Сверхвысоковакуумный затвор

Сверхвысоковакуумный затвор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР, содержащий шибер со ступицей и уплотнением, расположенный межцу ф 1анцами с прохоцными отверстиями и связанный в вакуумной полости с меканиэь мом перемещения, снабженным рычагом и управляемым подвижным в осевом направлении диском, герметично соециненным с фланцами посредством сипьфонов и связанным с приводом, о т л и ч а и и с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности и долговечности, механизм перемещения снабжен подпружиненной втулкой, установленной на фланце с возможностью осевого перемещения и имеющей радиальный палец, а рычаг выполнен в виде вилки, снабженной ступицей с профис в лированным пазом, в который введен втулки, причем ступица шибера снаб (Л жена роликом, расположенным внутри вилки рычага.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

° l 4ф

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (2 1) 35 1809 7/25-08 (22) 20. 10.82 (46) 28.02.84, Бюп. % 8 (72) Е. С. Ермаков, Ю. Н. Когопеев, В. К. Липье, Б. Г. Львов и А. И. Шихов (71) Московский институт эпектронного машиностроения (53) 621.646 (088.8) (56) 1. ll. Bachl er, Т. Ыikberq. 0ual

Seal Baklabfe Sector >!al ves of the

CERN Interesting Storage Ring.—

"Vacuun", 1971, N 10, р. 45 .

2. Авторское свицетепьство СССР

¹ 422903, кп. F 16 К 3/10, 1972. (54) (57) СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ

ЗАТВОР, сопержащий шибер со ступицей и уппотнением, распопоженный межпу

„„SU„„1076679 А

3(51) F 16 К 3/10//Р 16 К 31/16 фпанцами с прохопными отверстиями и связанный s вакуумной попости с механиз мом перемещения, снабженным рычагом и управпяемым поцвижным в осевом направпении писком, герметично соепиненным с фпанцами посрецством сипьфонов и связанным с кривопом, о т и и ч а юшийся тем, что, с цепью упрощения конструкции и повышения напежности и цопговечности, механизм перемещения снабжен поппружиненной втулкой, установпенной на фпанце с возможностью осевого перемещения и имеющей рапиапьный папец, а рычаг выпопнен в виде випки, снабженной ступицей с профипированным пазом, в который введен па» Я лец втупки, причем ступица шибера снабжена ропиком, распопоженным внутри випки рычага.

С: рецством сипьфонов и связанным с при воцом, механизм перемещения снабжен поцпружиненной втупкой, установпенной на фпэнце с возможностью осевого перемещения и имеющей рациапьный палец, а рычаг выпопнен в вице випки, -снабженной ступицей с профилированным пазом, в который ввецен пацец втулки, причем ступица шибера снабжена роликом, распопоженным внутри випки ры чага.

Ha . фиг.1 изображен высоковакуум ный затвор, разрез; на фиг. 2 - фпанец с механизмом перемещения в закрытом попожении затвора, на фиг. 3 » меканием перемещения шибера в открытом положении затвора, разрез; на фиг. 4разрез А-А на фиг. 3; на фиг. 5 - виц

Б на фиг. 3 (ot - при открытии и перекрытии прохоцного отверстия; о - при герметизации и разгерметизации затвора),, Затвор состоит из фланца 1, соцержащего сецпо 2 и прохоцное отверстие 3, и фланца 4 межцу которыми через разъемные герметичные упцотнения 5 и 6 размещен сипьфонный узеп, состоящий из фпанца 7 с прохоцным отверстием 8, циска 9 и герметично соециненного с ними сильфонами 10 и 11 поцвижного циска (поршня) 12.

Иежцу фпанцем 4 и циском 9 разм щен герметично уппотненный прокпацками 13 и 14 ципинцр 15, полость которого разцепена копьцевым уппотнением 16 поршня 12 на цве камеры 17 и 18, которые соецинены через управляющее устройство с источником сжатого гаэа ипи жицкости (не показан).

Внутри вакуумной попости на фцанце 1 распопожен механизм перемещения шибера l 9 (фиг. 2) .

Меканием перемещения (фиг.3 и 4) имеет поцвижную втупку 20, контактирующую с основанием поршня 12 и размещенную в корпусе 21 с основанием 22 на пружинах 23, Во втулке 20 в рациапьном направпении относительно ее оси на поцшипнике 24 распопожен палец 25, конец которого вхоцит в профипированный паз 26 ступицы 27 (фиг.5) рычага 28, выполненного в вице вилки. Ступица 27 рйзмещена на пбцшипниках 29 неподвижной оси 30.

Конец рычага 28 охватывает ролик 31, насаженный на непоцвижную ось 32, размещенную эксцентрично на ступице 33 шибера 19 с уппотиением

34 относительно ее оси 35. Между ос1 1076679 2

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумной коммутационной аппаратуре, и может быть использовано в вакуумных системах, требующих применения высокотемператур. ного прогрева.

Известен сверквысоковакуумный затвор с эпектропневматическим привоцом, имеющий цва испопнитецьных органа, оцин из которых перемещает уппотнитепь- tp ный орган цо попного открытия ипи перекрытия прокоцных отверстий, а цругой осуществляет герметичное уплотнение сецпа затвора (1 1 .

Нецостатки известного затвора - спож- 5 ность и пониженная нацежность автоматического управпения, а также повышенные масса H габариты, в частности расстояние межцу фланцами прокоцного от» верстия, что уменьшает провоцимость затвора.

Наиболее бпизким к прецпагаемому по технической сущности и цостигаемому результату явпяется сверхвысоковакуумный затвор, соцержащий шибер со сту 2; пицей и уппотнением, распопоженный межцу фланцами с прокоцными отверстиями и связанный в вакуумной попости с механизмом перемещения, снабженным рычагом и управпяемым поцвижным в осевом направпении циском, герметично соециненным с фланцами посрецством сипьфонов и связанным с привоцом (.23, Нецостатком указанного затЬора явпяется спожнос-.-ь механизма силового привоца, увецичивающего расстояние между

35 фпанцами прокоцного отверстия и имеющего тяжелонагруженные пары трения, что привоцит к уменьшенной провоцимости затвора rr пониженным ресурсу и нацеж4О ности работы.

Кроме того, конструкция механизма перемещения сложна цця регулировки положения шибера и требует повышенного .хоца сипьфонов цпя полного открытия

45 и перекрытия, что также увепичивает рас стояние межцу фланцами. цепь изобретения - упрощение конструкции и повышение нацежности и цопговечности.

Поставленная цель достигается тем,что 5 в сверхвысоковакуумном затворе, соцержащем шибер со ступицей и уппотнением, распопоженный межцу фпанцами с прохоцными отверстиями и связанный в вакуумной полости с механизмом перемещения, снабженным рычагом и управляемым подвижным в осевом направпении писком, герметично соединенным с фпанцами пос»

1076679 нованием ступицы 33 и основанием 22 размещены пружины 36.

Затвор работает спепующим образом.

При его открытии в камеру 17 управляющее устройство поцается сжатый возцух и поршень 12 цвижется поступа= тепьно вцопь оси прохоцных отверстий впево, снимая усипие герметизации с уппотнитепьной пары (уппотнение 34-сецпо 2). При этом поц воздействием пружин 36 шибер 19 отходит от сецпа 2, двигаясь поступатепьно относительно оси прохоцных отверстий 3 и 8, вспецствие того, что конец папьца 25 втупки 20, движущейся поц возцействием пружин 23, находится в прямой части паза 26 ступицы 27 (фиг.5E) и не передает цвижения рычагу 28, который остается в покое, не воздействуя на ступицу 33 шибера 19. 20

Таким образом, при размещении папьца 25 в прямой части профипированного паза 26 шибер 19 может цвигаться топько поступатепьно вцопь оси прохоцных отверстий, при этом цпина прямой части паза 26 рассчитывается так, чтобы при разгерметизации межцу уппотнением 34 шибера 19 и седлом 2, а также межцу торцом шибера 19 и поршнем 12 быпи образованы гарантированные зазоры 30 цля прецотвращения повреждений уппотнитепьных поверхностей.

Поспе образования указанных гарантированных зазоров поступатепьное цвижение поршня 12 поц воздействием пружин 36 ограничивается упором ступицы 33 в корпус 21. При поспецующем цвижении поршня 12 втупка 20, перемещаясь поступатепьно под воздействием пружин 23, вывоцит конец папьца 25 из прямой части паза 26 ступицы 27 на накпонную часть. При этом папец 25, цвигаясь поступатепьно и возцействуя на накпонную часть паза ступицы 27, преобразует поступатепьное движение втупки 20 во вращатепьное цвижение ступицы 27 вокруг непоцвижной оси 30.

Ступица 27, вращаясь, поворачивает связанный с ней рычаг 28, который, в свою очерець, воздействует через ро-„ пик 31 на ось 32, закреппенную на ступице 33 шибера 19 и смещенную от носитепьно оси поворота ступицы 33 ра расстояние, гарантирующее угоп по ворота шибера 19, соответствующее попному открытию и перекрытию им прохоцных отверстий 3 и 8. Таким обраI зом; рычаг 28, возцействуя на ось 32, заставпяет поворачиваться вокруг оси 35 ступицу 33 и связанный с ним шибер 19, открывая прохоцное отверстие 3, при этом перецаточные отношения межцу звеньями механизма перемещения выбрвны так, что при незначитепьном ноступатепьном ходе поршня 12 обеспечивается полное открытие и перекрытие прохоцимых отверстий.

Поспе этого цавпение в камере 17 снимается.

Закрытие кпапана происхоцит в обратной поспецоватеньности, при этом сжатый возцух поцается в камеру 18.

Технико-экономическая эффективность изобретения закпючается в повышении проводимости предпагаемого затвора, ресурса работы, нацежности, а также в упрощении его конструкции.

l07667.9

1076679

1076679

Ви/ Е

Составитепь С. Нестеренко

Техрец С.Мигунова Корректор Г. Огар

Рецактор А. Мотыпь

Фипиап ППП Патент, r. Ужгороц, уп. Проектная, 4

Заказ 713/34 Тираж 913 Поцписное

ВНИИПИ Госуцарственного комитета СССР по цепам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., ц. 4/5