Инструментальная головка
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ИНСТРУМЕНТАЛЬНАЯ ГОЛОВКА по авт. св. № 606731, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества отрезаемых пластин, она снабжена прижимным кольцом и имеет расположенную со стороны алмазного круга канавку в нажимном кольце, при этом прижимное кольцо установлено в канавке нажимного кольца с возможностью осевого его перемещения при прижатии алмазного круга к базирующему фланцу. HJ сл 05
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН,.SU„,1114561
3(5D В 28 D 5/02; В 28 D 1/12
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
H А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (61) 60673! (21 ) 3376598/29 -33 (22) 05.01.82 (46) 23.09.84. Бюл. № 35 (72) В. Т. Муцкий и В. В. Агафонов (71) Брянский ордена «Знак Почета» институт транспортного машиностроения (53) 621.937.1 (088.8) (56) l. Авторское свидетельство СССР № 606731, кл. В 28 D 5/02, 1975 (прототип). (54) (57) ИНСТРУМЕНТАЛЬНАЯ ГОЛОВКА по авт. св. № 606731, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества отрезаемых пластин, она снабжена прижимным кольцом и имеет расположенную со стороны алмазного круга канавку в нажимном кольце, при этом прижимное кольцо установлено в канавке нажимного кольца с возможностью осевого его перемещения при прижатии алмазного круга к базирующему фланцу.
ll!.4561
Составитель Е. Булеков
Техред И. Верес Корректор Г. Гирияк
Тираж 57! Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4
РедакторН. Пушиеикова
Зак 656! /! !
Изобретение относится к механической обработке монокристаллов, преимущественНо полупроводниковых, а более конкретно к устройствам для установки и натяжения алмазных отрезных кругов с внутренней режущей кромкой.
l1o основному авт. св. № 606731 известна инструментальная головка, содержащая корпус с кольцевой канавкой, нажимное кольцо с установленным на нем кольцевым упругим элементом и алмазный круг, закрейЖннйй между корпусом и нажимным кольцом, . упругий элемент выполнен с наружным криволинейным контуром, очерченным по кривой, образованной наложением на. окружность косинусоиды четырехкра Ъого значения текущего угла (1).
Однако известная конструкция не позволяет добиться высокого качества отрезаемых пластин из-за неплоскостности алмазного круга, упругие свойства которого неодинаковы в различных направлениях.
Цель изобретения — повышение качества отрезаемых пластин.
Поставленная цель достигается тем, что инструментальная головка снабжена прижимным кольцом и имеет расположенную со стороны алмазного круга канавку в нажимном кольце, при этом прижимное кольцо установлено в канавке нажимного кольца с возможностью осевого его перемещения при прижатии алмазного круга к базируюшему фланцу.
На чертеже изображена инструментальголовка, и род ол ьн ы и разрез.
Инструментальная головка содержит корпус 1 с кольцевой канавкой 2 и базирующим фланцем 3, нажимное кольцо 4 с установленным на нем кольцевым упругим элементом 5, нано;шенным сжатым газом или жидкостью под давлением, алм азный круг
6, закрепленный между корпусом 1 и нажимным кольцом 4 Il(>cf)t3cTBoM винтов 7.
Эффективная поверхность упругого элемента 5 представляет собой кольцо, внутренний контур которого очерчен окружностью, а наружный — кривой, образованной наложением на окружность косинусоиды четырехкратного значения текущего угла.
Инструментальная головка снабжена прижимным кольцом 8 и имеет расположенную со стороны алмазного круга 6 канавку 9 в нажимном кольце 4. При этом прижимное кольцо 8 установлено в канавке 9 нажимного кольца 4 с возможностью осевого его перемещения при прижатии алмазного круга 6 с помощью винтов 10 к базирующему фланцу 3.
И14струментальная головка работает следующим образом, Алмазный круг 6 устанавливают между корпусом и нажимным кольцом 4 и закрепляют по периферии с помощью винтов
7. Натяжение круга осуществляют нагне20 танием в полость упругого элемента 5 газа или жидкости под давлением. При этом в алмазном круге 6 в месте его контактирования с, радиусной поверхностью базирующего фланца 3 возникает сложное напряженное состояние от суммарного действия растягивающей нагрузки и изгибающего момента. Это приводит к прогибу круга 6 в области базирующего фланца 3, причем вследствие анизотропии материала круга вел ич и на прогиба вдоль окружности бази30 рующего фланца 3 неодинакова. Для устранения прогиба круга прижимное кольцо
8 с помощью винтов 10 перемещают в осевом направлении до полного прижатия плоскости круга 6 к поверхности базирующего фланца 3, что приводит к выравниванию плоскости алмазного круга.
Применение предлагаемой инструментальной головки позволяет уменьшить прогиб и отклонение от плоскости круга при его натяжении, что способствует улучшению качества отрезаемых пластин.