Способ получения термостойких полупроводниковых пленок двуокиси олова на поверхности керамики и плавленого кварца

Способ получения термостойких полупроводниковых пленок двуокиси олова на поверхности керамики и плавленого кварца

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

М 112622

Класс 2lh, 1

СССР

4 !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ к лвто ском свиДКткльСТВ

Б. П. Крыжановский и А. Я. Кузнецов

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТЕРМОСТОЙКИХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

ПЛЕНОК ДВУОКИСИ ОЛОВА НА ПОВЕРХНОСТИ КЕРАМИКИ

И ПЛАВЛЕНОГО КВАРЦА

Заявлена 12 июля 1Я57 г. яв ¹ 580431 в Комитет во целим изобретений и открытий врн Совете Министров (:ССР пользования их в качестве высокотемпературных нагревательных элементов и радиотехнических сопротивлений, устойчивых при температурах до 800 — 850 .

Способы получения термостойких полупроводниковых пленок двуокиси олова на поверхности керамики и плавленого кварца в интервале температур 300 †3 известны.

Однако пленки, изготовленные по этим способам, при нагреве выше указанной температуры теряют свои полупроводниковые свойства.

Описываемый способ отличается от известных тем, что в структуру пленки двуокиси олова вводят примесь ионов сурьмы и затем термически обрабатывают изделия с пленкой при температурах 950 — 1000! в течение 20 — 50 мин.

Введение примеси сурьмы в пленку осуществляют путем доба вления в раствор для пульверизации 07

3 до 10% (по отношению к весу четыреххлористого олова) хлористой сурьмы. В случае нанесения пленок путем обработки изделия в парах двуххлористого олова, к последнему добавляется от 5 до 25, 0 хлористой сурьмы.

Указанный способ получения пленок позволяет расширить предел исПредмет изобретения

1. Способ получения термостойких полупроводниковых пленок двуокиси олова на поверхности керамики и плавленого кварца, о т л и ч а ю щ и йся тем, что, с целью сохранения электрических свойств полупроводниковых пленок при температурах до

800 — 850", в структуру пленки двуокиси олова вводят примесь ионов сурьмы и подвергают изделия с нанесенной пленкой термообработке при температурах 950 †10 в течение 20 — 50 мин.

2. Способ по п. 1, отличающийс я тем, что, в случае нанесения пленки пульверизацией, в раствор четыреххлористого олова добавляют 3—

10% хлористой сурьмы, а при осаждении пленки из паров эту же соль в количестве 5 — 25% вводят в исходное двуххлористое олово.