Способ изготовления многослойных интерференционных систем

Способ изготовления многослойных интерференционных систем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛ (ЙНЫХ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ СИСТЕМ путем термического осаждения в вакууме м&териала с высоким показателем преломления на материал с низким показателем преломления, отли ча.ющийся тем, что, с целью расширения спектрального диапазона и -повьшения надежности, изготавливают двухслойные заготовки путем осаждения на пленку из полиэтилена материала с высоким показателем преломления, формируют из заготовок стопу, в которой материал с шлсоким показателем преломления одной заготовки контактирует с попизтиленовым слоем другЫ заготовки, и сваривают стопу в вакууме {1-5 ) при ЮО-ПО С под давлением 1030 кг/см.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Т% га

99 Э,мкн (21) 2914210/18-21

:(22) 11.04.80 (46) 07.11 .84. Бюл. У 41 (72) В.Г.Верещагин и А.Д.Замковец (71) Ордена Трудового Красного Знамени институт физики АН Белорусской

ССР (53) 621.384.3(088. 8) (56) 1. Патент Великобритании

9 1484284, кл. G 05 В 5/28, опублик. 1977.

2. Авторское свидетельство СССР

N 461398, кл. G 02 В 5/28, опублик. 1975 (прототип). (54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНОГО-

СЛОИНЫХ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ СИСТЕМ путем термического осаждения в ва, Я0„„1122751 A

A(59 С 23 С 13 00 G 02 В 5/28 кууме материала с высоким показателем преломления на материал с низким показателем преломления, отличающийся тем, что, с целью расширения спектрапьного диапазона и -повышения надежности, изготавливают двухслойные заготовки путем осаждения на пленку из полиэтилена материала с высоким показателем преломления, формируют из заготовок стопу, в которой материап с высоким показателем преломления одной заготовки контактирует с полиэтиленовым слоем другой заготовки, и сваривают стопу в вакууме (1 5 1 1О торр при 100-130 С под давлением 10- В

30 кг/см

1122751

ВННИПИ Заказ 8105/26

Тираж 899 Подписное

Фкииал ШШ "Патеат" ° г.ушгород, уа.Проективя, 4

Изобретение относится к инфракрасной технике и может использоваться при изготовлении многослой ных интерференционных систем (спектроделителей, зеркал, фильтров и других многослойных оптических покрытий ) для далекой инфракрасной области спектра 50-500 мкм, а также для создания спектральной аппаратуры для астрофизических и косми- !0 ческих исследований.

Известен способ синтеза интерференционных систем путем последовательного закрепления на подложке (например, склеиванием ) тонких слоев материалов с требуемыми коэффициентами преломления и дальнейшей механической обработкой их до нужной толщины (например, шлифованием ) (1).

Недостатком этого способа является трудность реализации его для ,области спектра менее 400 мкм, так как при этом необходима полировка пластин геометрической толщины порядка нескольких десятков микрометров 25

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ изготовления иНтерференционных систем, включающий последовательное вакуумно-термическое осаждение на подложку в вакууме оптического материала с высоким показателем преломления на материал с низким показателем преломления.

Подложка служит для удержания многокомпонентной интерференционной сис- 5 темы и выполняется из механически прочного материала (германий, кремний, кварц ), прозрачного в рабочем спектральном диапазоне. Геометричес.кая толщина подложки при этом намно- 40

ro больше геометрической толщины напыленных слоев (23.

Недостатком известного способа является то, что с его помощью невозможно получить качественные многослойные интерференционные системы в широком спектральном диаПазоне, поскольку уже в области спектра 15-25 мкм наблюдается шелушение и отслаивание слоев. 50

Кроме того, слои, полученные вакуумно-термическим осаждением, обладают пористостью и после заполнения пор атмосферной влагой интерференционные системы, из готовленные известным способом, изменяют свои характеристики.

Целью изобретения является расширение спектрального диапазона н повышение надежности интерференционных систем.

Указанная цель достигается тем, что согласно способу изготовления многослойных интерференционных систем путем термического осаждения в вакууме материала с высоким показателем преломления на материал с низким показателем преломления изготавливают двухслойные заго— товки путем осаждения на пленку из полиэтилена материала с высоким показателем преломления, формируют из заготовок стопу, в которой материал с высоким показателем преломления одной заготовки контактирует с полиэтиленовым слоем другой заготовки, и сваривают стопу в вакууме (1-5 )" 10 торр при 100-130 С под давлением 10-30 кг/см2.

Способ осуществляют следующим образом.

При получении интерференционной системы с минимумом пропускания при длине волны 60 мкм на полиэтиленовую пленку оптической толщины

15 мкм (геометриче ская толщина—

l0 мкм} в вакуумной установке ме— тодом резистивного испарения осаждался четвертьволновой слой ЫР

Затем из подготовленной таким образом двухслойной заготовки нарезались заготовки диаметром 30 мм, укладывались в. стопу по 7 шт и сваривались в вакууме 2 - !О 2 торр при

100 С под давлением 30 кг/см .

На чертеже показана спектральная характеристика полученной предлагаемым способом интерференционной системы.

Использование в способе полиэти-. леновой пленки позволяет получать слои большой толщины, необходимые для интерференционных систем, работающих в спектральной области свыше 50 мкм при одновременном обеспечении механической прочности и влагостойкости.