Устройство для разрезания полупроводникового материала на пластины

Устройство для разрезания полупроводникового материала на пластины

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗРЕЗА НИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА НА ПЛАСТИНЫ, включающее станину, дисковый режущий инструмент с приводами вращения и подачи и механизм подачи заготовки с ограничителем, который установлен с .возможностью возвратно-поступательного перемещения от привода, от личающе е с я тем, что, с целью повышения надежности , привод возвратна-поступательнрго перемещения ограничителя снабжен регулируемым и фиксируемым упоJt oM возв ратного перемещения . ограничителя . 2.Устройство по п. 1, отличаю Щ е е с я тем, что ограничитель .подпружинен относительно станины.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСГiУБЛИН

3щ> В 28 D 1/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, К АВТОРСКОМУ СИИДЕ ГЕЛЬСТВУ

Г

< (21) 2786193/29-33 (22) 02.07.79 (46) 07.04.84. Бюл. У 13 (72) М.Г. Ураевский. (7 1) Киргизский горно-металлургический комбинат (53) 679.8.053(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство. СССР

N 563263, кл. В 23 Q 5/06, 1974.

2.. Авторское свидетельство СССР

9 555021; кл. В 28 D 5/02, 1977 (прототип).. (54)(57) i. УСТРОЙСТВО .ДЛЯ РА3РЕЗА

НИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА.,80„„1084149 A.чаю,»» „ I

НА ПЛАСТИНЫ, включающее станину, дисковый режущий инструмент с приводами вращения и подачи и механизм подачи заготовки с ограничителем, который установлен с,возможностью возвратно-поступательного перемещения от привода, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности, привод возвратно-поступательного перемещения ограничителя снабжен регулируемым и фиксируемым упором возвратного перемещения. ограничителя.

2.Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что ограничитель .подпружинен относительно станины. е

1 1084149

Изобретение относится к механичес- Сущность изобретения поясняется кой обработке полупроводниковых .чертежом.

I материалов, в частности, для разре- Устройство содержит установленные, зания монокристаллов кремния на пластины.. на станине 1 головку 2 с дисковым

Известно устройство, которое мо- 5 режущим инструментом 3, механизм 4 жет быть использовано для разреза- . вращения и перемещения головки 2, ния полупроводникового материала на стойку 5, на которой установлены наппластины, содержащее гидравлический равляющие б и механизм 7 продольной механизм подач, выполненный в виде подачи заготовки 8, в стойке 5 рассилового гидроцилиндра, шток которо- 10 положен упор, выполненный в виде лого взаимодействует с исполнительным лого винта 9, внутри которого прохоорганом, и дозатор, выполненный в ви- дит шток 10 ограничителя 11, шток уиде плунжерной пары 1 l. 10 снабжен буртиком 12, и возвратной

Недостатком этого устройства яв- пружиной 13, каналом 14 для соединеляется его сложность, а также воз- 15 ния с вакуумной системой (не покаможность ошибки продольной подачи зана) и механизмом 15 возвратно-посзаготовки за счет хода плунжера до- тупательного перемещения. . затора, положение которого не имеет Устройство работает следующим жесткой однозначной связи с положе- образом. нием плоскости режущего инструмента.. 20 На направляющие б устанавливается

Наиболее близким к предлагаемому, заготовка 8 и присоединяется к мехаявляется устройство для разрезания низму 7 продольной подачи, полым полупроводникового материала на винтом 9 шток 10 с ограничителем 11 пластины, включащее станину, диско- перемещается на расстояние, от плосвый режущий инструмент с приводами 25 кости режущего инструмента 3, раввращения и подачи и механизм подачи ное заданной толщине пластины. Контзаготовки с ограничителем, который роль перемещения осуществляется, установлен с возможностью возвратно"по» например, индикатором перемещения ступательного перемещения от привода21. плоской поверхности ограничителя 11

Недостатком укаэанного устройства (не показан) . Через канал 14 ограниявляется свободное возвратное пере читель 11 соединяется с вакуумной мещение ограничителя, что требует системой, механизмом 7 заготовка, сложной системы контроля положения 8 подается до упора в ограничитель ограничителя или перемещения заготов- 11, а механизмом 4 головке 2 с режуки, последующего контроля толщины щим инструментом З,придается вращеотрезаемои пластины и корректировки ние и перемещение относительно заго. 35 положения ограничителя или величины товки 8. После полного разрезания продольной подачи заготовки при отк- заготовки 8 механизмом 15 ограничилонении толщины пластины от заданной. тель 11, а механизмом 7 заготовка 8

Целью изобретения является повы- отводится от плоскости режущего инстшение надежности.

40 румеита 3, головка 2 возвращается

Для достижения поставленной цели в исходное положение, с ограничителя в устройстве для разрезания полупро- 11 снимается вакуум, отрезанная пласводникового материала на пластины, тина удаляется. Шток 10 с ограничитевключающем станину, дисковый режущий лем 11 под воздействием механизма 15 инструмент с приводами вращения и

45 и пружины 13 возвращается в исходное подачи и механизм подачи заготовки положение до упора бурта 12 в торец с ограничителем, который установлен полого винта 9, и цикл повторяется. с возможностью возвратно-поступатель-. Преимущество предлагаемого устройного перемещения от привода, привод . ства по сравнению с известными заклювозвратно-поступательного перемеще- 50 чается в упрощении конструкции и пония ограничителя снабжен регулируе- вышении точности возврата ограничимым и Фиксируемым упором возвратно- теля продольной подачи заготовки в го перемещения ограничителя. исходное положение, а, следовательОграничитель подпружинен относи- но, повышении точности отрезанных тельно станины. пластин по толщине и, за счет этого, На чертеже схематически представ« снижении расхода сырья на производлено предлагаемое устройство. ство пластин.

1084149

Заказ 1875/11 Тираж 572

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раущская наб., д. 4/5

Подписное филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель К. Хамидулов

Редактор С. Тимохина Техред Л.Коцюбняк Корректор О.Тигор