Фотошаблон для многослойной печатной платы

Патент 1112443

Авторы

Иллюстрации

Показать все

Реферат

ФОТОШАБЛОН ДЛЯ МНОГОСЛОЙНОЙ ПЕЧАТНОЙ ПЛАТЫ, содержащий подложку с рисунком из маскирующего материала, непрозрачного для экспонирующего излучения, и реперные знаки, расположенные по углам рабочего поля подложки , отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса изготовления фотошаблона, подложка выполнена многослойной, фрагменты рисунка расположены на отдельных слоях, а реперные знаки - в координатносопряженных точках каждого слоя, причем каждый реперный знак вьшопнен в виде четирех кругов одинакового диаметра, частично перекрьшакицих один другой с образованием крестообразной фигуры с острыми кромками.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

1141 Ш1 4 4 3

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, (21) 3539916/18-21 (22) 11. 01. 83 (46) 07.09.84. Бюл. № 33 (72) И.Г.Бородин, Ю,Л.Неелов и В.Т.Грищенко (53) 621.382.002 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР № 508974, кл. Н 05 К 3/06, 1976.

2. Авторское свидетельство СССР № 809432, кл. Н 01 (21/00, 1981 (прототип) . (54)(57) ФОТОШАБЛОН ДЛЯ МНОГОСЛОЙНОЙ

ПЕЧАТНОЙ ПЛАТЫ, содержащий подложку с рисунком из маскирующего материала, ХХ/Л74Ы7 е е вееввееееееээээ в эвеээеаевеаеа «ео

° еэев ееее

4444 ЕЕЕФ в ° эа ээээ аееэ ееео

° ее ээээ ээээ

° 44 евее ээээ

Фее

ЭФ

ФЕФ ээе

444 евэ

C ФЭ

Ф OO

OO эooe oooo coos

° эээ эаэ оооО

Фэээ oooo oooo

eeoc eeoc ээээ

OOOO Ф ° Св Ф ° Ô4 о е ° 4 oooo 44 ее

oe ° а ва ° à 4444

4 ° Ээ 4444 44ФЭ

4444 Эв O OOO

4 4 ° е аае э ееве авве

Е 4 ° OO ЕФ44 а е э ее ееФФ в ее ° ° авве

Э ° ° ÔÔ 444Ф

4444444Ф44ФЕФЕ

° ееевеФФФэааФ44

Ф 44

° 4 4

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ е е

° еее

4 ° е °

4Ф е

° е

Ф4

4Ф

Ф в

44 ° Е

Ф ° 44 ееее

44В4

OOOO е ° ее

° вва

44 аФ э эвэ э ° эа еаэ ° е з сю Н 01 L 21/312 Н 05 К 3/06

1 непрозрачного для экспонирующего излучения, и реперные знаки, расположенные по углам рабочего поля подложки, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса изготовления фотошаблона, подложка выполнена многослойной, фрагменты рисунка расположены на отдельных слоях, а реперные знаки вЂ” в координатносопряженных точках каждого слоя, причем каждый реперный знак выполнен в виде четырех кругов одинакового диаметра, частично перекрывающих один другой с образованием крестообразной фигуры с острыми кромками.

1 1124

Изобретение относится к техноло-. гии изготовления печатных плат, в частности к изготовлению их фотошаблонов.

Известен фотошаблон,. содержащий

5 подложку, на рабочей поверхности которой выполнены рисунок и реперные знаки для совмещения 1„.

Однако выполнение рисунка является наиболее трудоемкой операцией и длительность изготовления рисунка по времени пропорциональна степени его насыщенности, Наиболее близким по технической сущности к изобретению является фотошаблон, содержащий подложку, на рабочей поверхности которой нанесены рисунок из маскирующего материала, непрозрачного дпя экспонирующего излучения., и реперные знаки для контроля совмещения слоев, выполненные в виде координатно-сопряженных элементов i23.

Недостатком известного фотошаблона является то, что длительность иэ" готовления рисунка по времени пропорциональна степени его насыщенносЦелью изобретения является упрощение процесса изготовления фотошаблоЗО - а

Лоставленная цель достигается тем,, что в фотошаблоне для многослойной печатной платы, содержащем подложку с рисунком иэ маскирующего материала,,непрозрачного для экспонирующего излучения, и реперные знаки, расположенные но углам рабочего поля подложки, подложка выполнена многослойной, фрагменты рисунка расположены на отдельных слоях, а реперные знаки вЂ” в координатносопряженных точках каждого слоя, причем каждый реперный знак выполнен в виде четырех кругов одинакового диаметра, частично перекрывающих один другой с образованием крестообразной фигуры с острыми кромками.

Выполнение подложки фотошаблона многослойной и представление рисунка фрагментами, каждый из которых расположен на отдельном слое, упрощает процесс изготовления фотошаблона. Это достигается тем, что часть рисунка (отдельный фрагмент) выполняется, например, контактной печатью,>5 а другие его фрагменты выполняются одновременно на нескольких фотопостроителях. Выполнение реперного

43 2 знака в виде кругов одинакового диаметра, частично перекрывающих друг друга с образованием крестообразной фигуры с острыми кромками, обеспечивает высокую точность совмещения отдельных слоев фотошаблона.

На фиг. 1 приведен фотошаблон, общий вид, на фиг. 2 вЂ” то же, вид сбоку, на фиг. 3 вЂ” первый слой подложки фотошаблона с фрагментом рисунка на фиг. 4 вЂ” второй слой подложки фотошаблона с другим фрагментом рисунка, на фиг. 5 вЂ” поперечный разрез, общий вид.

Фотошаблон (фиг.1 и 2) содержит подложку, состояшую из слоев 1 и 2, совмещенных друг с другом. На слое

1 нанесен один из фрагментов 3 рисунка фотошаблона и реперные знаки

4 (фиг.3). Фрагмент 3 может представлять постоянную часть рисунка для группы фотошаблонов, например изображение площадок, используемых для металлизации. Реперные знаки 4 предназначены для совмещения слоев

1 и 2 подложки фотошаблона. На слое

2 (фиг.4) нанесен другой фрагмент

5 рисунка фотошаблона и реперные знаки 6, которые предназначены для совмещения слоя 2 со слоем 1. ФрагвЂ” мент 5 представляет топо:-::огию слоя печатной платы.

Фрагменты 3 и 5 в совокупности составляют рисунок фотошаблона, нанесенный маскирующим материалом, непрозрачным для экспонирующего излучения.

Реперные знаки 4 и 6 выполнены в виде координатно-сопряженных элементов с фрагментами 3 и 5 соответственно на 1 и 2 слое подложки фотошаблона.

Изображение реперного знака (фиг.4) выполнено в виде четырех кругов 7 одинакового диаметра, непрозрачных пля экспонирующего излучения.

Круги 7 частично перекрывают друг друга. Образованная прозрачная для экспонирующего излучения крестообра"-ная фигура 8 с острыми кромками обеспечивает качественный контроль совмещения слоев подложки фотошаблона.

Фотошаблон изготавливается следующим образом.

Рисунок фотошаблона разбивается на несколько фрагментов. В качестве первого из фрагментов выбирается часть рисунка, одинаковая для всех

1112443 фотошаблонов комплекта. Этот фрагмент изготавливается на фотопостроителе. Для изготовления первого слоя

1 (фиг.2) шаблона первый фрагмент 3 (фиг.3) рисунка и реперные знаки 4 переносятся на заготовку методом контактной фотопечати. Последующие слои 2 фотошаблона (фиг.2) изготавливаются на фотопостроителе. На них формируются оставшиеся фрагменты 5 рисунка (фиг.4) и реперные знаки

6. Затем все слои совмещаются друг с другом по реперным знакам (фиг.5).

При этом острые кромки фигуры 8 обеспечивают высокую точность наложения отдельных фрагментов рисунка..

Таким образом, использование предлагаемого фотошаблона позволяет существенно сократить время, затрачиваемое на его изготовление., повысить качество рисунка за счет снижения вероятности сбоя фото-!

О построителя, а также позволяет оперативно направлять схемные ошибки, выявляемые при эксплуатации радио° электронной аппаратуры.

Xf2J4 ф э а аввввэвв а ааа

Фаад э э еэ

В ФЭЭ

OOOO ээээ

OOOO

Ф ЭЭЭ

ВВФФ е ВФФ

ЭЭЭЭ ээээ

ЭЭЭЭ

O ЭРВ

ФФЕЭ э ЭВФ э эве

OOOO э ЕФФ

Ф ВЭЕ

Ээээ

OOOO

ЭЭЭЭ

Ф ВФЭ

Э ЭЭЭ еееэ

ФФФ Ф

OOOO

Фее®

Э э э*

Ф ЭЭЭ

4ÔÔÔ

Е ФЭФ

Вэее э ээээ вэее е Феэееееееее

Ф ЭФФЕФЕЭЭФФ

Э вва еевэ

° ЭВ В

ЭВВВ

OOO O

ЕВВ В

В ° O В

ВЭВ Э ээээ

ЭЭФВ еээ в

Ээ о в

OOOO

ЭЭЭЭ ввв э

ЭЭЭ В

ЭВФ В

ЭЭФ Э эээ е

ЭЭЭЭ эвее

° ее э эее е

ФВВЭ

Эаев

OOOO

ЭЭЭЭ

ВВВ ° В

Э Ээе ееее

° Вээ ээээ

Фэ ° э

В ФВЭ

ВЕВФ

Ээээ

OO OO

OOOO ееэе

ВФЭ °

Фвее

OOOO

Вэфе

Фее °

ЭФЭ® ееее

OO OO

OOOO

Ф ЭФ®

ФЕФЭ

Ф ФФФ

Ф ° ЭФ

OOOO

ФЭФФ

Е Еее

OOOO ееее

Ф ФЭФ

O ° OO

O4OÅ еееее ееееэ

ВВВВЭВ ааааа

Ф Фее

Эе ° O

° Фее

OOOO

Фее ° ээээ

° ° åo

ФФЭФ еэеэ

ФФФ4 ееее

Фее ° е ее®

OOOO

Ф ФФФ

OOOO

ЭЭЭЭ э еэе

В ВФФ е еее

4OOO

Ф Фее

Ф Ф ФФ

ФФФ®

4ФФЭ

444®

° Фее

° ФФФ

OOOO

ЭЭЭЭ

Ээээ

ФВЭФ ЭЭЭЭ

ФФЭЭФФ

1112443

Составитель В.Рубцов

Техред Ж.Кастелевич

Корректор М.Максимишинец

Редактор Г.Волкова

Филиал ППП Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, Заказ 6462/38 Тираж 682 Подпис ное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5