Раствор для травления меди

Раствор для травления меди

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ, преимущественно печатных плат, содержащий хлорную медь (П), хлорное железо (Ш), хлористый калий и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью повышения качества травления печатных плат путем снижения подтравливания проводн1п :ов, он дополнительно содержит стержневой крепитель КОЗ и лигносульфонат при следующем соотношении компонентов, г/л; Хлорная медь (П) 150-350 Хлорное железо (Ш) 20-100 Хлористый калий 100-250 Соляная кислота40-50 Стержневой крепитель КОД 1,5-6 1-3 Лигносульфонат о S

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК.„Я0„„11 09476

3(5D С 23 Р 1/00; С 09 К 13/06//

Н 05 К 3/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbFHA (21) 3282599/22-02 (22) 24.02.81 (46) 23.08.84. Бюл. ¹ 31 (72) Ю.И.Наумов, Д.К.Юзефович, В.С.Епифанова, В.И.Кучеренко, В.Н.Флеров, А.M.Ïðàïoðîâ, В.П.Шустов и А.E.Ñû÷åâ (53) 62 1.794.42(088.8) (56) 1. "Обмен опытом в радиопромьппленности", 1975, № 4, с. 25.

2. РЖ "Коррозия и защита от коррозии", 1 970, ¹ 12, 12К167. (54)(57) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ, преимущественно печатных плат, содержащий хлорную медь (П), хлорное железо (Ш), хлористый калий и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью повышения качества травления печатных плат путем снижения подтравливания проводников, он дополнительно содержит стержневой крепитель КОЗ и лигносульфонат при следующем соотношении компонентов, г/л:

Хлорная медь (П) 150-350

Хлорное железо (Ш) 20 — 100

Хлористый калий 100-250

Соляная кислота 40-50

Стержневой крепитель КО.J 1,5-6

Лигносульфонат 1-3

Изобретение от:-тос .(Тс))

ХИМИЧ ЕСК01 О ТТ)аВЛ«ЕНИЯ!! М(, Г(". !io«j

B частности 1(ед(:.3 "-(мо)(ет !):. Гь

3 О ванО lip!1 пзготовле iv!) Jip а : l ( с медью в качестве с»ье! f;Q. э «.::т;:.((,i, применяю(цихся В разт(!)гчн),с(-а1»ио е .-".. ческих, электротехни (еских гичных приборах и устройствах.

Известны растворы хло-)нэ)(:

КОХ ОРЫЕ ПР)(МЕНЯЮТС т(, (. )Л "(3 ГС"1 ()В (" 1: .!, печатных г;лат; 1 ).О»)на

ЭТО ПрИ)ЗОдИт К НЕСТабИЛЬНОС гтн )IOCi", : .. са, больн)ому расходу реактивo, .:, по рям вытравленной меди, а )акл:» к з )а ч"тельным сбросам отработанны: ра воров.

ЗЛЕ«КТРОХИМИт(ЕСКаЯ РЕГ«ЗНСРB!!11

В ХОДЕ КОтОРОй На КаТОДЕ (1:(т)1ЕКа. г ... стравленная медь, р. на аноде;".=.Pci!".рируется Ок)(слитель, позволяет в з :! чительнott степени устранить э Ги пе достатки, Однако проведение опера,-и травления в peIM)(Jiå с электр(:(I.»(:J÷еской регенерацией pBcTBopQH хлорно г.-. железа экономически оправдано )(и)(( при глубоком исто(цении травильпo!

PBCTÂОPB., t(ÎÃÄB CI(OP QC Ь 11) т) ВЛЕ« и производительность ко..пл: c-" к(;i!

Наиболее близк):и к изобретени! по техни-!Вской су()!вост).(яг:(яе :(.я

РаСТВОР ". 2 ). СОГ(ЕР))(тт)Г«!И)1 Д)-!а («К-:,.,тс., (1

TPЛЯ ХЛО()НОЕ::((Е)IЕ =.C q . :. «, «( т

Н т(Ю МЕд з (т .)C Lq; . ::..,г(OO«oi 1, Iия(()

ЛЯНУIО КИС,Г)ОТ(ПР«тт) С,(! З! У(, .)B)(1))ен)(и ко; («п)опептoH,", I cC -„оН,0

)(0 ОЕ., 2((„C )! ii.

КС (ЦОЕ

««ОТЯ BT!i P»J!. Гвс);,(,)!!) т!

ЭЛЕ(3тр ОХИ «(И.т Е(К Ой,) Е ) Е т(Е-,).!",. i )

ХОД ПО ТОКУ В )(-) 3 З .".Iii )., !) =" C i . .Р

НЕ ПРЕВ(т)()(аЕТ ),,"! ., (:) (гт ОР.;;.-;c!; ц(co елet(òr) охи.«)ич: (-;; -э)) раство)Q)3 и с ill) B "; прoi . По,:i.

НОСТЬ ВС(1 )!i F ) тт))(! -(i!! J(«()т-.;, них пп (а! (!(!!. т:) (. !«г. ) .

) 1 !! « .:;! () (. т .(- ."»«п- =i- jjj !

" т 3 1 .! ! т " т, : (iii! i т тс. (т, тт ;

О:( т

i I (.

:О.) ., (ЗГ:З()т,!;=! 1;)1; . О(.-- : (. j re!)1! 1. (! б ()чи:; (.г! О Tiio . .1: " . „пр ) :. B;Cr,)O)(«т :„. ЕС);О)! Р: (. ):-.!;-«)1 т!. С(С— -. )=

).(! П ) ", Г !(«,, " т),)т! !

) ";. (); Г -т-:)":") ; i .!J;О- J il ) г.; )- О--,-К 1 Едос ГтlТI(B! ; !1ЗВЕ! .Тl(О(Г )

OTÍOCÅTCJt ГО, 1 ;. fii:1 ";!»1)Б1З !1-.

TPB Br(If f3B(()Toß i PO1«OC(т1) ();! . «1" . - )" ">)Х

ПЛат. КРОМЕ тОГф Зги.".. !)П("г«3(), ! !.! 1

У(.таНОВКаХ ЭГ(ЕКТГ«ОХ((М) 3--то;;;-, ра)(т("1 Н," тт!ав, я )(О«1-т"i.") »

ОСВДКОВ (JB 7!! а JIO(3(тс» Ка ОЦ ) "" приводит к усложнс пнв .()И<","т)-,:, (. регенерато)ЗП ((с)i i;;; н1п!) i!!()О(: г(, тельност)-: «р(-(), с .--: гравле i!;.110

;-,РС ВРO;«1-, цу —:, От;O-»Леп "-,ава;-; О 1 Хоа»»итra Д-,»1»ТЕЛЬС Оо,1 1 С . —,,а э с с В 1 С ., ЗО»сс »г ,л ос» —,1-;1»й паr —; 1,0-, »-, пя » рgÿ в 1»ен ttя 1»e-I i ч сгзвж»»е л го " ;o зпи еля КО " ли» "

НОС l» (»01»а а позвО:IHeT г»ОЛ Л»эт"; 1»0 "

Па»СТНЬ1Е Оса Ки 1 Е 1". На тнтаНО 0 i катоде - ð » элок-.pîõèìè÷åñêîé егене0 рации раствора при плОтнОсти ТО»са 2

25 /Лм - и температуре 20-lt0"С.

Действие 1 ако» -либо единой добавки г отдельности является недостаточньг»., Так, введенле в железомеднохлоридный раствор только стержневого крспителя приводит к образованию ко»п»акт»»ого осадка на титгновом катоде при температуре до 30 С и плотности тока 2 — 20 Л/дь»" - а лигносульфоната — при температуре до 40 С и пло-ности тока ?--10 Л/дм .

Нижние предепы количеств вводиьявс стерж»»евогo крепителя КОЭ (1,5 г/л) и лигносульфоната (1 г/л) ограничиваются видом осадка, когда образуется моногплтный катоцный осадок меди, а верхние пределы (6 и 3 г/л соответственно) — снижением скорости травления и ухудщением качества изВЕЛ »й

Верхние пределы вводлмых в раствор хло" íîé меди, хлорного железа и хлорного калия ограничены пределами растворимости указанных кампонентотв,, а нижние обусловлены снижен» еМ скоростей травления и производительностью операции. уь-.еньг»ение ко»»пентрации соляной кислоты;»елее 30 г/л приводит к .-.идоатообв".ço-::à"";;---- =-.. ю и ".Оявлению в ваствостать при .::-»ной пробоя фогорезиста и брака гечатнь-.:.. Плат. Увеличение со9476 ф

: ср»сан» я соляной к»»с.- оты бог»ес 60 1 /JI огра»н»чена летучестью . лорис гого водорода и загр".знением окружающей атмосферы.

П р 1» м е р 1. Готовят раствор состава, .г /:»-:

Мажорное железо (Уес(» *6Н О) 45

" »орная медь (Co C(: 2Н,, 0) 280

Со.1яная кислота л 2

X.- ористый калий 175

Стержневой крепитель КОЭ 1, 5

Л»»г нос льфОнат 3

Образец из меди в виде t;.Ititá»I QBx

42НЯ мм), закрепленнь»й в специальную оплавку, помещают в ячейку с раствором указанного состава объемом 250 мл таким образом, чтобы в соприкосновение с электролитом входила наружная цилиндрическая поверхность образца. В течение 10 мин при

30 С образец подвергают травлению, а затем по разности t»ec OI» образца до и после травления определяют скорость травления.

Далее раствор подвергают электролизу для регенерации прн различных плотностях тока. Оказалось, что

5О при плотности тока не более 16 Л/пм2 на титановом катоде образуется компактный осадок. Одновременно определяют выхоп по току по мели путем сравнения осажденного количества меди с. количеством меди, тес ретически максимально возможным.

Примеры 2 — 5 осу»»»ествляют аналогично примеру 1, меняя в растворе для травления меди количества вновь вводимых добавок — стержневого кре40 пителя КОЭ и лигносульфоната и их

c0oтношение. Данные сведены в табли1(09476

I ре ! о

1 о

1:Е I ц 1 (б

И

k(clI

v о

>и х (-» о х (-» (— (а1

М 1 л

d!

Е Х 1 иХ I о х йЕ о д а о ю а 1

Ж И 1

Ц

Р1

О! а

Е и и о а

Ь о

У о с> с1 и (3

Е» х

И

Ф Е» а <б х х о

>х я» о

Р

Э о а, х с>» а c, o () (: (>л

6 а о

Р

Е.» и

cd а! э Еъ>

»») C»>

o o! 6 3 o o х м

» )

I I

1 о

I о

I а

1 И

2 õz

I cd а л

Е cd I

I Г о х ! 1=, х

) )

I Х х 5

Е» Е ,а 1

v о к а х о х х е

О ) о î о о — — o

С4» C) С>

Е х

И

Q) о! х х о

)х Е! о

Kl (0) х и с

С>э а х о м )> 6 х о Л

1109476

Ц

1 !

»

Ф ф а

1 о л ъ

Х о

1» о

А

Р Б

Е» о

Х о

П с а о

И и о

C)

СЧ о х и х

1» 1

Е и

o a

o e сО л

c»!»вЂ”

Ц

Г» л

1 cd а о

Ф !

»

ccj а

Х о

Я

cd

Ю о

tf с ) о

Q) QJ с с

Р

cd

E о о

O с>

=! O о м о о c: о

k(Х 1

Ф1 1

1 — — -4

5 5 а Е л х

1 v Х о х

Ц 1 Х 1(о m к а о в а х х х

И I

Д t(а I lQ о

I Pi

v I и

1 1 х о х а! (б

1 х е

Ц Х

Р Е а л

1 E. cd! tf Х а л

СЧ С4

»

А

cQ х Е

1 и (У Е» о а и о ЭЯ о 2

l4 Г Д

Q) о Е а х х

О O N О 1 со - л

Г4