Устройство для перегрузки полупроводниковых пластин в кассеты с различным шагом размещения полупроводниковых пластин

Устройство для перегрузки полупроводниковых пластин в кассеты с различным шагом размещения полупроводниковых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕГРУЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН В КАССЕТЫ С РАЗЛИЧНЬМ ШАГОМ РАЗМЕЩЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержащее накопитель, выполненный в виде рамы с пазами для полупроводниковых пластин, и механизм для распределения полупроводниковых пластик с упорами , отличающееся тем, что, с целью повышения надежности в работе за счет исключения возможности повреждения пластин и повышения удобства в обслуживании, оно снабжено основанием с опорой для кассет и кареткой, в которой выполнено окно для опоры основания, при этом накопитель шарнирноустановлен на каретке над ее окном, пазы для полупроводниковых пластин в раме накопителя выполнены глухими со стороны окна каретки , а упоры механизма для распределения полупроводниковых пластин расположены на накопителе со стороны , противоположной окну каретки, и

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

3(Ц) Н 01 Ь 21/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ аа

ГОСУДАРСТ8ЕКНЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 34 88694/18- 21 (22) 03 ° 09,82 (46) 30.05.84. Вюл. В 20 (72) А .А .Äååâ, В,И.Гончаров и В.М.Сухоставец (53) 621.383(088,8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

9 748580, кл. Н 01 L 21/00, 05.06,78.

2. Патент США (» 3949891, кл. 214-301, 13. 04 . 76. (54) (57) 1. УСТРОИСТВО ДЛЯ ПЕРЕГРУЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН В КАССЕТЫ С РАЗЛИЧНЫМ МАГОМ РАЗМЕЩЕНИЯ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержащее накопитель, выполненный в виде рамы с пазами для полупроводниковых пластин, и механизм для распределеÄÄsuÄÄ1095275 А ния полупроводниковых пластин с упорами,отличаюцееся тем, что, с целью повышения надежности в работе эа счет исключения воэможности повреждения пластин и повышения удобства в обслуживании, оно снабжено основанием с опорой для кассет и кареткой, в которой выполнено окно для опоры основания, при этом накопитель шарнирно установлен на каретке над ее окном, пазы для полупровод никовых пластин в раме накопителя выполнены глухими со стороны окна каретки, а упоры механизма для распределения полупроводниковых пластин расположены на накопителе со стороны, противоположной окну каретки. g

1095275

2. Устройство, по п. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей, механизм для распределения плас1

Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам, позволяющим осущестнлять перегрузку полупроводниковых пластин из одной технологической кассетч в другую при 5 производстве и/и приборов и ИС.

Известно устройство для перегрузки полупроводниковых пластин в кассеты с различным шагом размещения полупроводниковых пластин, содержащее накопитель, выполненный н виде соединенных между собой корпусоь с пазами для полупроводниковых пластин и механизм для распределения полупропластин, выполненный н ви-45 де планок, в каждой из которых выполнены сквозные и несквозные пазы, чередующиеся между собой с постоянным шагом Ll).

Недостатками известного устройства является низкая надежность в рабо-2О те вследствие того, что не исключены повреждения полупроводниковых пластин при перемещении их в отверстиях планок механизма для распределения, .а также данное устройство не удобно 25 в обслуживании, так как затруднено совмещение кассет с пазами накопителя и необходима дополнительная манипуляция — переворот накопителя, при котором также не исключены повреж- ЗО дения пластин, кроме того, устройство имеет ограниченные эксплуатационные воэможности, оно обеспечивает перегрузку в кассеты только с двумя различными шагами размещения полу- 35 проводниконых пластин.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство для перегрузки полупроводниковых пластин с различным шагом раэ- 4р мещения полупроводниковых пластин, содержащее накопитель, выполненный в виде рамы с пазами для полупроводниковых пластик и механизм для распределения полупроводниковых пластин в ниде планки с упорами 523.

Однако известное устройство недостаточно надежно а работе, так как в нем не исключены повреждения полупронодниконых пластин при их перегрузке за счет ударов, возникающих при перевороте накопителя и при.перемещении пластин иэ кассеты в накопитель, а также устройство не достаточно удоб55 тик выполнен н виде подпружиненных рычагов, кинематически соединенных с кулачконым валом, причем упоры расположены на концах подпружиненных рычагов.

3 но в обслуживании, так как переворот накопителя осуществляется вручную, Кроме того, данное устройство обладает ограниченными эксплуатационными воэможностями, так как оно обеспечивает перегрузку в кассеты только с двумя различными шагами размещения полупроводниковых пластин.

Цель изобретения — повышение надежности н работе, повышение удобства в обслуживании и улучшение эксплуатационных возможностей, Поставленная цель достигается тем, что устройство для перегрузки полупронодниковых пластин н кассеты с различным шагом размещения полупроводниковых пластин, содержащее накопитель, выполненный н виде рамы с пазами для полупроводниковых пластин и механизм для распределения полупроводниковых пластин с упорами, снабжено основанием с опорой для кассет и кареткой, в которой выполнено окно для опоры основания, при этом накопитель шарнирно установлен на каретке над ее окном, пазы для.полупроводниковых пластин в раме накопителя выполнены глухими со стороны окна каретки, а упоры механизма для распределения полупроводниковых пластин расположены на накопителесо стороны, ротиноположной окну каретки, Механизм для распределения пластин выполнен в виде подпружиненных рычагов, кинематически соединенных с кулачковым налом, причем уопры расположены на концах подпружиненных рычагов, На фиг, 1 показано устройство для перегрузки пластин со стороны рабочего места, общий вид (пластины, технологическая и кварцевая кассеты недоказаны); на фиг. 2 — то же, вид сверху; на фиг. 3 — сечение A-А на фиг, 1; на фиг. 4 — накопитель нахоt дится в нижнем положении, кварцевая кассета с пластинами установлена на столик - устройство подготовлено к съему пластин с кнарцевой кассеты; на фиг. 5 — перегрузка пластин из кварцевой кассеты в накопитель; на фиг, 6 — то же, вид сверху; на фиг.

7 — перегрузка полупроводниковыми пластин в технологическую кассету; на фиг. 8 - устройство, вид сверху после выгрузки части пластин, устройство подготовлено к перегрузке останших1095275 ся пластин в другую технологическую кассету; на фиг. 9 — относительное расположение пазов кварцевой кассеты; на фиг. 10 — разрез Б-Б на фиг. 9.

Устройство для перегрузки полупроводниковых пластин (фиг, 1-3) содер5 жит накопитель 1, выполненный в виде рамы, на двух внутренних противопоФ ложных сторонах которой прорезаны пазы 2 для полупроводниковых пластин

3 ° 10

Накопитель 1 установлен шарнирно с с помощью двух шарниров с осями 4 на каретке 5. Каретка 6 может перемещаться вверх и вниз по направляющей

7, неподвижно установленной на осно- 15 вании 8.

Накопитель 1 и каретка 5 уравновешены грузом 9 с помощью ролика 10 и тросика 11.

На основании 8 неподвижно установ- 20 лен упор 12 для удержания накопителя 1 в отклоненном положении и опора

13 для установки на нем кварцевой кассеты 14, На опоре 13 для кассет выполнен выступ 15 для фиксации кассет

14 в ориентированном положении относительно накопителя 1. В каретке 5 выполнено окно 16 для опоры основания 8, а накопитель 1 установлен на каретке 5 над ее окном 16. Для фиксации каретки 5 н верхнем и нижнем положениях в направляющей 7 предназначен стопорный винт 17. Пазы 2 для полупроводниковых пластин накопителя 1 со стороны окна 16 каретки 5 выполнены глухими и ограничены упорами 18, выполненными из упругого материала для исключения повреждения полупроводниковых пластин 3. Механизм для распределения полупронодниковых пластин выполнен в виде подпружиненных пружина- 40 ми 19 рычагов 20 с упорами 21, расположенными на концах рычагов 20. Рычаги 20 установлены шарнирно на осях

22 на накопителе 1 и пружинами 19 подняты к кулачковым валам 23. Упоры 21 рычагов 20 расположены в отверстиях, выполненных в накопителе напротив пазов 2 для полупроводниковых пластин.

Полупроводниковые пластины перегружаются в технологическую кассету 24 с пазами 25 для полупроводниковых пластин, Шаг расположения пазов 25 для полупроводниковых пластин технологической кассеты 24 может быть не равен шагу расположения пазов 26 для пластин кварцевой кассеты 14, но дол- 55 жен быть кратным шагу расположения разов в кварценой кассете. В описы- > наемом устройстве шаг расположения пазов 25 технологической кассеты 24 в два раза больше шага расположения 60 пазов 26 кварцевой кассеты 14.

Рычаги 20 установлены на двух боковых поверхностях накопителя 1 так, Г что рычаги 20, расположенные на одной стороне накопителя упррами 21, фикси- 5 руют полупроводниковые пластины в нечетных пазах 2 накопителя, а рычаги 20, расположенные на другой стороне накопителя, фиксируют полупроводниковые пластины н четных пазах 2 накопителя 1, Для обеспечения перегрузки полупроводниковых пластин в технологические кассеты 24 с шагом расположения пазов 25, более, чем в два раза отличающимся от шага расположения паэов

26 кварцевой кассеты 14, кулачковые валы могут быть выполнены так, чтобы обеспечивать перемещение рычагов, расположенных на любых расстояниях, кратных шагу расположения пазов 26 в кварцевой кассете 14. Для фиксации технологической кассеты на накопителе 1 на нем установлены зажимы 27 и подвижная планка 28 с фиксаторами

29, выполненными в виде штифтов, Устройство работает следующим образом.

В исходном положении накопитель

1 нместе с каретной опускается н крайнее нижнее положение и фиксируется там стопорным винтом 17.

Затем кварцевая кассета 14 (фиг.4), полностью загруженная полупроводниковыми пластинами 3, устанавливается на упор 12 так, чтобы выступ 15 совпал с пазом, выполненным н нижней части кассеты 14. В этот момент нсе пазы 26 кварцевой кассеты 14 совпадают с пазами 2 для полупроводниковых пластин накопителя 1, как это показано на фиг. 10. Все упоры 21 рычагов 20 поворотом кулачковых валов утапливаются в тело накопителя 1 и тем самым полностью открывают все пазы 2 накопителя 1. Данное положение показано на фиг, 4.

Далее накопитель 1 совместно с кареткой 5 перемещают в верхнее положение по направляющей 7 и фиксируют каретку 4 стопорным винтом 17. При движении накопителя 1 вверх стенки его пазов 2 начинают охватывать соответствующие полупроводниковые пластины

3 снизу (фиг. 10), и пластины постепенно и плавно заполняют паэ 2 накопителя даже в том случае, если они в пазах кварцевой кассеты 14 установлены с нарушением точного вертикального положения, что, как правило, бывает при их обработке и загрузке. При дальнейшем движении накопителя 1 вверх полупроводниковые пластины плавно касаются упругих упоров 18, н этот момент кварцевая кассета 14 освобождается от полупроводниковых пластин 3, а накопитель 1 фиксируется н крайнем верхнем положении так, что пластины

3 выходят иэ пазов 26 кварцевой касеты 14 и располагаются на некотором сстоянии выше над стержнями кассет4

14 °

1095275

Z2

Фиг, 2

Особенностью является то, что плас тины захватываются при любом их рас-, положении в кассете. При движении накопителя вверх пластины как бы автоматически выравниваются стенками пазов накопителя и затем захватываются

5 упругими упорами 18. Полностью исключаются отказы в работе, задержки и повреждения пластин °

При перегрузке полупроводниковых пластин из накопителя 1 в технологи- 10 ческую кассету 24 упорами 21 рычагов

20 (фиг ° 5) через один перекрывают пазы накопителя поворотом одного иэ кулачковых валов 23.

На планку 28 устанавливают техноло- гическую кассету 24, г.ри этом планка

28 установлена в положение, при котором полупроводниковые пластины 3, находящиеся в пазах, не перекрытых упорами 21, совпадают с соответствующими20 пазами технологической кассеты 24.

В правильном положении технологическая кассета 24 фиксируется фиксаторами 29 и закрепляется на планке

28 зажимами 2 .

Далее накопитель 1 с пластинами

3 и технологической кассетой 22 поворачивают по часовой стрелке вокруг осей 4 до упора 1? (фиг. 7) .

Под воздействием собственного веса пластины, не удерживаемые упора30 ми 21, плавно перекатываются в технологическую кассету 24.

После того, как все освобожденные пластины раместились в кассете 24, T,å. половина от находившихся в накопителе 1, кассета освобождается от воздействия зажимов 27, отсоединяется от накопителя и передается на последующую технологическую операцию, где требуется шаг размещения пластин в 2 раза больший.

Пля перегрузки оставшихся в накопителе 1 полупроводниковых пластин планка 28 смещается на один шаг и фиксируется в положении, при котором пазы с оставшимися в накопителе 1 пластинами совпадают с пазами установленной второй технологической кассеты. для перегрузки оставшейся половинЫ пластин во вторую технологическую кассету 24 необходимо повторить описанние выше операции.

Если теперь необходимо загрузить кварцевую кассету иэ технологических кассет с целью уменьшения шага загрузки кварцевой кассеты, описанные выше операции повторяются в обратном порядке.

Использование предлагаемого изобретения позволяет повысить надежность в работе за счет исключения повреждения пластин при их перегрузке, повысить удобство в обслуживании, а также улучшить эксплуатационные воэможности за счет того, что устройство обеспечивает перегрузку пластин в технологические кассеты с любым шагом размещения пластин, кратным шагу размещения их в кварцевых кассетах.

1095275. Фиг.Б

1095275

1095275 иг. 7

ZB

Фиг. 8

Фиг,9

Составитель В.Дрель

Редактор H,Горват Техред Л.Коцюбняк Корректор И.Шароши

Заказ 3610/ 36 Тираж 683 Подписное

BHMHtIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

11 3035, Москва, Ж- 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4