Устройство для травления автоэмиттеров

Устройство для травления автоэмиттеров

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ АВТОЭМИТТЕРОВ, по авт.св. № 512505, отличающееся тем, что, с целью повьппения воспроизводимости радиуса закругления вершины автоэмиттеров в процессе травления, на втором электроде соосно закреплена навеска из проводящего материала, 0

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) 512505 (21) 3540278/18-21 (22) 14.01.83 (46) 23.04.84. Бюл. N 15 (72) Д.M. Паутов, В,А. Ткаченко и В.А, Крылов (53) 621.3.032.212 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

У 512505, кл. Н 01 J 9/02, 1974.

0% 01)

ЗсЮ H 01 J 9/02, Н 01 J 1/30 (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ

АВТОЭМИТТЕРОВ, по авт.св. 9 512505, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения воспроизводимости радиуса закругления верпяны автоэмиттеров в процессе травления, на втором электроде соосно закреплена навеска из проводящего материала.

1088083

АЭК (1), 30

ВБИЛИ Заказ 2683/50 Тираж 683 Подписное

Филиал Ппп "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к технологии изготовления автоэмиссионных катодов (АЭК), предназначенных для работы в электронных микроскопах, автоэлектронных (автоионных) проекторах и т.д.

По основному авт. св. 1512505 известно устройство для травления, АЭК, выполненное в виде двух разделенных зазором параллельных пластин с соос- 10 ными отверстиями, между которыми залит электролит, предназначенный для электрохимического перетравливания заготовки, вставленной в отверстия электрода. Нижний конец заготовки, 15 являющейся вторым. электродом, помещен в ванну с электропроводящей жидкостью. Травление заготовки осуществляется при подключении к электродам источника тока. Благодаря малой 20 толщине пленки электролита, образующейся в зазоре пластин в районе отверстий, и относительно большому объему того же электролита в периферий. ной области между пластинами, про- 25 цесс травления характеризуется достаточно высокой производительностью, обеспечивая малую конусность и высокую идентичность макрогеометрии

Однако известное устройство имеет существенный недостаток. Момент образования острия АЭК (т.е. перетравливание заготовки) существенным образом зависит от веса ее нижней, отрывающейся части, что приводит к большому разбросу величины радиуса кривизны вершины АЭК. На завершающей стадии образования острия АЭК даже 40 незначительные флуктуации тока травления или механические перемещения нижней части заготовки под действием сил поверхностного натяжения приводят к тем же нежелательным пос45 ледствиям.

Целью изобретения является повышение воспроизводимости радиуса закругления вершины автоэмиттеров в процессе травления °

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для травления

1 автоэмиттеров на втором электроде соосно закреплена навеска из проводящего материала °

На чертеже изображено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройство содержит первый электрод 1 в виде двух пластин, между которыми залит 1-2N раствор NaOH с коаксиальными отверстиями, заготовку 2 для АЭК из вольфрама, один из концов которой закреплен точечной сваркой на прогреваемом вольфрамовом держателе 3, а другой соединен (также точечной сваркой) с навеской 4 из никелевой проволоки.

Последняя погружена в ванну с токоЗпроводящей жидкостью 5 (ИаС Г) . Стабилизированный источник 6 питания соединен с первым электродом 1 непосредственно и со вторым электродом

2 — через Ni-электрод 7, раствор

NaC F 5 и Ni-навеску 4.

При включении источника 6 при напряжении 20 В в зазоре между пластинами 1 происходит травление заготовки 2, которая разрывается в момент достижения диаметра образующейся перетяжки 0,2 мкм, образуя тонкое острие.

Благодаря большей массе навески по сравнению с нижней частью заготовки и инертности никеля по отношению к раствору NaC E в течение всего времени травления (2-3 мин) обеспечивается полирующий режим и формирование острия АЭК наступает при строго фиксированном размере перетяжки. Последнее обатоятельство приводит к стабилизации микрогеометрии вершины АЭК и, следовательно, к высокой воспроизводимости эмиссионных параметров, разброс которых не превышает 203.

Технический эффект от внедрения изобретения заключается в увеличении процента выхода идентичных острий, а экономический эффект от внедрения определяется снижением себестоимости автокатодов.