Стекло для межслойной изоляции

Стекло для межслойной изоляции

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СТЕКЛО ДЛЯ МЕЖСЛОЙНОЙ ИЗОЛЯЦИИ , содержащее SiO , BjOg, BaO, и ZnO, отличающееся тем, что, с целью повышения электрического сопротивления и снижения тангенса угла диэлектрических потерь, оно дополнительно содержит CdO при следующем соотношении компонентов , мас.%г SiOj, 20,5-27,5 BzO, 11,5-17,5 BaO 29,5-37,0 6,5-8,5 ZnO 17,5-19,0 CdO 1,5-5,0

СОЮЗ СОВЕТСКИХ .

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19> (И) з(59 С 03 С 3/22; С 03 С 3/10

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABT0PCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21,) 3617647/29-33 (22) 01.06.83 (46) 07.12.84. Бюл. № 45 (72) Н.M.Áoáêîâà, Г,Е.Рачковская и Л.Г.Шишканова (71) Белорусский ордена Трудового

Красного Знамени технологический институт им.С,M.Êèðîâà (53) 666.112.6(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР № 863520, кл. С 03 С 3/08, .1981.

2.. Авторское свидетельство СССР по заявке ¹ 3421552/29-33, кл. С 03 С 3/10, 1982. (54)(57) СТЕКЛО ДЛЯ ИЕЖСЛОЙНОЙ ИЗОЛЯЦИИ содержащее $102 ВВОЗ Вао, А0 03 и ZnO, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения электрического сопротивления и снижения тангенса угла диэлектрических потерь, оно дополнительно содержит Cd0 при следующем соотношении компонентов, мас.X."

810 20,5-27,5

В О 1 1,5-17,5

ВаО 29,5-37,0

А 0203 6,5-8,5

Zn0 . 17,5-19,0

Cd0 l, 5-5. 0

2 .

Состав з

Известный

20,5

30-35

24,5

27,5

13 5 11 5

29 5 37,0

17,5

18-23

23-28

В2 Оз

ВаО

32,5

1 11278

Изобретение относится к составам электроизоляционных стекол, которые рекомендовано использовать в микроэлектронике для создания изоляционных стеклокристаллических покрытий на керамической подложке при изоляции многоуровневой медной разводки коммутационных плат.

Известно стекло для спаивания и межслойной изоляции, следующего 10 состава, мас.7: РЪО 57-б2; В Oз 13 5. 15,5; ЫО 1,3-1,5; ZnO 13,01 5,0 11.

Недостач ком указанного стекла является наличие большого содержания токсичного оксида свинца, восстанавливающегося до металлического в защитных средах, в частности в среде азота, приводящего к ухудшению электроизоляционных свойств 20 стеклокристаллических покрытий.

Наиболее близким по технической сущности.и достигаемому результату к изобретению является стекло следую-, щего состава, мас.Ж: Бч.02 30,0-35; 25

В Оз 18-23; ВаО 23-28; APg03 4-б;

ZnO 15-17 Г2 ).

Известное стекло не содержит в своем составе оксида свинца и,позволяет получить изоляционное покрытие по керамике, используя медную разводку вместо разводки из драгметаллов. Однако недостатком стекла являются невысокие электроизоляционные свойства получаемого на его осно35 ве покрытия: сравнительно низкое электросопротивление и высокие диэлектрические потери, а также слабая химическая совместимость стекла с медью. . 40

Цель изобретения — повышение электрического сопротивления и сниже. ние. тангенса угла диэлектрических потерь.

Поставленная цель достигается тем, что стекло для межслойной изоляции, содержащее SiO@, В О, ВаО, !

Компоненты и свойства

59 1

A P> Оэ и ЕпО, дополнительно содержит

CdO при следующем соотношении компонентов, мас.X:

SiO2 20,5-27,5

В О . 11, 5-17,5

ВаО 29,5-37,0

АР О б;5-8,5

ZnO 17,5-19, О

Cd0 1,5-5,0

Варку стекол осуществляют в газовой пламенной печи при температуре

1450-1470 С. В качестве сырьевых материалов для приготовления шихты используют кварцевый песок, глинозем, борную кислоту, углекислый барий, оксиды цинка и кадмия.

Конкретные примеры стекол и физико-химические свойства созданных на их основе изоляционных покрытий приведены в таблице. В качестве образца для сравнения выбрано известное стекло.

Как видно из таблицы, ситаллоцемент на основе предлагаемого стекла характеризуется по сравнению с базовым повышенным электрическим сопротивлением, величина которого на три порядка (10 ) выше, чем у известного, и низкими диэлектрическими потерями (tgd"ïðè 1=1,5 МГц = в 2 раза ниже). Улучшение изоляционных свойств стеклокристаллического по1 крытия позволяет получить надежную изоляцию многослойных плат с медной разводкой, повысить надежность полупроводниковых приборов и интегральных схем. Кроме того, введение в состав стекла оксида кадмия улучшает химическую совместимость стек-, ла с медью (медной разводкой) в среде азота. Применение защитной среды (азота) при создании межслойной изоляции является обязательным условием при замене разводки из драгметалла на медную во избежание окисления меди.

Продолжение табли

1127859

6 5

МИМОЗ

8,5

7,0

4-6

Zn0

18 5

15-1 7

2,5

Gd0

5 0

1,5

Температура размягчения .стекла, С 655210 660+ 10- 660+10

620-650

52 2

54+2

5612

54-60

10 " 6 7 10 5 9 10

15-25

Температура кристаллизации, С 850L5 870é5

860+-5

900+5

Составитель Г.Буровцева.

Редактор Н.Яцола Техред М.Надь Корректор Н.Король

Заказ 8833/17 Тираж 468 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент .,,, r.Óæãîðîä, ул.Проектная, 4

Физико-химические свойства

Температура варки стекла, С

Температурный коэффициент линейного расширения покрытия в интервале температур

20-300С

oL 10" град "

Объемное удельное электрическое сопротивление покрытия, Ом см

Диэлектрические потери покрытия

8 д -10 4при

f=1,5 МГц

1460ь10 1460+10 1460+10 1460