Высоковакуумный вентиль для шлюзования образцов

Высоковакуумный вентиль для шлюзования образцов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ВЕНТИЛЬ ДЛЯ ШЛЮЗОВАНИЯ ОБРАЗЦОВ по авт. св. № 949269, отличающийся тем, что, с целью повьшшния надежности , винтовая передача вьшолнена в виде резьбовой втулки, состоящей из . двух частей, связанных с нажимными дисками и скрепленных одна с другой с возможностью относительного осевого перемещения, и снабжена ограничителями взаимного раздвижения налсимных дисков.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК ш) Р 16 К 3/08

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ц! (61) 949269 (21)3564528/25-08 (22) 18. 03. 83 (46) 23. 05. 84. Бюл. К 19 (72) И, И. Галич, В. Э. Исьянов, B.Ë.Ольховский и Е.А.Кривенко (71) Опытное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института металлофизики АН

Украинской СОР (53) 621.646(088. 8) (56) 1, Авторское свидетельство СССР

У 949269, F16 К 3/08,,1980 ° (54) (57) ВЫСОКОВАКУУМНЫИ ВЕНТИЛЬ ДЛЯ

ШЛЮЗОВАНИЯ ОБРАЗЦОВ по авт. св.

И - 949269, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, винтовая передача выполнена в виде резьбовой втулки, состоящей из двух частей, связанных с нажимными дисками и скрепленных одна с другой с возможностью относительного осевого перемещения, и снабжена ограничи телями взаимного раздвижения нажимных дисков.

1093853

Изобретение относится к трубопроводной арматуре и может быть использовано в вакуумной технике, например в электронно-физическом приборостроении для транспортирования образцов из атмосферы на строго ориентируемые позиции в нысоковакуумные объемы беэ ухудшения в них вакуума.

По основному авт.св. В 949269 известен высоковакуумный вентиль в котором для шлюзования образцов в корпусе выполнено окно выгрузки, а на приводном вапу установлены поворотный дисковый затвор, состоящий из запорного и нажимных дисков с расположенными между ними упругими уплотнительными кольцами, приводной механизм нажимных дисков, выполненный в виде винтовой передачи, и подпружиненные фиксаторы. На одном иэ нажимных дисков установлена транспортная платформа, а приводной вал затвора выполнен из соосных, не связанных друг с другом,частей, одна из которых использована и качестве приводного вала транспортной платформы 1 .

Недостатком известного устройства является то, что практически невозможно достичь необходимой точности изготовления посадочных мест приводного вала и уплотнительных поверхностей корпуса и дисков, что приводит к тому, что зазор между уплотнительными поверхностями корпуса и уплотнительными прокладками, не сжатыми дисками затвора, имеет величину более расчетной, в результате чего при сжатии уплотнительных колец дисками затвора, сближение которых ограничено фиксатором, невозможно достичь равномерного и с необходимым усилием поджатия уплотнительных колец к уплотнительным поверхностям корпуса, вследствие чего снижается герметичность, а следовательно, и надежность устройства.

Кроме того, н известном устройстне отсутствует ограничение зазора между уплотнительными поверхностями корпуса и уплотнительными кольцами при взаимном раздвижении нажимных дисков, так как подпружиненный фиксатор, взаимодействующий с запорным диском, при раздвижении нажимных дисков не фиксирует запорный диск до тех пор, пока трение между уплотнительными кольцами и уплотнительными поверхностями корпуса не будет сведено до минимума, после чего эапорный диск на35

5 !

О f5

30 чинает проворачиваться (подпружиненный фиксатором), Так как указанное трение не стабильно во время работы вентиля, то и зазор между уплотнительными поверхностями корпуса и уплотнительными кольцами, определенный при регулировании вентиля, может увеличиваться, что снижает герметичность, а следовательно, и надежность известного устройства, Цель изобретения — повьш ение надежности устройства, Поставленная цель достигается тем, что в нысоковакуумном вентиле для шлюзования образцов винтовая передача выполнена в виде реэьбовой втулки, состоящей из двух частей, связанных с нажимными дисками и скрепленных одна с другой с возможностью относительного осеного перемещения, и снабжена ограничителями .взаимного раздвижения нажимных дисков.

Такое техническое решение позволяет производить регулировку зазора между уплотнительными поверхностями корпуса и уплотнительными кольцами взаимным сближением дисков затвора и обеспечивает при работе устройства стабильность величины указанного зазора.

На чертеже изображено предлагаемое устройство, общий нид в разрезе.

Направление вращения приводного вала затвора при открытии вентиля указано стрелкой А, Направление вращения шестерни приводного механизма нажимных дисков при их разднижении указано стрелкой Б.

Высоковакуумный вентиль для шлюзования образцов содержит корпус 1 со сферическими или коническими уплотнительными поверхностями 2, с упорами 3 и 4, крышкой 5 и окном выгрузки (не показано).

В корпусе 1 выполнены каналы 6, соединяющие камеру 7 загрузки с магистралью откачки вакуума.

В корпусе 1 установлен затвор 8, состоящий из запорного 9 и нажимных 10 и 11 дисков, упругих уплотнительных колец 12, отверстия 13 для фиксации, выполненного на втулке 14, закрепленной в запорном диске 9, приводного вала 15 затвора 8 и приводного вала 16 транспортной платформы 17 установленной на нажимном диске II u выполненной в виде нескольких направляющих, ным поверхностям дисков 9 и 11. Уста. навливают уплотнительное кольцо 12 на диск 10. Вращая диск 11, ввинчивают его во втулку 21 до соприкосновения уплотнительного кольца 12 с уплотнительными поверхностями дисков 9 и 10. В таком положении дисковый зат* вор 8 подготовлен для регулирования зазора между уплотнительными поверхностями 2 корпуса 1 и уплотнительными кольцами 12. Затвор 8 устанавливают в корпусе 1 вентиля. При вращении винта 18 втулки 21 и 22 перемещаются навстречу друг другу, нажимные диски 10 и !1 сближаются и зажимают уплотнительные кольца 12.

0 достижении требуемой величины зазора между уплотнительными поверхностями 2 корпуса 1 и уплотнительными кольцами 12 судят визуально, с помощью щупов или по сопротивлению, оказываемому повороту затвора 8 эа счет соприкосновения уцлотнительных колец 12 с уплотнительными поверхнос тями 2 корпуса 1. После чего на диск 11 устанавливают крышку 36, иэс лирующую внутренний объем затвора 8 от камеры загрузки.

Если при испытании вентиля на гер-метичность в затворе обнаружат про" течки, то, не демонтируя затвора, сняв крышку 36, вращением винта 23 производят дополнительную регулировку зазора между уплотнительными поверхностями 2 корпуса 1 и уплотнительными кольцами 12.

Технико-экономическая эффективность изобретения заключается в обе< печении возможности в необходимых (пределах регулировать зазор между уплотнительными поверхностями корпуса и уплотнительными кольцами взаимным сближением нажимных дисков, в рс зультате чего исключается растягивание, радиальная волнообразная деформация уплотнитсльных колец и выход их участков из канавок, образованных дисками затвора, что повышает герме— тичность, а следовательно, и надежность устройства.

Наличие упоров в приводном механизме нажимных дисков обеспечивает при работе устройства стабильность величины зазора между уплотнительны-ми поверхностями корпуса и уплотнительными кольцами эа счет ограничения взаимного раздвижения нажимных дисков, что также повьш1ает надежноустройства, 3 1093853

В корпусе затвора 8 установлен привод перемещения нажимных дисков, вьг полненный в виде винтовой передачи !8, состоящей из установленных на реэьбовых осях 19 и 20 нажимных дисков 10 и 11 раэьбовых втулок 21 и 22, соединенных винтом 23 с возможностью осевого перемещения относительно друг друга. Резьбовые втулки 21 и 22 имеют противоположно направленные углы подъема винтовых линий °

Реэьбовые втулки 21 и 22, соединенные винтом 23, выполняют функцию резьбовой втулки механизма 24 перемещения нажимных дисков 10 и 11 и вза- 15 имодействуют с шестерней 25, установленной на втулке 26 запорного диска 9.

На шестерне 25 закреплен упор 27, а на запорном диске 9 — упор 28, Упо-2О ры 27 и 28 ограничивают поворот шесl терни 25 при раэдвижении дисков 10 и 11.

На валу 15 установлены втулки 29 с фиксатором 30, входящим в отверстия 13 на втулке 14, и рукоятка 31 с фиксатором 32, входящим в углубление 33 на корпусе 1 вентиля, На ва-. лу 16 установлена рукоятка 34. На транспортной платформе 17 закреплена зубчатая рейка 35, кинематически свя30 занная с валом 16, Регулирование зазора между уплотнительными поверхностями корпуса и уплотнительными кольцами осуществляют следующим образом. 35

Устанавливают на втулку 26 запорного диска 9 шестерню 25 и поворачивают ее в направлении стрелки Б.

Упор 27 упирается в упор 28, вращение шестерни 25 прекращается. Такое 4О положение шестерни 25 и упоров 27 и 28 соответствует прекращению раздвижения дисков 10 и 11, Соединяют реэьбовые втулки 21 и 22 винтом 23 так- чтобы между ними был зазор, дос.45 таточный для предварительного сжатия уплотнительных колец 12 дисками !О и 11. На практике этот зазор имеет величину не менее половины поперечного сечения (толщины) уплотнительного кольца 12. Навинчивают втулку 22 на резьбовую ось 20 диска 11, устанавливают уплотнительное кольцо 12 на диске ll и помещают втулки 21 и 22 в ступицу шестерни 25. 55

Диск 11 перемещается в направлении запорного диска 9, и уплотнительное кольцо 12 поджимается к уплотнительl093853

Составитель Т. Колясинская

Редактор О. Бугир Техред Т.Дубинчак Корректор А, Тяско

Заказ 3400/30 Тираж 9l3 Подписное

ВЖИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская иаб., д, 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Кроме того, изобретение упрощает монтаж устройства и обеспечивает взаимозаменяеиость уплотнительных колец по толщине и упругости материала за счет возможности регулирования степени их сжатия в необходимых пределах.