Предметный стол

Предметный стол

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛ, содержащий корпус с установленным в нем основанием, в котором выполнены воздуховодные каналы, нагревательный элемент и датчик температуры, о тличающийся тем, что, с целью повьшения его производитель . ПЗ .г.. / fi- (,, т;: / 0}7;С/ ности, основание выполнено в виде фольгированной с двух сторон гибкой диэлектрической пластины, установленной на корпусе посредством введенных в него упругих тяг, закрепленных концами на периферии диэлектрической пластины, а нагреватель, вьтолнен в виде плоского проводника, который образован канавкой, выполненной на фольге диэлектрической пластины со стороны, обращенной к корпусу. 2. Стол по п. 1,отличающ и и с я . тем, что упругие тяги выполнены в виде винтов, размещенных головками на основании и установленных с зазором в резьбовыхотверстиях , выполненных в корпусе, и цилинд (Л рических пружин, одними концами закрепленных на свободных концах винтов , а другими концами соединенных между собой в центральной части корпуса .

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) SU О!) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOlVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

И 14 Ю У

f 12 И 27

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3625474/24-21 (22) 15.07.83 (46) 07. 12.84. Бюл. ¹- 45 (72) С.С. Саркисиан, Л.А. Гаспарян и Т.Г.. Чакмишян (53) 621.396.69-181.48(088,8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

¹ 214138, кл. G 02 В 21/30, 1968.

2. Кругер M.Я, и др. Справочник конструктора оптико-механических приборов. M. — Ë., "Машиностроение", 1963, с. 292.

3. Нагреватель М3.031.002 установки Ашот — 6, номер гос,регистрации

2349951 (прототип). (54)(57) 1. ПРЕДИЕТНЪ|Й СТОЛ, содержащий корпус с установленным в нем основанием, в котором выполнены воздуховодные каналы, нагревательный элемент и датчик температуры, о тл и ч а ю.шийся тем, что, с целью повышения его производитель,„11 Сог в г1/30 н01т 2 66 ности, основание выполнено в виде фольгированной с двух сторон гибкой диэлектрической пластины, установленной на корпусе посредством введенных в него упругих тяг, закрепленных концами на периферии диэлектрической пластины, а нагреватель выполнен в виде плоского проводника, который образован канавкой, выполненной на фольге диэлектрической пластины со стороны, обращенной к корпусу.

2. Стол по и. 1, отличаюшийся . тем, что упругие тяги выполнены в виде винтов, размещенных головками на основании и установленных с зазором в резьбовых отверстиях, выполненных в корпусе, и цилиндрических пружин, одними концами закрепленных на свободных концах винтов, а другими концами соединенных между собой в центральной части корпуса.

1128213

Изобретение относится к электронному машиностроению и предназначено для проверки и исследования полупроводниковых пластин преимущественно в контрольно-измерительном оборудовании производства изделий электронной техники.

Известно устройство, содержащее вакуумную камеру, питаемый от источнйка тока нагревательный элемент 10 в виде индукционной катушки, а также держатель из электропроводного материала P t j.

Однако такое устройство непригодно для большинства работ по измерению и исследованию полупроводниковых пластин из-за воздействия электромагнитных полей при индукционном нагреве.

Известны также предметные столы, в которых используются токопроводящие 20 покрытия на стекле. В этом случае подложкой полупроводниковой пластины служит токопроводящая.пленка, которой покрывается стеклянная пластинка (2).

Однако в момент измерения параметров полупроводниковой пластины последняя оказывается под напряжением.

Вследствие этого такие предметные столики также непригодны для работы с полупроводниковыми пластинами.

Наиболее близким по технической сущности к предложенному является предметный стол, содержащий корпус с устаноВленным в нем основанием, . 35 в котором выполнены воздуховодные каналы, нагревательный элемент и датчик температуры 533.

Недостатком известного устройства является большая металлоемкость осно40 вания и корпуса, обусловленная тре-. бованиями плоскостности основания и равномерности распределения температур по предметной плоскости, и малая скорость нагрева и охлаждения, 45 .что снижает производительность устФ ройства. ством введенных в него упругих тяг, закрепленных концами на периферии диэлектрической пластины, а нагреватель выполнен в виде плоского проводника, который образован канавкой, выполненной на фольге диэлектрической пластины со стороны, обращенной к корпусу, причем упругие тяги выполнены в виде винтов, размещенных головками на основании и установленных с зазором в резьбовых отверстиях, выполненных в корпусе, и цилиндрических пружин, одними концами закрепленных на свободных концах винтов, а другими концами соединенных между собой В центральной части корпуса.

На фиг. 1 представлен предметный стол, вертикальный разрез на фиг.2 разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез Б-Б на фиг. 2; на фиг, 4 — разрез В-В на фиг. 3; на фиг. 5 — узел I на фиг.3 на фиг.б — узел II на фиг. 3.

Предметный стол содержит основание 1, выполненное в виде пластины из тонколистового (толщиной 0,25мм) гибкого фольгированного диэлектрика, в котором верхний слой 2 (медная фольга) имеет хромовое покрытие (толщина до 3 мкм) и служит токопроводящей подложкой, нижний слой (медная фольга) используется для образования нагревательного элемента 3, а диэлектрик 4 является электроизолятором для токопроводящей подложки. Нагревательный элемент 3 представляет собой плоский проводник в виде спирали равного сечения, образованной канавкой 4, химически вытравленной в фольге. Концы нагревательного элемента 3 выведены за пределы предметного столика: центральный — через последовательно припаянные ось 5 и шину 6, периферийный — через припаянную шину 7. Основание 1 нагревательным элементом 3 примыкает к торцу электро- и теплоизоляционного корпуса 8 (в данной конструкции корпус выполнен из гетинакса).

Цель изобретения — повьппение производительности.

Цель достигается тем, что в пред- 50 метном столе, содержащем корпус с установленным в нем основанием, в котором выполнены воздуховодные каналы, нагревательный элемент и .датчик температуры, основание выпол- 55 нено в виде фольгированной с двух сторон гибкой диэлекТрической пласти,ны, установленной на .корпусе посредНа примыкающем к основанию 1 то1. це корпуса 8 выполнены воздуховодные каналы, образованные кольцевыми канавками 9, которые соединены со штуцером 10 при помощи двух вертикальных отверстий 11 и одного магистрального отверстия 12, составляющих вакуум-проводную систему. Напротив канавок 9 в основании 1 выполнен ряд капиллярных отверстий 13. соединяющих

3 112821 вакуумную систему с предметной плоскостью. На торце корпуса 8 также имеются воздуховодные каналы, образованные канавками 14, которые при помощи двух пар вертикальных отвер- 5 стий 15 н двух магистральных отверстий 16 соединены со штуцерами 17 и 18, являющимися соответственно входом и выходом системы продува охлаждающим газом. 10

На периферии Основания 1 равномер» но по окружности выполнены отверстия, в которых установлены винты 19. Головки винтов 19 опираются на основание 1, а средние части ввинчены в резьбовые отверстия, равномерно расположенные по окружности на уточненном краю корпуса 8, а .резьбовые накбнечники винтов служат зацепами.для пружин 20.

Пружины 20 изготовлены из проволоки диаметроМ, меньшим по сравнению с шагом резьбы винтов 19; благодаря этому концы пружин фиксированно ложатся в резьбовые канавки винтов.

ВтОрые кОнЦы пружин схОДЯтсЯ к центру корпуса 8 и вставлены в отверстия кольца 21.

Винты 19 сопрягаются с резьбовыми отверстиями корпуса 8 с зазором на малой длине. Благодаря этому они, кроме поворота вокруг своей оси, могут качаться в пределах нескольких угловых градусов с центрами качания, расположенным в центре сопряжения винтов 19 с отверстиями корпуса 8.

Таким образом, винты 19 служат упру35 гими тягами, к которым в конечной части резьбы прикладываютея упругие силы, награвленные к центру корпуса 8; при этом цилиндрические части винтов 19 в области их головок растягивают основание 1 равномерно по окружности к периферии.

В пазу корпуса 8 размещен датчик

22 температуры (в качестве датчика использован транзистор KT815). Винт

23 взаимодействует своим коническим наконечником с отверстием датчика 22, поджимая его плоскость к основанию 1, Между датчиком и диском заложена

50 теплопроводная паста 24 (марки КПТ8

ГОСТ 19783-74

Корпус 8 закреплен в стакане 25.

Верхняя полость стакана обрамлена теплоизоляционным кольцом 26 и крышкой 27.

Работа с предметным столом осуществляется следующим образом.

При наладке стола поворотом винтов 19 основание 1 равномерно со всех сторон поджимают к торцу корпуса 8 и благодаря еще и растягивающим усилием, прикладываемым упругими тягами к основанию, оно оказывается сориентированным параллельно торцовой плоскости корпуса 8. При этом положение пружин по высоте не меняется, так как винты 19, поворачиваясь, ввинчиваются или вывинчиваются в кольцах, отогнутых у пружин в виде зацепов. Далее при установке полупроводниковой пластины на стол и подключении вакуумной сети последовательно через штуцер 10 и отверстия-12, 11, 13 нижняя плоскость полупроводниковой пластины прижимается к наружной поверхности 2 основания 1.

А так как капиллярные отверстия 13 в этом случае закрыты и в полостях канавок 9 создается разрежение, то основание 1 плотнее прилегает к корпусу 8, тем самым точнее ориентируя полупроводниковую пластину по торцу корпуса 8.

При подаче напряжения на шины 6 и 7 через нагревательный элемент 3 проходит ток, выделяя тепло. Благодаря малой толщине диэлектрика подложка 2 нагревается практически одновременно на ту же температуру, что и слой 3. Величину температуры регистрирует датчик 22, связанный с нагревательным элементом 3 при помощи усилительно-преобразовательного блока (не показан).

Малая толщина основания 1 (0,25 мм) обуславливает быстрое нагревание и охлаждение подложки 2. Однако в обычных условиях время охлаждения значительно больше времени нагрева. Для ускорения процесса охлаждения в полость канавок 14 через штуцер 17 подйот воздух, например, от маломощного вентилятора. Этого оказывается достаточным, чтобы в значительной степени скомпенсировать разность между временем охлаждения и нагрева.

Благодаря наличию воздуховодных каналов, а также относительной тепловой изоляции рабочей полости с помощью кольца 26 и крышки 27, стол может использоваться для получения температур ниже комнатной. Для этого в стол через штуцер 17 продувают охлажденный гаэ, от охлажденного осушенного воздуха до паров азота.

1128213

4и2 2

11282 13

Филиал ППП "Патент", г. Ухгород, ул. Проектная, 4

ВНИИПИ

Тираж 496

Заказ 9026/35

Подписное