Шлюзовое устройство для вакуумных установок

Шлюзовое устройство для вакуумных установок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК, содержащее полый корпус с замком на одном из торцов, два фланца с уплотнениями, размещенные со стороны торцов полого корпуса, шток с держателем изделий, расположенным внутри полого корпуса:, и вакуумный ввод возвратно-поступательного и вращательного перемещения штбка , установленный на одном из фланцев , отличающееся тем, что, с целью-Упрощения конструкции, другой фланец выполнен с возможностью зацепления и расцепления со штоком при загрузке - выгрузке изделий в полом корпусе.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) g )) С 23 С 13/08

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTMA

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (H) 3524821/18-21 (22);20.12.82 (46) 23.05.84. Вюл. У 19 (72) Н.З. Руденко и В.Н. Щелкунов (71) Физико-технический институт низких температур АН УССР (53) 621.793.14.002.52(088.8) (56) 1. Патент Англии В 1423353, .кл. С 7. Р, 1976.

2. Авторское свидетельство СССР

1 1008279, кл. С 23 С 13/08, 1982 .(прототип).

"(4H57) ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК, содержащее полый корпус с замком на одном из торцов, два фланца с уплотнениями, размещенные со стороны торцов полого корпуса, шток с держателем иэделий, расположенным внутри полого корпуса, и вакуумный ввод возвратно-поступательного и вращательного перемещения штока, установленный на одном иэ фланцев, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью -упрощения конструкции, другой фланец выполнен с возможностью зацепления и расцепления со штоком при загрузке - выгрузке иэделий в полом корпусе.

1093729

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к элементам вакуумных систем, и может найти применение для ввода объектов в камеру с разреженным пространством или извлечения их из нее без нарушения вакуума.

Известно шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее полый корпус, фланцы с уплотнениями, шток с держателем изделий и приводы перемещения фпанцев j1) .

Недостатками устройства являются большие габариты и повышенная металлоемкрсть конструкции ввиду наличия значительного количества нагруженных элементов, возможность шлюзования объектов только определенной формы и

/ размеров, потребность в сложном технологическом оборудовании (гидропри" воде). Кроме того, из-за большого количества герметичных вводов и значительных фоновых тепловых нагрузок при работе устройства в условиях низких температур, его конструкция отличается многоэлементностью, а значит сложностью.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является шлюзовое устройство для вакуумных установок, содержащее полый корпус с замком на одном из торцов, два флан-! ца с уплотнениями, размещенные со стороны торцов полого корпуса, шток с держателем изделий, размещенный внутри полого корпуса, и вакуумный 35 ввод возвратно-поступательного и . вращательного перемещения штока, установленный на одном из фланцев f2), Недостатком известного устройства является сложность конструкции ввиду 40 ее многоэлементности из-за большого количества герметичных вводов, приводов со штоками и т.д.

Цель изобретения — упрощение конструкции. 45

Цель достигается тем, что в шлюзо вом устройстве для вакуумных установок, содержащем полый корпус с замком на одном из торцов, два фланца

50 с уплотнениями, размещенные со стороны торцов полого корпуса, шток с держателем изделий, расположенным внутри полого корпуса, и вакуумный ввод возвратно-поступательного и вращательного перемещения штока, уста55 новленный на одном из фланцев, другой фланец выполнен с возможностью зацепления и расцепления со штоком при загрузке — выгрузке изделий в полом корпусе.

Такое конструктивное решение поз-: воляет значительно упростить конструкцию устройства, так как для обеих фланцев используются один привод и один шток.

Фланец с уплотнением сбединен со штоком шлицевым соединением. Кольцевая канавка фланца с уплотнением снабжена буртиковыми и продольиыми прорезями.

На фиг.1 приведена конструктивная схема устройства; на фиг.2 и 3 — конструкция сечения фланца.

Устройство содержит полый корпус

1, закрепленный в вакуумной камере

2 с помощью фланцево-болтового соединения 3 через уплотнительную прокладку 4. Полый корпус 1 сообщается с камерой 2 через загрузочный проем 5.

С внешней стороны полый корпус герметизируется съемным фланцем 6 с уплотнением 7. Держатель 8 изделий установлен на штоке 9, торец которого заострен и снабжен двумя шлицами

l0 (фиг. 1 и 3). Со стороны вакуумной камеры 2 полый корпус 1 герметизируется флаяцем 11 с уплотнением 12.

На торце фланца 11 (фиг.2) выполнены кольцевая канавка 13, ограниченная буртиком 14, и продольные прорези 15.

Фланец 11 удерживается на штоке 9 с помощью шлицевого соединения, состоящего из отверстия 16 под шток 9, продольных прорезей 17 и проточки 18 с выступами 19. Для удержания фланца

11 полый корпус 1 снабжен замком, размещенным в выступе перпендикулярно его стенкам, состоящим из шариков

20 и прижимного винта 21. На рабочем торце пологс корпуса 1 выполнен кольцевой паз 22, в котором установлен уплотняющий поршень 23. Полость паза

22 сообщена трубопроводом 24 через редуктор 25 с баллоном 26 сжатого газа. Рукоятка 27 расположена снаружи вакуумной камеры 2 и служит для соз- дания вращательного и возвратнопоступательного движения штока 9.

Патрубок 28 установлен снаружи на съемном фланце и предназначен для вакуумирования полого корпуса

Устройство работает следующим образом.

Выводят держатель 8 изделия из вакуумной камеры 2 во внутреннюю полость корпуса 1 до упора уплотнения

937?9 4

11 на штоке 9, при этом шлицы 10 вхо-" дят в проточку 18 до упора с выступами 19. Затем стравливается давление из кольцевого паза 22, и фланец 11 ! освобождается от прижима уплотняющего поршня 23. Вращением штока 9 по часовой стрелке и подачей его от себя выводят фланец 11 иэ зацепления с замком, при этом шарики 20 по продольным прорезям 15 выходят из кольцевой канавки 13. Загрузочный проем 5 освобождается и держатель 8 изделия устанавливают в необходимом положении в рабочей зоне. камеры 2.

:Установка фланца с уплотнением на одном штоке с держателем изделий и выполнение его съемным дают возможность значительно упростить конструкцию устройства (уменьшить общее количество входящих элементов); отказаться от от сложнои в изготовлении плунжерной пары (направляющей и штока привода возвратно-поступательного перемещения); уменьшить его металлоемкость; повысить качество исследований, проводимых с объектом в вакуумнои камере, путем уменьшения количества герметичных стыков в 2 раза, что снизит натекание в рабочую зону и сокращение фоновых тепловых нагрузок (в 2 раза) при использовании устройства в условиях низких температур.

3 10

12 фланца 11 с уплотняющим поршнем

23 через загрузочный проем 5 с помощью рукоятки 27 и штока 9. При этом шарики 20 по продольным прорезям 15 на торце фланца 11 попадают в кольцевую 5 канавку 13. Вращением штока 9 против часовой стрелки поворачивают фланец

1i до упора, при этом шарики 20, скользя по кольцевой канавке 13, упираются в буртики 14. После этого в 10 полость 22 по трубопроводу 24 через редуктор 25 из баллона 26 подается газ под необходимым давлением, поршень 23 выдвигается и врезается в уплотнение 12, герметизируя корпус 1. 15

Затем с помощью рукоятки 27 поворачивают шток 9 по часовой стрелке до входа шлицев 10 в продольные прорези

17 фланца 11. Движением штока 9 на себя отсоединяют его от фланца 11. 20

После того, как давление в корпусе 1 сравнивается с наружным при помощи патрубка 28, фланец 6 отсоединяется от камеры 2, и держатель 8 изделия извлекается из полого корпуса 1. 25

В вод держателя 8 изделия в вакуумную камеру 2 осуществляется в обратной последовательности. Именно держатель 8 изделия вводится в полый корпус 1, который затем герметизируется,30 с помощью фланца 6 и уплотнения 7.

Патрубок 28 подсоединяется к вакуумнасосу, и полый корпус i откачивается до необходимого давления. Затем с помощью рукоятки 27 выдвигают шток

9 с одновременным его проворачиванием до совпадения шлицев 10 с продольными прорезями 17 отверстия 16 — до упора

>с фпанцем 11. Вращением рукоятки 27

40 по часовои стрелке фиксир;::- фпанец

Упрощение конструкции шлюзового устройства, технологии изготовления, уменьшение его металлоемкости дает возможность снизить расходы на изготовление устройства, а уменьшение натекания и фоновых тепловых нагрузок в рабочую зону — снизить эксплуатационные расходы.

1093729

1093729

16

17

Составитель В. Однноков

Редактор Н. Егорова Техред Д.Микеш Корректор Г. Огар е

Заказ 3381/24 Тирах 900 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская. наб., д. 4/5

»»» »»»»

Фипиал ППП "Патент" ° r. Ухгород, ул. Проектная, 4