Устройство для обработки фасок на полупроводниковых пластинах

Устройство для обработки фасок на полупроводниковых пластинах

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ФАСОК НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИНАХ, содержащее смонтированные на станине шпиндель изделия с держателем, шпиндель инструмента с приводом его вращения и механизм относительного перемещения инструмента и изделия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки путем самоустановки изделия относительно инструмента вдоль оси, шпиндель изделия выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемещения без относительного про ворота. i (Л У

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК эш 24 В

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3346611/25-08 (22) 13.! 0.81 (46) 23.09.84. Бюл. № 35 (?2) Б. Н. Корниенко, Г. И. Денисов, К. В. Атаманчук, И. И. Филимонов и В. Н. Корниенко (53) 621.923.4 (088.8) (56) 1. Патент США № 4031667, кл. кл. В 24 В 9/00, опублик. 1977 (прототип) (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ

ФАСОК НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

„.,$0.„ШЯЩ А

ПЛАСТИНАХ, содержащее смонтированные на станине шпиндель изделия с держателем, шпиндель инструмента с приводом его вращения и механизм относительного перемещения инструмента и изделия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки путем самоустановки иэделия относительно инструмента вдоль оси, шпиндель изделия выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемешення беэ относительного про ворота.

1114528 .

Составитель С. Ухорский

Редактор Н. Лазаренко Техред И. Верес Корректор М. Демчик

Заказ 6391)9 Тираж 736 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам Изобретений и открытий! 13035, Москва, Ж вЂ” 35. Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретенне относится к автоматизация и механиэацнн технологических процессов обработки деталей, в частности к оборудованню для снятия фасок с периферии полуп ров одн н ковы х пл асти н.

Известно устройство для обработки перифернн полупроводниковых пластин, содержа щее вращающийся держатель изделия,шпнндель с инструментом Ч-образного профиля н приводом его вращения, а также механнзм для подвода н отвода инструмента 11), Недостатком устройства является некачественная обработка периферии полупроводниковых пластин (разлнчная форма н размеры фасок) нз-за сложности точной установки пластины относительно V-образного паза, т. е. несовпадения осн симметрии пластины н инструмента.

Целью нэобретення является повышение качества обработки периферии пластин путем самоустановкн иэделия относительно инструмента вдоль осн.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для обработки фасок на полупроводннковых пластинах, содержащем смонтированные на станине шпиндель изделия с держателем, шпиндель ннструмента с приводом его вращения н механизмом относительного перемещения инструмента н изделий, шпиндель изделия выполнен полым, а держатель установлен в нем с возможностью свободного осевого перемещения без относительного проворота.

На чертеже показана принципиальная схема устройства.

На подшнпннковых опорах 1 установлен зращающнйся полый вал 2 с фланцем на

)дном конце н шкивом 3 на другом.. Сквозь ал 2 проходит держатель 4 пластин, имев ий на одном конце фланец, который служит толнком для закрепления обрабатываемых

11ластнн, а на другом — узел подвода ва куума 5. Столик держателя 4 связан с флам цем вала 2 прн помощи штифтов, нсключаю щнх нх относнтельяый проворот, но не препятствующнх осевому смещению держателя

4. На подшнпннковых опорах 6 смонтнрован шпиндель 7 с режущим инструментом 8 н шкивом 9.

Кроме этого, устройство содержит ступен чатый сегмент 10 для ориентации пластины относительно центра столика, приводные двнгателн 11 н 12 н упругий элемент 13 вращения иэделия 14 н шпинделя 7 параллельны н располагаются в горизонтальной, плоскости с целью исключения действия масс конструкции на осевое перемещение держателя 4.

Устройство работает следующим образом.

Полый вал 2 с держателем 4 перемещаются влево. Пластина 14 ориентируется с помощью ступенчатого сегмента 10, а прн включеннн вакуума закрепляется на столике держателя 4. Включаются приводы 11 н 12 вращення держателя н инструмента. С помощью упругого элемента 13 пластина 14 прижимается. к режущему инструменту 8.

Разлнчне толшнны пластин 14 автоматнческн компенсируется за счет самоустановкн относительно осн паза осевым смещением держателя 4 под действием снл резания до совпадения плоскости симметрии ннструмен30 та н пластины.

По окончаннн обработки держатель 4 с пластиной 14 отводятся в исходное положение, вакуум отключается н пластина сннмается.

Устройство обеспечивает качественную обработку полупроводниковых пластин за счет самоустановкн нх относительно осн прорнля инструмента