Рабочая жидкость для вакуумных насосов
Патент 1077922
Авторы
Классы МПК
Рабочая жидкость для вакуумных насосов
Иллюстрации
Реферат
РАБОЧАЯ ЖИДКОСТЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ, содержащая минеральное масло, отличающаяся тем, что, с целью повьшения окислительной стойкости, жидкость дополнительно содержит 5-10 мае. % MOHo( ) -алкилнафталина.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
MQ С 10 М 1 16
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3354182/23-04 (22) 30.10.81 (46) 07.03.84. Бюл. Р 9 (72) A.A. Кузьмин, A.Т. Ширяев и В.И. Мириманова .(53) 621.892.8(088.8) (56 ) 1. Пауэр Б.Д. Высоковакуумные откачные устройства. М., "Энергия", 1969, с. 92-108.
2. Папок К.K. и др. Словарь по топливам, маслам, смазкам, присадкам и специальным жидкостям. М.;
"Химия", 1975, с. 39 (прототип)..„Я0„„1077922 А (54) (57) РАБОЧАЯ ЖИДКОСТЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ, содержащая минеральное масло, отличающаяся тем, что, с целью повыаения окислительной стойкости, жидкость дополнительно содержит 5-10 мас.В моно{С -С ) -алкилнафталина.
1077922
68,3
ВМ-5
ВМ-5 (95Ъ)
+моноапкилнафтапин
ЛН (5Ъ) 82,2
68,1
59,9
6.6, 4
5 8, 3
67,3
BM-1
ВМ-1 (95Ъ) +АН (5 ;;) 76,5
64,6
67,7
59,9
66,8
67,3
Изобретение относится к вахуумной технике и может найти применение в вакуум-технологических процессах производства иэделий электронной техники.
Известны различные рабочие жидкости для вакуумных насосов, обладаю-щие высокой стойкостью к окислению, представляющие собой кремнийорганические жидкости, полифениловые эфиры, диэ фиры (1) .
Такие масла имеют недостаточную смазочную способность, а также чувствительны к действию паров воды.
Наиболее .дешевыми и самыми распространенными маслами дпя вакуумных насосов являются узкие фракции минеральных масел ВМ-З, ВМ-6, ВМ-5 j2j.
Недостатком минеральных вакуумных масел является их малый срок службы в насосах, связанный с низкой термоокиспительной стабильностью этих жидкостей=
Цель изобретения — получение рабочей жидкости на основе минерального масла с повышенной окислитель-. ной стабильностью.
Поставленная цель достигается тем, что рабочая жидкость дпя вакуумных насосов, содержащая минеральное масло, дополнительно содержит 5-10 мас.Ъ моно (C 6 -С 4) -алкилнафталина.
Пример. В мерную посуду заливают 90-95 мп масла BN-1 и затем в ту же посуду добавляют до метки
100 моноапкилнафталина. Смесь перемешивают до полного растворения жидкостей.
Кинематическая вязкость вакуумных жидкостей приведена в табл . 1.
Смесь заливают в один из стандарт. ных диффузионных насосов, и насос вводят в режим работы до установления в системе предельного оста.точного давления. Затем через натекатель, установленный на входном фланце насоса, в "горячую" систему напускают воздух до атмосферного давления. В таком состоянии насос находится 10 мин, после чего натекатель закрывают и насос вводят в рабочий режим, результаты испытаний приведены в табл. 2.Опыт продолжают до тех пор, пока остаточ:ное давление после напусков в систему воздуха не повысится до значения 2,6 10 Па (2 0;10 мм рт. ст.)
Упругости пара вакуумных жидкостей приведены в табл. 3, резуль- таты по определению остаточного предельного давления в диффузионном насосе с рабочими жидкостями приведены в табл. 4.
Минеральное вакуумное масло с добавкой алкилнафталина в количестве
5-10Ъ, имеющего упругость пара при
20 С порядка 10 Па, выдерживает
10-11 таких напусков, а без добавки только 4,т.е. срок службы минерального вакуумного масла в насосе повышается в 2,5-2,7 раза. Апкил нафталин обеспечи вает 20 таких напу с. ков. как покаэапи эксперименты, в интервале концентрации алкилнафталина порядка 5-10Ъ увеличение числа выдерживаеьых напусков непропорцио10 нально доле вводимой добавки, а превышает ее.
Большее добавление алкилнафтапина (выае 10Ъ) не оправдывается из-эа значительного расхода сравнительно дорогого компонента при малом эффекте. Дальнейшее повышение концентрации алкилнафтапина увеличивает срок службы минерального масла незначительно.
Например, увеличение концентрации апкилнафталина в два раза, а именно с 10 до 20Ъ, повышает срок службы масла в 1,2 раза (в 2,7 раза при концентрации 1ОЪ и в 3,2 раза при концентрации 20Ъ).
Добавка меньшего количества (<5Ъ ) алкилнафталина нецелесообразна, так как срок службы масла в насосе практически не повышается по сравнению со сроком службы минерального масла
30 беэ добавок.
Рабочая жидкость согласно изобретению обеспечивает снижение эксплуатационных затрат на монтаж и демонтаж усФановок и облегчает труд операто35 ра. Расход рабочей жидкости существенно снижается, срок ее службы в насосе повышается в 2,5-2,7 раза.
Таблица 1
BM-5 (90Ъ1 +AH 10Ъ) 58,7
ВМ-5 (804) +AH (? ОЪ! 52, 2
ВМ-5 (93Ъ) +AR (7Ъ) 59,7
BM-1(90Ъ) +AH (10Ъ) 59,3
ВМ-1 (9 3%) +AH (7Ъ ) 5 9 . 4
1077922
Предельное остаточное давление в системе до напусков воздуха, Па (мм рт.ст.) Число напусков воздуха в систему
Рабочие .жидкости
10
Минеральное вакуумное масло
ВМ-1+25 AH (1,9 10 ) 2,6:10
4 (20 10 ) 2,6 10
10 (2,0 .10 J
Жидкости.Алкилнафталин
Минеральное вакуумное масло ВМ-..1+20% AH
Минеральное вакуумное масло
ВМ-1+103 АН
Минеральное вакуумное масло
ВМ-1+5% AH
Масло ВМ-1+7% AH
Минеральное вакуумное масло
ВМ-1
Масло ВМ-5
ВМ-5 (95%) +AH (5%)
ВМ-5 (90%) +AH (103)
ВМ-5 (80%) +AH (20%)
ВМ-1 (95%) +AH (5Ъ)
ВМ-1 (90%) +AH (10%)
ВМ-1 .
ВМ-1 (93%) +AH (7%) 1,9 10 (1 5" 10 )
2,4 10 (1.,8 10 )
2,5 ° 10 (1,9 10
1.,9 10 (1.,5 10 l
4 2,4 10 (1,В-1О 3
1,9 10
1,5 10
2,4 10 (1,8 10
Табл ица 2
Предельное остаточное давление в системе после соотве т от вунщего числа напусков воздуха Па (мм рт. ст.) ф
2,6 10 (20 10 )
2,6 10 (2,0 10 )
2,6 10 (2,0 10
-Ф
2,6 10 (2,0 10
2,4 10
Таблицаз
Упругость пара при 204С, Па (мм рт. ст.) 6,6 ° 10 (5,0 10 -)
-Z -9
6 6 ° 10 (5,0 10
-4j
-У
6,6 10 (5,0 10
6,6 10 . (5,0 10 )
-6
1,з-1о h,о 10 )
1,з.1о (1,о 1о )
1,Ç 1О (1,0 1О )
1 3 ° 10 (1 О 10 ) 1077922
Таблица4
Показ атели
Исходная жидкость .ВМ-1
Жидкость ВМ-1 с присадкой
° у ° °
Предельное остаточное давление, полученное с
ПОМОЩЬЮ ДнффУЗИОННОГО насоса при температуре ловушки 20 С, Па
-4
2,4 10
2,5 ° 10
Предельное остаточное давление, полученное с помощью диффузионного насоса при температуре ловушки 20 С после окисления. Па, напуск воздуха в работаив ий насос:
2,1 10
2,6 ° 10
2,4 ° 10
2,5 10
2;1 10
Масло ВМ-1 после
5 циклов окисления не обеспечивает. паспортных данных насоса
2,6 10
2,6 10
2,6. 10-4
2,6 . 10
3,6; 10
Рабочая жидкость после 11 циклов окисления не обеспечивает паспортных характеристик насоса
Вязкость кинематическая при 50 С после окисления жидкости в насосе и потери вакуумных свойств, сст
90,1 после 11 циклов
104,4 после 5 циклов
П р и м е. ч а н и е: Аналогичные результаты получены и на масле
BM-5 с присадкой моноалкилнафталина.
Эаказ 864/17
BH HHGH Тираж 4 89 Подписное
О
Ю
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул.Проектная, 4
1 цикл
2 цикл
4 цикл
5 цикл
6 цикл
8 цикл
9 цикл
10 цикл
1 1 IIHKTI
2,5 10
2,6 10
2,4 10
2,7 10
3,9 "10