Стекло
Иллюстрации
Реферат
СТЕКЛО, содержащее SiO, BgOj, BaO, AljOj и ZnO, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повьшения химической устойчивости к воде и снижения диэлектрических потерь, оно дополнительно содержит TeQj при следующем соотношении компонентов , мае. %: / SiOj 21-23,5 20-25 18-22 БаО 8-10 ZnO 20-25 1,5-5 ТёОг S W с
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН
09) 01) Эаю С 03 C. 3/10 . ъ
ga
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3614290/29-33 (22) 06 ° 07.83 (46) 07.12 .84. Бюл. Р 45 (72) Н.M.Áîáêoâà, Г.Е.Рачковская, Л.Г.Шишканова, С.А.Янковская
Ч и Е.К.Дулевич (71) Белорусский ордена Трудового
Красного Знамени технологический институт им.С.M.Kèðîâà (53) 666.112.6(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР
Ф 885164, кл. С 03 С 3/10, 1981.
2. Авторское свидетельство СССР по заявке Р 3421552/29-33, кл. С 03 С 3/ 10, 1982. (54)(57) СТЕКЛО, содержащее SXO>, ВгО, ВаО, А1гОз и ZnO, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения химической устойчивости к воде и снижения диэлектрических потерь, оно дополнительно содержит
ТеО> при следующем соотношении компонентов, - мас.Ж:
Si0г 21 23 5
Вгаз
ВаО 18-22
АЕ,О, 8-10
Zn0 20-25
ТеОг . 1 5-5
1127856
Изобрртение относится к составам стекол, применяемым в микроэлектронике в качестве, например, спаев с керамикой 22ХС для создания ИДМструктур и толстопленочных.резисторов, Известно стекло, содержащее мас.%:
Si0< 24-41 6; А гО 2,0-3 0; ВаО
26,0-31,0; СаО 0,1-4,0; В О 7,08,4; В О 16,2-26,0, ЕпО 0,1-6,0 11). 1О
Недостатками стекла являются низкая химическая устойчивость (Й гидролитический класс), ограничивающая
его использование в атмосфере повышенной влажности, и повышенный тем- 15 пературный. коэффициент линейного расширения.
Наиболее близким к предлагаемому стеклу по технической сущности и достигаемому результату является стек- 2О ло следующего состава, мас.%: SiO
30-35; В20 18-23; ВаО 23-28; А120
4-6; Zn0 15-17 !23.
Недостатками известного стекла являются довольно низкая химическая 25 устойчивость к воде (Ш гидролитический класс, % потери массы равен О, 18-0,22) и относительно высокие диэлектрические потери (8_#_0 4=15-25) .
Цель изобретения — повышение химической устойчивости к воде и снижение диэлектрических потерь. . Указанная цель достигается тем, что стекло, содержащее Si02, В Оз, ВаО, А120 и ZnO, дополнительно содержит ТеО при следующем соотношег нии компонентов, мас.%:.
8 02 21-23,5
В О 20-2 5
Применение указанного стекла в- народном хозяйстве позволяет расширить область использования электронных приборов с МДМ-структурой в атмосфере, насыщенной влагой, обеспеивает надежность и долговечность спаиваемых узлов за счет согласованАО . ности ТКЛР стекла и керамики.
Состав (2 (3
22,5
21,0
23,5
23,0
25,0
В,О, 20,0
ВаО
19,5
18,0
22,0
10,0
А1 гОз
9,0
8,0
20,0
23,5
ZnO
25,0
3,5.
5,0
Те02
1,5
Химический состав и свойства
1, Химический состав, мас ° %:
8 02
ВаО 18-22.
МаОФ 8 10
Zn0 20-25
ТеО 1,5-5
Синтез стекла осуществляют в газовой пламенной печи при температуре 1460-1480 С. В качестве сырьевых материалов для приготовления шихты используют кварцевый песок, глино- . зем, борную кислоту, углекислый барий, оксиды цинка и теллура.
В таблице приведены конкретные примеры стекол и их физико-химические свойства. В качестве образца ,для сравнения выбран известный сос, тав.
Сопоставительный анализ химичес.,кого состава и свойств известного и предлагаемых составов стекол показал, что последние отличаются новым компонентом — оксидом теллура и иным соотношением остальных компонентов, благодаря чему достигается повышение. химической устойчивости к воде до П гидролитического класса (улучшается на 30%) и снижение диэлектрических потерь. Кроме того, введение оксида теллура улучшает технологические свойства стекломассы и снижает температуру спаивания стекла с керамикой.! 127856
Продолжение таблицы
Химический состав и свойства
Состав
2. Физико химические свойства температура начала размягчения, С
645
650
630 температура спаивания, Ос
730
720
750 температурный коэффициент линейного расширения от 20-300 С, g.i0 град
54
58 химическая устойчивость к воде, гидролитический класс (Е потери массы) П (0,095) П (О, 085) П (0,09) диэлектрические потери, tglx10 < при Е=10 Гц
9,75
9,5 диэлектрическая проницаемость
I
Заказ 8833/17 Тираж 468 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий . 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 !
Филиал ППП "Патент", г . Ужгород, ул. Проектная, 4
Составитель Г.Буровцева
Редактор Н.Яцола Техред M.Íàäü Корректор Н. Король с