Стекло
Иллюстрации
Реферат
СТЕКЛО, включающее SiO, , . ВаО, ZrOj, отличающееся тем. что, с целью снижения удельного элект1 гческого сопротивления, оно дополнительно содержит V JD,. при следующем . соотнощении коктонентов, мас.%: 7,5-14,0 SiO2 32,0-35,0 А%0, 19,0-20,0 ВаО 28,0-32,0 1,0-2,0 ZrO 3,5-5,0 2°
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
И
РЕСПУБЛИН (1%(11) 31Д1 С 03 С 3/10
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OfÍÐÜÏÚÉ ъ,"
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
N ARTOICKOMV СЕ Е Б%С ,р (3 (21) 3518269/29 — 33 (22) 03.1282 (46) 2303.84. Бюл. М 11 (72) И. К. Немкович, O. В. Невар, Н. Н. Ко*.; носова и Е. М. Байкова (71) Белорусский ордена Трудового Красного, Знамени политехнический институт (53) 666. 112.6(088.8)
{56) 1. Авторское свидетельство СССР по заявке
:1Р 3418240/29 — 33, кл. С 03 С 3/10, 1982.
2. Авторское свидетельство СССР по заявке
1(1Ф 3440999/29 — 33, кл. С 03 С 3/10, 1982 (прототип), {54) (57) СТЕКЛО, включающее SiO> В О., АЕ<О>, ВаО, Zro2, о т л н ч а ю щ е е с я тем, mo, с целью снижения удельного электрического сопротивления, оно дополнительно содержит Ч О при следующем, соотношении компонентов, мас.%:
$102 7,5 — 14,0
В О, 32,0 — 35,0 и о 19,0-20,0
ВаО 28,0 — 32,0
2г02 .1,0 — 2,0 го
3,5-5,0
1081136
Таблица 1
Предлагаемый
Показатели
Известный
Состав стекла, мас.%
$10
7,5
11,0
14,0
5,0 — 7,0
В203
35,0
33,5
32,0
35,5 — 36,5
20,5 — 21,5
А 03
20,0
20,0
19,0
ВаО
32,0
28,0
30,0
30,0 — 32,0
2,0
Zr0
2,0
1,0
1,0 — 2,0
ZA 0 — 4,0 — 50
2 3
3,5
5,0
4,5
Кристаллиэационная способность, С
Не кристаллизуется
550
560
570
570 †5
57+1
61,7 — 63,5
57+1
57 1
Изобретение относится к технологии силикатов, к производству бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве стеклосвязки толстопленочных резисторов с проводящей фазой на основе гексаборидов металлов.
Известно стекле )1), включающее мас.%..
ВВОЗ 37 — 57; АФ203 2 — 10; SiOg 1-7;
Ва0 15-39; SrO 1-.15; СаО 1-15.
Недостатками данного стекла являются повышенная склонность к кристаллизации, сравнительно высокое электрическое сопроленне 9v °
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является стекло (2), включающее, мас.%:
SiOg 5,0-7,0; ВгОз 35 5 — 36,5; МРЭ20,5
21,5; Вао 30.0-32,0; 2Г02 1,0-2,0;
2п20 4 0 5,0
Недостатком известного стекла является повышенное удельное электрическое сопротивТемпература размягчения, OC
Коэффициент теплового расширения, о 10 ", t град" ление р,,, что не позволяет получить толстопленочные регистры с удельным электричес ким сопротивлением от 10 Ом до 50 ком и ТКС- 500 16 1/ С;
Цель изобретения — снижение удельного электрического сопротивления.
Поставленная цель достигается тем, что стекло, включающее SiO>, В О, At<0>, Ва0, ZrO, дополнительно содержит Ч 0 пи следующем соотношении компонентов, мас.%:
8 0 7,5 — 14,0
В 0 32,0 — 35,0 а 3
19,0 — 20,0
l5 Ва0 28,0 — 32,0
Zr02
10 20
05 3,5-5,0
В табл. приведены конкретные составы стекол и их свойства.
В табл. 2 приведены электрофизические характеристики боридных резисторов.
1081136
Известный
Предлагаемый
Показатели
Удельное электрическое сопротивление, Ом см рм цри 100 С
5;10 1
10 "4
107 3 5
10 13 гоо с
1013
10 — 2,5 10
10 1>
Водоустойчив ость (нотери массы), %
1,65
4,34
301
5,5 — 6,31
Таблица 2
Известный
Показатели
Предлагаемый состав
Удельное электрическое сопротивление g Ом
10 10 10
10 — 5 1О
Температурный коэффициент сопротивления ТКС, град - 1 в интервале, С (— ) 960 (— ) 980 — 60 — 20
320 370 (— ) 750 — (— ) 800
20 — 125
220 250
Коэффициент влагостойкости (AR/R) после 10 сут, %
1,0
0,6
0,08
0,15 — 0,44
Составитель Г. Буровцева
Техред И.Асталош Корректор А. Зимокосов1, Редактор Н. Пушненкова
Тираж 469 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 1467/19
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Для синтеза укаэанных стекол используют обычную технологию производства, включающую составление шихты, варку стекла в газовой и электрических печах. При 1350+10 С стекла хорошо варятся и осветляются и поэ- 45 воляют изготавливать из них различные иэделия технического назначения методами отливки и прессования.
Предлагаемое стекло обладает пониженным
: значением удельного электрического сопротив-! ления, в сочетании с высокими фиэикохимическими свойствами и позволяет использовать его для создания влагостойких боридных резисторов с удельным электрическим сопротивлением У 10
104 О /и