Подложкодержатель

Подложкодержатель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединенных между собой шарнирами, от л йчающийся тем, что, с целью упрощения конструкции подложкрдержа-г теля, каждая секция снабжена опорными. площадками, смещенными относительно осей шарниров. (Л с

СОО3 СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11)

Всю С 23 С 13/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1

Ыьйуа PkA

К ASTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3469746/18-21 (22) 16.07.82 (46) 23.05.84. Бюл, 11 19 (72) В.Г. Фролов, В.С. Наговицын, В.Н. Мокрецов, В.А. Хомяков и Е.А. Попович (53) 627.793.14(088.8) (56) 1. Радиоэлектроника за рубежом. . Информационный бюллетень. Вып. 5.

М., 1980, с. 32.

2. Авторское свидетельство СССР .У 456390, кл. С 23 С 13/08, 197 1 (прототип). (54)(57) ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий основание с элементами крепления подложек, выполненное из несколь ких секций, последовательно соединенньпс между собой шарнирами, о. т л ич а ю шийся тем, что, с целью упрощения конструкции подложкодержа-, теля, каждая секция снабжена опорными. площадками, смещенными относительно осей шарниров.

1093728

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано при конструировании вакуумных установок в вакуумных напылительных линиях.

Известен подложкодержатель, выпол. ненный в виде прямоугольной плиты, имеющей элементы крепления подложек и выступы для транспортирования (1j .

Однако этот подложкодержатель не позволяет загружать одновременно достаточное количество подложек. В вакуумной установке с таким подложко держателем нерационально использован объем камеры, так как для получения высокого качества напыпяемого слоя такой подложкодержатель должен посту. пательно перемещаться относительно источника напыления, что влечет за собой увеличение длины вакуумной камеры в три и более раза по сравнению с размером подложкодержателя. Дополнительное увеличение количества одно. временно загружаемых подложек влечет за собой, как правило, неоправданное увеличение объемов вакуумных камер.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является подложкодержатель, содержащий основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединенных между собой шарнирами, причем каждая секция снабжена опорными площадками, смещенными относительно осей шарниров f2) .

Недостатком известного подложкодержателя является сложность конструкции, так как при передаче подложек из камеры в камеру к подложкодержателю требуется дополнительный механизм, перекладывающий подложку с одного подложкодержателя на другой.

Цель изобретения — упрощение конструкции устройства.

Поставленная цель достигается тем что в подложкодержателе, содержащем основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединенных между собой шарнирами, каждая секция снабжена опорными площадками, сме35

50 безопорном пространстве (не имеющем направляющих) затворно-шлюзовых устройств и т.п., т.е. при посекцион. ном выдвижении подложкодержателя на направляющих секции 1 разворачиваются вокруг осей шарниров 2 до взаимо. действия опорных площадок 4 смежных секций, образуя при этом жесткий блок под действием силы тяжести. При достижении следующих направляющих подложкодержатель вновь образует бесконечный конвейер за счет замкнутых направляющих.

По сравнению с.известными в предлагаемом подложкодержателе можно раз" местить большее количество подложек, причем передача подложек с одной позиции на другую осуществляется беэ дополнительных устройств, что значительно упрощает конструкцию подложкодержателя. щенными относительно осей шарниров.

На фиг.1 изображен подложкодержатель, общий вид; на фиг.2 — разрез

А-А на фиг.1.

5 Подложкодержатель содержит основание в виде располаженйых друг за другом секций 1. Противоположные торцевые поверхности секций по ходу транспортирования соединены между собой шарнирами 2, которые имеют оси

3. Выступающие части осей играют роль зацепов при транспортировании.

Каждая секция подложкодержателя имеет опорные площадки 4, которые выполнены со смещением относительно осей шарниров и ограничивают разворот секций в одном из направлений вращения в шарнире.

В процессе напыления подложкодержатель транспортируется по замкнутым направляющим камеры, при этом крайние секции подложкодержателя между собой зацепления не имеют. Благодаря замк- нутым направляющим камеры подложко 5 держатель образует бесконечный конвейер, а вследствие шарнирного соединения секций между собой подложкодержатель способен транспортироваться по радиусным участкам направляющих.

Подложкодержатель за счет опорных площадок может транспортироваться в

1093728 фиа 2

Составитель И. Серебрянникова

Редактор Н. Егорова Техред С.Легеза Корректор Г. Огар l

Заказ 3381/24 Тираж 900 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР .по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4