Устройство для двухсторонней металлизации ленты в вакууме

Устройство для двухсторонней металлизации ленты в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУХСТОРОННЕЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ЛЕНТЫ В ВАКУУМЕ, содер-. жащее систему испарения, систему охлаждения ленты, лентопротяжный механизм с приводом и катушками, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, лентопротямшый механизм выполнен в виде поворотного барабана, во внутренней полости которого диаметрально противоположно расположены катущки, причем одна из катушек кинематически соединена с приводом.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

PECllVEi JlHH (19) (21) 3(51) С 23 1

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР . ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3507193/18-21 (22) 03.11.82 (46) 07.03.84. Вюл. N 9 (72) В. С. Бутузов, А. А. Бычко, Б. В. Даев, А. М. Грушевский и И. Н. Филатов (53) 621.793.14 (088.8) (56) 1. Заявка ФРГ N 1 566807, кл, С 23 С 13/02, 1977.

2. Заявка Японии N 51 — 5825, кл. С 23 С 13/10, 1976 (прототип) . (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУХСТОРОННЕЙ

МЕТАЛЛИЗАЦИИ ЛЕНТЫ 8 ВАКУУМЕ, содер-. жащее систему испарения, систему охлаждения ленты, лентопротяжный механизм с приводом

1 и катушками, о т л и ч а ю щ е е с я тем,: что, с .целью упрощения конструкции, лентопротяжный механизм выполнен в виде поворотного барабана, во внутренней полости которого диаметрально противоположно расположены катушки, причем одна из катушек кинематически соединена с приводом.

077949 2 причем одна из катушек кинематически соединена с приводом.

На чертеже представлена схема устройства, Устройство состоит из рабочей вакуумной камеры 1 и системы 2 испарения (например, магнетронов). В рабочей камере установлен лентопротяжный механизм в виде барабана 3 с воэможностью поворота на 180 . Во внутренней полости барабана смонтированы катушки 4 и 5 с лентой, охладитель 6 и два тянущих механизма

7 и 8, Барабан имеет привод 9 для поворота. Один из тянущих механизмов, например 8, сцеплен с приводом передвижения ленты 10. Элементы, закрепленные на барабане, расположены симметрично относительно оси поворота барабана.

Устройство работает следующим образом.

Рулон ленты помещается на подающую катушку 5, Лента из катушки 5 по охладителю 6 проходит в зону напыления, через полость барабана 3 на вторую половину охладителя 6 и через тянущий механизм 8

25 на приемную катушку 4. После напыления необходимой длины ленточного материала с одной стороны ленты барабан 3 при помощи привода 9 поворачивается на 180 .

В этом случае с приводом передвижения ленты сцепляется другой тянущий механизм

7 и происходит обратная протяжка ленты на катушку 5. При этом напыление производится уже на другую сторону ленты.

Предлагаемое устройство имеет более простую конструкцию, обеспечивает напы35 ление однородного материала одинаковой толщины на обе стороны ленты и позволяет улучшить равномерность покрытий по толщине на разных сторонах ленты до

12% по сравнению с +6% в прототипе, что практически устраняет перекручивание ленты и обеспечивает ее плоскостность, а также улучшить физико-химическую однородность покрытий на разных сторонах ленты (различие в адгезии не хуже +5% по

45 сравнению с +12% и различие во времени травления не хуже +3% по сравнению с +6% в прототипе).

1 1

Изобретение относится к вакуумной технике в частности к технологии напыления тонких пленок в вакууме на обе стороны ленточных рулонных материалов, и может быть использовано при конструировании технологического оборудования для производства лент, металлизированных с двух сторон, Известно устройство для двухсторонней металлизации ленты .в вакууме, содержащее вакуумную камеру, шлюзы входа и выхода ленты из камеры, испарители, перемоточный механизм с подающей и приемной катушками 11).

Однако в этом устройстве приемная и подающая катушки вынесены из зоны напыления, и лента проходит через соответствующие шлюзы Наличие шлюзов приводит к усложнению оборудования, громоздкости, трудности в эксплуатации, вызывает повреждения поверхностей ленточных рулонных материалов, особенно полимерных, подверженных накапливанию электростатического заряда.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство дпя металлизации ленты в вакууме, содержащее систему испарения, систему охлаждения ленты, лентопротяжный механизм с приводом и катушками (2).

Покрытие наносится последовательно сначала с одного испарителя на одну сторону ленты, затем с другого испарителя на вторую сторону ленты.

Недостатком этого устройства является сложность конструкции, так как необходимо иметь как минимум две испарительные системы с соответствующим количеством блоков питания и управления.

Бель изобретения — упрощение конструкции.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для двухсторонней металлиэации ленты в вакууме, содержащем систему испарения, систему охлаждения ленты, лентопротяжный механизм с приводом и катушками, лентопротяжный механизм выполнен в виде поворотного барабана, во внутренней полости которого диаметрально противоположно расположены катушки, Составитель Н. Серебрянникова

Техред О.Неце Корректор А. Ференц

Редактор Л. Веселовская

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 874/19 Тираж 900 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5