Устройство для контроля контактирования в зондовых установках

Устройство для контроля контактирования в зондовых установках

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КОНТАКТИРОВАНИЯ В ЗОНДОВЫХ УСТАНОВКАХ по авт. св. № 1001235 отличающееся тем, что, с целью повышения точности и надежности измерения электрических параметров интегральных схем, в него введены дополнительные двухпозиционные коммутаторы, подвижный контакт каждого из которьпс соединен с внешним металлическим слоем соответствующего зонда, замыкакяцие контакты - с внутренним металлическим слоем соответствующего зонда, размыкающие - с соответствующими вторыми входами блока индикации контактирования .

СОЮЭ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

PECllYSËÈН

OCYAAPCTBEHHblA NOMHTET CCCP по делам изоврньний и отнрытий

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) 1001235 (21) 3521354/18-21 (22) 14.12.82 (46) 07. 07. 84. Бюл. У,25 (72) В .С. Сафонов и В.И. Тумасов (53) 621.382.002(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Ф 1001235, кл. Н 01 L 21/66, 27.02.81. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КОНТАКТИРОВАНИЯ В ЗОНДОВЫХ УСТАНОВКАХ по авт. св. К 1001235 о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения,.SU„„1102062 А (д) Н 05 К 1/18, Н 01 Ь 21/66 точности и надежности измерения электрических параметров интегральных схем, в него введены дополнительные двухпозиционные коммутаторы, подвижный контакт каждого из которых соединен с внешним металлическим слоем соответствующего зонда, замыкающие контакты — с внутренним металлическим слоем соответствующего зонда, размыкающие — с соответствующими вторыми входами блока индикации контактирования.

1102062

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерениям электрических параметров интеграль" ных схем на пластине.

Наиболее близким к изобретению 5 по технической сущности является устройство для контроля контактирования в зондовых установках, содержащее блок индикации, первые входы которого подключены к замыкающим контактам двухпозиционных коммутаторов, размыкающие контакты которых соединены с блоком измерений, а подвижные контакты соединены с соответствующими зондами, выполненными в виде внутреннего металлического со-сферической рабочей частью, разделительного диэлектрического н внешнего металлического слоев, при этом поверхность, образованная торцами разделительного диэлектрического и внешнего металлического слоев, расположена перпендикулярно оси зонда и удалена от верши.ны сферической рабочей части зонда на расстояние

" -"-("(,l l,l) где b - толщина металлического слоя контактной площадки, Ъ„ - расстояние от вершины сфери- Зц ческой рабочей части зонда до поверхности, образованной торцами разделительного диэлектрического и внешнего металлического слоев; 35 — параметр шероховатости кон(.) тактной площадки, Я. — параметр шероховатости сфер ) рической рабочей части зонда, 40 а вторые входы блока индикации соединены с внешними металлическими .слоями зондов (1 ).

Однако в известном ус гройстве 45 внешний металлический слой зонда, соединенный с вторым входом блока инди" кации, используется только в режиме контроля контактирования и не несет информации в режиме контроля электрических параметров интегральных схем на пластине, так как в режиме измерения рабочая поверхность внешнего металлического слоя отключена от измерительной цепи °

Цель изобретения — повышение точности и надежности измерения электрических параметров интегральных схем.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для-контроля контактирования в зондовых установках введены дополнительные двухпозиционные коммутаторы, подвижный контакт каждого из которых соединены с внешним металлическим слоем соответствующего зонда, замыкающие контакты — с внутренним металлическим слоем соответствующего зонда, а размыкающие — с соответствующими вторыми входами блока индикации контактирования.

На фиг. 1 изображена схема устройства для контроля контактирования в зондовых установках; на фиг. 2— узел 1 на фиг. 1.

Устройство содержит зонды 1-5, каждый из которых содержит внутренний металлический слой 6 со сферической рабочей частью 7, разделительный диэлектрический 8 и внешний металлический 9 слои, блоки 10 индика-: ции контактирования, блок 11 измерений со схемой внешних элементов, двухпозиционные коммутаторы .12-16, каждый из которых имеет соединения замыкающим контактом с соответствующим входом блока 10 индикации контактирования, размыкающим — со схемой внешних элементов и блоком 11 измерений и подвижным контактом с внутренним металлическим слоем 6 зонда, дополнительные двухпоэиционные коммутаторы 17-21, каждый из которых имеет соединения размыкающим контактом с вторым входом блока 10 индикации замыкающим контактом — с внутренним металлическим слоем 6 зонда.

Устройство работает следующим образом.

Проверяется отсутствие паразитного контактирования между внутренним металлическим слоем зонда 6 и внешним металлическим слоем 9, для чего в устройстве коммутируется цепь, внешний металлический слой 9, размыка" ющий контакт соответствующего дополнительного двухпозиционного коммутатора 17-21, второй вход блока 10 индикации, замыкающий контакт соответствующего двухпозиционного коммутатора 12-16 внутренний металлический слой 6 зонда. Если блок 10 индикации фиксирует отсутствие электрического тока в цепи, то паразитного контактирования нет, т.е. слои

6 и 9 изолированы электрически.

1102062

Проверяется наличие контакта меж- них элементов блока 11 измерений, ду зондами 1-5 и интегральной схемой обеспечивающий задание режима и изме22, для чего зонды вводят в контакт рение электрических параметров, а с контактными площадками 23-27 инте- блок индикации отключается. В регральной схемы 22. з жиме измерения контактные площадки

Слой металла каждой контактной 23-27 испытуемой интегральной схеплощадки замыкает между собой метал- мы 22 псдключены к схеме внешних лический слой 6 и 9, при этом блок элементов н блоку измерения к цепи индикации фиксирует наличие элек- внутренний металлический слой 6 ратрического тока в цепи зонд — кон- =-1О бочая часть 7, металлический слой 9, тактная площадка микросхемы. Если замыкающий контакт каждого коммутав.процессе контактирования по ка- тора 17-21, внутренний металлической-либо причине отсутствует кон- кий слой 6, размыкающий контакт комтакт по сферической поверхности мутаторов 12-16, схема внешних, эле.рабочей части 7 зонда, то одновре- 15 ментов блока 11 измерения. менно отсутствует он и по рабочей Прн прохождении электрического поверхности 28 торца металлического тока одновременно по слоям 6 и 9 в слоя 9. В режиме контроля контакти- процессе измерения увеличивается пло-, рования схема внешних элементов блока щадь контактирования, что позволяет

1 1.измерений отключена от зондов и 2О уменьшить переходное сопротивление блока индикации. между зондом и контактной площадкой, Режим измерения параметров испытуе- вследствие чего повышается точность . мой микросхемы заключается в том, и надежность контроля контактирования что к интегральной схеме подключа- при измерении электрических параметется блок измерения со схемой внеш- ров интегральных схем.

1102062

1102062

Составитель Н. Степанов

Техред М.Надь КорректорО. Тигор

Редактор Н. Бобкова

Тираж 783 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 4786/45

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4