Испаритель многокомпонентных материалов

Испаритель многокомпонентных материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ИСПАРИТЕЛЬ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий корпус с выходным отверстием, перекрытым заслонкой, отличающийся тем, что с целью упрощения конструкции испарителя, заслонка- . выполнена в виде пробки из материала наиболее тугоплавкой компоненты, установленной в выходном отверстии.

СОЮЗ QOBETCHHX .

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

3(50 С 23 С 13 12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ е

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 348б264/24 — 21. (22) 08.07.82 (46) . 15.10.84. Бюл. У 38 (72) С. П. Олеськив и Б. С. Олеськив (53) б21;793.14(088.8) (36) 1. Данилин Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. M., "Энергия", 1972, с. 150, рис. 5 — IГ (прототип).

„„QU„„ 1118713 А (54) (57) ИСПАРИТЕЛЬ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий корпус с выходным отверстием, перекрытым заслонкой, отличающийся тем, что с целью упрощения конструкции испарителя; заслонка.. выполнена в виде пробки из материала наиболее тугоплавкой компоненты, установленной в выходном отверстии.

111871

Составитель Н. Серебрянникова

Texpeg Л.Коцюбняк Корректор О. Тигор !

Редактор В. ВЬвтун

Заказ 7381/21 тр 899

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открьпий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4(5

Подписное

Филиал- ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано, для получения многокомпонентных покрьгп4.

Известен испаритель многокомпонентных материалов, содержащий корпус с выходным отверстием, перекрытым заслонкой (13.

Недостатком известного испарителя является сложность конструкции, так как для герметичного закрывания выходного отверстия требуется сложный механизм с притертыми 10 сопрягаемыми поверхностями корпуса испарителя и заслонки, а для автоматизации процесса выпуска паров из испарителя — специальная электронная следящая система.

Бель изобретения — упрошеиие конструкции 15 испарителя.

Поставленная цель достигается тем, что в испарителе многокомпонентных материалов, содержашем корпус с выходным отверстием, перекрьпым заслонкой, последняя выполнена в виде пробки из материала наиболее тугоплавкой компоненты, установленной в выходном отверстии.

Испарнтель позволяет получить воспроизводимые пленки сложного состава за счет 25

"самоавтоматизации" процесса выпуска пара, в состав которого входят все компоненты исходного вешества, так как выходное отверстие открывается только при расплавлении наиболее тугоплавкой компоненты.

На чертеже показан предлагаемый испаритель, обший вид.

Испаритель состоит из корпуса 1, разделенного диафрагмой 2 на емкость 3 для испаряемого материала и камеру смешивания 4, на торец которой одета заслонка 5 с выход35 ным отверстием 6. Для разогрева испарителя джоулевым теплом за счет пропускания тока по корпусу используется токоподводы 7.

Выходное отверстие закрывается пробкой 8, выполненной иэ наиболее тугоплавкой компоненты испаряемого многокомпонентного материала.

Исларитель работает следующим образом.

Навеску для испарений приготовляют из механической смеси А" В С ...Х, взятых в соответствующих соотношениях. Для загрузки испаряемой навески корпус 1 испарителя выполнен разъемным, что позволяет отделить камеру смешивания 4 от емкости 3 йля испаряемого материала и быстро загрузить последнюю. (Выходное отверстие 6 закрывают пробкой 8 из наиболее тугонлавкой компо- ненты смеси (вес пробки, учитывается при приготовлении навески). При достижении определенюго разрежения в вакуумной камере на испаритель подают.напряжение такой величины, которое способно обеспечить в коротком интервале времени нагрев испарителя на 420-450 К выше температуры испарения наиболее тугоппавкой компоненты смеси

А" В" С ...Х . Пары сквозь отверстия диафрагмы 2 поступают в камеру смешивания 4, где осуществляется процесс синтеза. Отверстия в диафрагме выбираются иэ условия исключения попадания неиспарившнхся частиц из нижней части испарителя в верхнюю. Выпуск синтезированного пара из камеры смешивания происходит автоматически при испарении проб ки из наиболее тутоплавкой компоненты, при этом пары испаряющейся пробки участвуютв формировании покрытия..

Пример . При испарении механической смеси А В (PL „< Sn Se), отлича6 ющихся температурой испарения (PL = 600 К

Sn = 50 К Se 480 К), в качестве пробки используется PL. При Х вЂ” 0,5 полный вес испаряемой навески составляет 1,308 r (PL = 0,747 г, Зп = 0,166 r, Se = 0,395 r).

Все пробки Р1 0,2 — 0,6 мг. Для полного синтеза, испарения пробки и выпуска паров испаритель нагревают до 1020 — 1050 К

Изобретение позволит простыми средствами получать качественные многокомпонентные покрытия.