Способ получения невыпрямляющего контактного покрытия на кремнии

Способ получения невыпрямляющего контактного покрытия на кремнии

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

М 108843

Класс 21g, 32

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

И. Г. Е русал им чик

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕВЫПРЯМЛЯЮЩЕГО

КОНТАКТНОГО ПОКРЫТИЯ НА КРЕМНИИ

Заявлено 12 февраля 1 >57 г. ва Ха 566694 в 1,омитст ио дела» изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Предметом пзобре! C!.пя является способ получения нсвьшрям I>I! .шего контактного покрь1тия на кремнии путем нанесения на последний электрическим путем металла платиновой подгруппы.

Известно применение для получения омическпх контактов на кремнии Р-типа процесса -лсктрического нанесения родня на поверхность кремния.

1110Uccc ро 1прования обладает рядом существенных недостатков: электролит очень чувствитслен к малейшим загрязнениям, процесс проходит при высокой тсмпсратурс (до 60") и требует длительного времени(до 30 мин.); черезвычайно сложным и трудоемким процессом является приготовление родпсвого электролита.

Предлагаемый способ не имеет указанных недостатков. 3! о достигается тем, что в качестве наносимого металла применяют палладий, осаждаемый из э Ic!Tpoëèòÿ следующего состава: PdС1 2H,,О—

16 г/л; NH,CI — 0 г, л, NH,ОН вЂ” до р(I 9 —:-10 при температуре 20, катодной пло" íîñòè тока от 0,25 до1,0 Л ол;-, аноды — платиновые,. время осаж.!сипя 3 — 10 мин.

Процесс приготовления указанного электролита весьма прост;. соль палладия в готовом виде выпускается промышленностью. Электролит работает при низких гсмпературах, следовательно, ванна палладирования не требуст специальных подогреваю1цих i стройств; скорость палл адирования выше скорости родир:>вания; и кроме

;ого, палладнй несколько дешевле родня.

Если иcï ëüçовать палладиевые контакты прп проведении измерений параме1ров слитков кремния, то палладий поcëå прo!3едения таких измерений может быть легко рас гворен в смеси азотной и соляной кислот (на кремний эта смесь не действует) и полностью регенерирован в виде PdCI . 2НеО.

Таким образом, в этом случае драгоценный металл не расходуется, Предлагаемый способ может оыть применен при производстве полупроводниковых приборов н прн

<6 108843

Предмет изобретения

Отв. редактор Л. Г. Голандский

Стандартгиа. Подп. к печ. 19/X-1957 г, Объем 0,125 и. л. Тираж 850. Бена 25 коп

Гоп. Алатырь, типография № 2 Министерстна культуры Чувашской АССР. Зак. 5262 измерении электрофизическик параметров слитков кремния.

Способ получения невыпрямляющего контактного покрытия на кремнии путем нанесения на последний электролитическим путем металла платиновой подгруппы, о тличающийся тем, что, с целью упрощения процесса покрытия, в качестве наносимого металла применяют палладий, а осаждение производят из электролита, содержащего PdC1,. ° 2Н,Π— 16 г/л,.

NH,Ñ1 — 30 г/л и NH,ОН вЂ” до рН—

9 —:10.