Вакуумный агрегат
Патент 1081366
Авторы
Классы МПК
Вакуумный агрегат
Иллюстрации
Реферат
1. ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода ме-, ханический насос и ресивер, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности и снижения уровня шума, турбина размещена в форвакуумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патрубком. 2.Агрегат по п. 1, отличающийся тем, что патрубок снабжен вентилем. 3.Агрегат по п. 1, отличающийся тем, что ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу. СО
„„SU„„1081366
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
g(gI) F 04 D 19/04
Я
ФГВ уц g 3 Е" Г рь. тЕ А
>4LJlN(I gg
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
М А ВТОРСМОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3544144/25-06 (22) 24.01.83 (46) 23.03.84. Бюл. № 11 (53) 621:527.8(088.8) (72) Ю. М. Тузанкин и В. В. Леонов (56) 1. Пипко А. И. Конструирование и расчет вакуумных систем. М., «Энергия», 1970, с. 162.
2. Авторское свидетельство СССР № 848761, кл. F 04 19/04, 1979. (54) (57) I. ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводягцим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода ме-, ханический насос и ресивер, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности и снижения уровня шума, турбина размещена в форвакуумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патрубком.
2. Агрегат по п. 1, отличающийся тем, что патрубок снабжен вентилем.
3. Агрегат по п. 1, отличающий ся тем, что ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу.
1081366
Составитель О. Тишина
Техред И. Верес Корректор М. Шароши
Тираж 624 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий ! l 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Редактор P. Цицика
Заказ 1505/30
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известен вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный и форвакуумный насосы, соединяющий их трубопровод с запорным вентилем, блок управления и питания.
В этом агрегате форвакуумный насос используется для предварительного вакуумирования турбонасоса, а электронный блок— для управления преобразования частоты и частотного пуска электродвигателя турбонасоса (1) .
Недостатком такого агрегата является сложность и высокая стоимость системы электропривода, в частности электронного блока питания и управления.
Наиболее близким к изобретению является вакуумный агрегат, содержащий турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода механический насос и ресивер (2).
Недостатками этого -агрегата являются его невысокая экономичность, вследствие повышенного расхода электроэнергии, неэффективное использование оборудования компрессора и механического насоса. Кроме того, турбинный привод повышает уровень шума и опасность эксплуатации, вследствие работы оборудования под высоким давлением сжатого воздуха.
Целью изобретения является повышение экономичности и снижение уровня шума.
Указанная цель достигается тем, что в вакуумном агрегате, содержащем турбомолекулярный насос, снабженный приводом в виде газовой турбины с подводящим соплом и имеющий форвакуумную полость, соединенный с турбомолекулярным насосом при помощи трубопровода механический насос и ресивер, турбина размещена в форвакуумной полости турбомолекулярного насоса, а сопло сообщено с атмосферой патрубком.
Кроме того, патрубок снабжен венти
Ресивер при помощи регулируемого клапана подсоединен к трубопроводу.
На чертеже изображена схема вакуумного агрегата.
Вакуумный агрегат содержит турбомоле10 кулярный насос 1, снабженный приводом в виде газовой турбины 2 с подводящим соплом 3 и имеющий форвакуумную полость 4, соединенный с турбомолекулярным насосом
1 при помощи трубопровода 5 механический насос 6 и ресивер 7.
Турбина 2 размещена в форвакуумной полости 4 турбомолекулярного насоса 1, а сопло 3 сообщено с атмосферой посредством патрубка 8.
Патрубок 8 снабжен вентилем 9.
Рес ивер 7 при помощи регулируемого клапана 10 подсоединен к трубопроводу 5.
Агрегат работает следующим образом.
Первоначально включается механический насос 6 и откачивается полость турбомолекулярного насоса 1 и ресивера 7 до
25 предельного остаточного давления. Затем открывается вентиль 9, и в сопло 3 поступает воздух из атмосферы. Струя воздуха, истекая через сопло 3 в вакуум, приобретает высокую скорость и, взаимодействуя с колесом турбины 2, приводит его во вращение вместе с ротором турбомолекулярного насоса 1. По мере выхода ротора на рабочие обороты с помощью вентиля 3 постепенно уменьшают количество поступающего в сопло 3 воздуха.
Предлагаемый агрегат позволяет повысить экономичность за счет исключения из состава агрегата электродвигателя, герметичного электроввода, блока питания или компрессора и системы подачи сжатого газа на турбину, а также снижения потребляемой мощности.