Устройство для получения фольгированного протектора

Устройство для получения фольгированного протектора

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ COBKTCHHX .ШЛВНВ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И AS ÉÞÌÌ СВИ1%ТЮЪСТВЪ

ГОСУДЮ ОТ894ИЫЙ НОМИ"%Т СССР

IWÌм ЩВВ В IVII ° I (21) 3467862/24-21 (22) 15.04.82 (46) 30 .11.84. Вюл. В 44

{72) В,Ф.Шевакин, А.С.Бай, И.Г.Иалинина, Ю.И.Панов, С.И.Прокопук, С.Г.Шагина с и А.А.Педос (71) Государственный, научно-исследовательский, проектный и конструктор- . ский институт сплавов и обработки цветных металлов

1 (53) 539.23(088.8) (56) 1. Патент США В 3183563, кл. С 23 С 13!08, 1963.

2. Авторское свидетельство СССР

Ф 842110, кл. С 23 С 13/08, 1979 (прототип). (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ,ФОЛЬГИРОВАННОГО ПРОТЕКТОРА, содержащее вакуумную камеру с расположенны-i ми в ней термостатированным бараба-., ном, выполненным с возможностью вращения, испарителями, механизмом,SU.„126 А профилирования поверхности фольги, намоточный гаспель и направляющие ролики, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения адгезии фольги к диэлектрику, механизм профилирования поверхности фольги выполнен в виде съемного бандажа, надетого на термостатированный барабан, причем поверхность бандажа со стороны испарителей выполнена с мнкрорельефом со следующими параметрами:

R =0,5 — 2 мкм; m=0,7 — 3 мкм "; п0 =0,5 - 2 мкм, где Ro — среднее арифметическое отношение профиля от средней линии; ш — число максимумом на единичном отрезке;

nä — число пересечений с нулевым уровнем.

2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что съемный бандаж выполнен из медной электролитической фольги.

1126628 3

К =0,5 — 2 мкм; m=0,7 — 3 мкм у

n =0 5 - 2 мкй ", где К@ — среднее арифметическое от- ношение профиля от средней

5 линии; ш — число максимумов на единнчном отрезке; .и - число пересечений с нулевым

9 ° я уровнем.

10 Кроме того, съемный бандаж выполнен из медной электролитической 4ольги.

В такой конструкции устройства обеспечивается практически полное

И без искажений копирование фольгой эталонного мнкрорелье4а поверхности, и на которой цроисходит ее образование. с- Результатом этого является повышение адгезии фольги к диэлектрику при их последующем соединении.

На фиг. 1 показано устройство т- с механизмом профилирования поверхности фольги; на фиг. 2 — устройство с механизмом про4илирования и вто» рым термостатированным барабаном в- для нанесения подслоя. ь- Устройство содержит вакуумную камеру 1, вращающийся термостатироМ ванный барабан 2, механизм профили- .. рования 4ольги, выполненный в виде съемного бандажа 3 с эталонным микрорельефом рабочей поверхности (К,„=

=0,5 - 2 мкм; m 0,7 - 3 мкм ";

ÇÇ п 0,5 - 2 мкм "). Под барабаном расположены последовательно испаритель 4 материала фольги, испаритель 5 подслоя и иснаритель 6 протектора.

Изобретение относится к металлур гии, в частности к конструированию устройств для получения фольгирован ного протектора, предназйаченного для изготовления 4ольгированного ди электрика, и может быть использовано в радиоэлектронике и вычислитель ной технике.

Известно устройство для нолучени фольгнрованных материалов, содержащее вакуумную камеру, в которой раз мещен термостатированяый барабан, выполненный с возможностью вращения испаритель, направляющие ролики. Ра моточный гаспель гибкой подложки и намоточный гаспель фольги на гибкой подложке размещены вне вакуумно камеры. Ввод гибкой подложки в каме ру и ее вывод с фольгой на поверхно ти осуществляется через систему шлю зов Г1 ).

Однако такое устройство не позво ляет получить 4ольгированный диэлек .рик с достаточн6 высокой адгезией слоев, так как имеется контакт поверхности диэлектрика с атмосферой.

Наиболее близким к изобретению я ляется устройство для получения 4ол гированного диэлектрика, содержащее вакуумную камеру с расположенными в ней термостатированным барабаном, выполненным с возможностью вращения испарителями, механизмом профилирования поверхности фольги, намоточныи гаспель и направляющие ролики $2).

Однако это устройство не обеспечивает достаточной адгезии фольги при последующем ее соединении с диэлектриком. Величина силы сцепления при этом не превышает 80-100 г мм-", 40 например, для медной фольги.

Целью изобретения является повышение адгезии фольги к диэлектрику.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для получения фоль» 45 гированного протектора, содержащем вакуумную камеру с расположенными в ней термостатированным барабаном, выполненным с возможностью вращения, испарителями, механизмом про- 5О филирования поверхности фольги, намоточный гаспель и направляющие ролики, механизм профилирования поверхности фольги выполнен в виде съемного бандажа, надетого на термостатированный -барабан, причем поверхность бандажа со стороны испарителей; выполнена с микрорельефом со следую- щими параметрами:

В камере также расположены узел отделения готовой продукции 7, направляющие ролики 8 и намоточный гаспель готовой продукции 9. Испарители разделены экранами 10.

Устройство может быть также снабжено вторым термостатированным бара- . баном 11, что повышает надежность работЫ устройства.

Устройство работает следующим образом.

По достижении в камере 1 заданного вакуума и температуры термостатированного барабана 2 на поверхность бандажа, который опоясывает барабан, при непрерывном вращении последовательно осаждают из испарителей 4-6 материал фольги, подслоя и протектора соответственно. б28 4. например ротапринтной, толщиной

100 мкм.

Фольгированный протектор, жолученный на предложенном устройстве, соединяют с диэлектриком "СТАП" и определяют величину силы сцепления между

НИИИе

Сравнительные данные приведены .в таблице.

Устройство еличина силы сцепения, г мм""

Известное

80-100

Предлагаемое вариант с 1 барабаном i 200-220 с 2 барабанами 150-170

Составитель Н.Серебрянникова

Редактор Т.Веселова Техред,М.Кузьма К орректор: А.Ильин

Заказ 8б45/21 Тираж 899

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий.113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 ал ШН Патент, r.Óæãîðoä-, ул.Проектная, 4

II !

3 1126

Готовое изделие непрерывно отделяется узлом 7 от барабана 2 и с по-, мощью ролика 8 сматывается на гаспель 9.

Работа в устройстве с двуми термостатированными барабанами осуществляется следующим образом.

По достижении в камере 1 заданного вакуума и температуры термостатированных барабанов 2 и 11 на поверх- f0 ность бандажа 3, опоясывающего бара баи 2, при иеирерывиом его вращении, осаждают из исаарителя б материал протектора, который непрерывно затем отделяется узлом 7 и с помощью роли- f5 ков 8 передается иа термостатирован ный барабан 11 таким образом, что на его поверхность, скопировавшую эталонный михрорельеф поверхности бандажа, наносится последовательно из ис- 20 парителей 5 подслой и из 4 — материал фольги. Готовое изделие сматывается на гаспель 9.

Устройство использовалось при получении фольгированного протектора,И в котором материалом фольги толщиной

5 мкм служила медь, материалом протектора - медь толщиной 50 мкм, в ка.честве подслоя использовали хром.

Бандаж с эталонным микрорельефом поверхности выполняли .из медой электролитической фольги толщиной 35 мкм или алюминиевой шероховатой фольги, Как видно иэ таблицы, адгезия фольги к диэлектрику, полученная на предложенном устройстве, в 1,5-2,5 раза выие, чем на известном.

Применение фольгированного диэлект-, рика с такой адгеэией позволяет создать материал для печатных схем с тонкими линиями проводки (О, 1О, 15 мм), который используется для печатньи плат ЭВМ.