72) Н. И. Никулин, В. Н. Комаров и И. И. Поярков (53) 621.039.584 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР № 776665, кл. В 08 В 3/02, 1977.

„„SU„„1074617 (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ОЧИСТКИ ИЗДЕЛИИ", содержащее два параллельно расположенных приводных моечных элемента, выполненных в виде дисков, и установленное между ними средство для размещения изделий, атличаюи ееся тем, что, с целью повышения качества очистки, на сторонах дисков, обращенных .к изделию, выполнены выступы в виде усеченных пирамид.

Ю 3

4-в

1Ь 3

1074617

Составитель А.Юдахин

Редактор С. Саенко Техред И. Верес Корректор И. Эрдейи

Заказ 18о/1О Тираж 561 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к технике очистки ?(может быть использовано в полупроводниковом производстве для двусторонней очистки заготовок фотошаблонов, а также полупроводниковых пластин после их механической обработки.

Известно устройство для двусторонней очистки изделий, содержащее два параллельно расположенных приводных моечных элемента, выполненных в виде дисков, и установленное между ними средство для размещения изделий (1).

Однако известное устройство не обеспечивает высокое качество очистки, так как в процессе мойки быстро происходит загрязнение материала щеток, которое переносится на поверхность фотош аблонов.

Цель изобретения — повышение качества очистки изделий.

Поставленная цель достигается тем, что на сторонах дисков, обращенных к изделию, выполнены выступы в виде усеченных пирамид.

На фиг. изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 моечный элемент, выполненный в виде диска; на фиг. 3 — узел 1 на фиг. 2 (форма поверхности части моечного элемента).

Устройство состоит из держателя (на правляющих) 1, в котором шибером 2 перемещают изделия (подложки) 3, штуцера 4 для подачи моющего раствора через полый вал электропривода 5 и моечного элемента 6, защитных элементов (кожухов ) 7 со сливными отверстиями 8. На поверхности моечного элемента 6, выполненного в виде диска, имеются выступы 9 по форме усеченной пирамиды.

Устройство работает следующим образом.

Подложка 3 устанавливается в паз держателя 1, выполненный по форме подложки, после чего шибер 2 поднимается, при этом включается электропривод 5 и через

10 штуцер 4, полый вал и моечный элемент 6 в зону очистки подается моющий раствор.

При прохождении подложки между двумя моечными элементами происходит отмывка поверхности раствором. При этом в зоне между поверхностью подложки и моющим элементом за счет выступов 9 и вращения моечных элементов 6 образуется кавитационная область, способствующая быстрой и качественной очистке, образованная за счет скорости истечения раствора в зоне очистки под действием давления и центробежных сил, образующихся при вращении моечных элементов. После полной очистки подложки с двух сторон ее выгружают и устанавливают следующую. Цикл повторяется.

Изобретение обеспечивает качественную очистку изделий, поскольку интенсйвность кавитации в кавитационной зоне равномерна, а выполнение паза в держателе, соизмеримого с размерами обрабатываемой подложки, обеспечивает постоянный перепад высот в зоне обработки, что способствует образованию кавитации.