Испарительный геттерный насос

Испарительный геттерный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ИСПАРИТЕЛЬНЫЙ ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с размещенным в нем испарителем из геттерного материала, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, он снабжен источником ультразвуковых колебаний, подключенным к испарителю.

СОЮЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) 3(51) F 04 В 37 02 с

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

Г)О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21 ) 3569143/25-06 (22) 28.01.83 (46) 30.03.84. Бюл. Р 12 (72) С.В.Перминов и В.С.Теньгушев (71) Омский политехнический институт (53) 621.65(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Р 528386, кл. F 04 В 37/02, 1975.

2. Иванов В.И. Безмасляные вакуумные насосы. Л., "Машиностроение", 1980, с.53. (54 ) (57 ) HCIIAPHTEJIbHblA ГЕТТЕРНЫЙ

НАСОС, содержащий корпус с размещенным э нем испарителем из геттерного материала, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристйк, он снабжен источником ультразвуковых колебаний, подключенным к испарителю.

1082984

Составитель В.Кряковкин

Редактор Ю.Середа Техред N.Гергель Корректор A.Äçÿòêo

Заказ 17.11/32 Тираж 624 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", 1.ужгород, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям испарительных геттерных насосов.

Известен геттерный насос, содержащий корпус с размещенным в нем генератором плазмы геттерного материала 5 и устройство для зажигания вакуумной дуги (1) .

Недостатком известного насоса является невысокий верхний предел давления запуска, т.е. запуск насоса 10 осуществляется при давлении в нем не выше 10 Па. В противном случае на генераторе образуются окисные пленки, ухудшающие откачные характеристики.

Наиболее близким к предлагаемомУ является испарительный геттерный насос, содержащий корпус с размещенным в нем испарителем из геттерного материала (2) .

Недостатком указанного насоса являются невысокие откачные характеристики при увеличении давления запуска.

Цель изобретения — улучшение от- качных характеристик °

Указанная цель достигается тем, что испарительный геттерный насос, содержащий корпус с размещенным в нем испарителем иэ геттерного материала,,снабжен источником ультра- 30 звуковых колебаний, подключенным к испарителю.

На чертеже представлена схема предлагаемого насоса.

Испарительный геттерный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем испарителем 2 из геттерного материала, причем насос снабжен источником 3 ультразвуковых колебаний, подключенным к испарителю 2 ° Кроме того,.насос содержит охлаждаемый экран 4, поджигающий электрод. 5, источник 6 питания и ультразвуковой генератор 7, связанный с источником

3 ультразвуковых колебаний.

Насос работает следующим образом.

После предварительного вакуумирования насоса до давления не выше

10 Па источником 3 возбуждают ультразвуковые колебания в испарителе 2 и зажигают с помощью поджигающего электрода 5 электрическую дугу между испарителем 2 и экраном 4. Испаряемый . при горении дуги геттерный материал конденсируется на холодной поверхности экрана 4, образуя активную пленку, поглощающую газ, поступающий н объем насоса. Ультразвуковые колебания, возбуждаемые в испарителе 2, не позволяют окислам образовать плотную пленку на поверхности испарителя.

Таким образом, диапазон работы предлагаемого насоса расширяется в область более высоких давлений. что обусловливает лучшие откачные характеристики.