Способ пропитки карбидкремниевых изделий
Иллюстрации
Показать всеРеферат
1 .СПОСОБ ПРОПИТКИ КАРБИДКРЕМНИЕВЫХ ИЗДЕЛИЙ окунанием в расплав на основе кремния, находящийся в графитовом тигле, отличающийся тем, что, с целью уменьшения ошлакования изделий и повьппения срока службы тигля, процесс ведут при продувке расплава аргоном или азотом через донную и боковую стенки графитового .тигля при избыточном давлении 0,01-0,05 МПа и расходе газа 2-6 . 2, Способ по п. 1, отличающий с я тем, что пропитку ведут при 2550-2600°С. (Л
СОЮЗ СОВЕТСКИХ соцИАлистических
РЕСПУБЛИК
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ с
,л 1 1 ь
К АВТОВСИОМЪ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3547378/23-26 (22) 28. 01. 83 (46) 23. 12.84. Бюл. Р 47 (72) Н.А. Трощенков, 10.Ô, Костыря, И.Н. Зигало, Н.С. Климкович, Н.П. Кабашный, Ю.Д. Сагалевич, С.Т. Яланский и П.И. Новохатько (71) Днепропетровский ордена Трудового Красного Знамени металлургический институт (53) 546.28 261(088.8) (56) 1. Патент СИА У 2725032, кл. 118-51 1965.
2. Временная технологическая инструкция по пропитке заготовок нагревателей КЭН ВП. Запорожье, Запорожский огнеупорный завод, 1982 (прототип) .
„,SU 11 525 А (1) С 01 В 31/36 С 04 В 41/04 (54) (57) 1. СПОСОБ ПРОПИТКИ КАРБИДКРЕМНИЕВЫХ ИЗДЕЛИЙ окунанием в расплав на основе кремния, находящийся в графитовом тигле, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью уменьщения ошлакования иэделий и повыщения срока службы тигля, процесс ведут при продувке расплава аргоном или азотом через донную и боковую стенки графитового . тигля при избыточном давлении
0,01-0,05 МПа и расходе rasa 2-6 нм 1/ч.
2. Способ по п, 1, о т л и ч а юшийся тем, что пропитку ведут при 2550-2600 С.
1 30525
40 ть непреигля, ч
Давление
ИПа
Средняя
2550
6 30,5 54,4
2-2,3
3,8-4,2
0,01-0,012
0,018-0,022
2600
53,5
6 40,1 65,9
5,8-6,0
55,0
2550 6 41,1 . 68,9
2350 21 4,35 37,4
0,046-0,050
20,4
Изобретение относится к производству карбидкремниевых изделий, в частности нагревателей.
Известен способ пропитки карбид кремниевых изделий, включающий их упаковку в камере в порошок из кремния, пропускание электрического тока через стенки камеры, нагрев изделия и порошка до расплавления кремния и выдержку до полного проникновения кремния в поры карбидкремниевого изделия (1), Недостаток этого способа заключается в низком выходе годных изделий иэ-за неравномерной пропитки кремнием по поверхности и сечению изделий.
Наиболее близким к изобретению является способ пропитки карбидкремниевых изделий окунанием в расплав на основе кремния, размещенном в графитовом тигле. Пропитку осуществляют при 2300-2400 С (21. Недостатки известного способа заключаются в ошлаковывании изделий и малом сроке службы графитового тигля при пропитке.
Цель изобретения — уменьшение ошлаковывания изделий и повышение срока службы.
Поставленная цель достигается тем, что согласно способу пропитки карбидкремниевых изделий окунанием в расплав на основе кремния, размещснном в графитовом тигле, процесс ведут при продувке расплава аргоном или азотом через донную или боковую стенки графитового тигля при избыточном давлении 0,01-0,05 MIIa и расходе газа 2-6 нм /ч.
Причем пропитку ведут при
2550-2600 С, Продуваемый через донную или боковую стенки тигля аргон или азот
5 создает газовую защиту, не позволяет жидкому кремнию просачиваться наружу и, кроме того, механически перемешивает расплав. Тем самым создаются условия для уменьшения ошлаковывания изделий и повышения срока службы тигля.
При избыточном давлении менее
0,01 МПа и расходе газа менее
2.нм /ч эффект незначителен, а при
15 давлении более 0,05 МПа и расходе более 6 нм /ч наблюдается сильное вспучивание расплава, приводящее к браку изделий. Проведение процесса при 2550-2600 С обеспечивает полуо
20 чение изделий лучшего качества.
В тигель из графита марки ППГ засыпают смесь кремния (94 мас.Z ) с 1,1Х бора, расплавляют и добав25 ляют алюминиевую проволоку (4,97.).
В расплав вводят концы карбидкремниевых стержней и доводят температуру расплава до 2550-2600 С. о
Процесс ведут, при продувке расплава аргоном или азотом через донную ,и боковую стенки тигля.
Варианты процесса и достигаемые результаты представлены в таблице.
Из таблицы видно, что использова" ние изобретения позволяет повысить е стойкость тигля в 2-3 раза при снижении брака по ошлаковыванию изделий с 5,3 до 2,5-3Х.
1130525
Продолжение таблицы
2-2, 3
41,0
25002600
8 338 482 0,01-0 012
58,5
8 40,3
76,7
3,8-4,2
0,018-0,022
57,3
0,046-0,05
0,088-0,009
8 39,5 75,1
5, 8-6
26,2
44,4
2500 4 8
1, 8 -2
2550 1
0,06-0,07
6 5
24,4
43,3
2350 28 5,3
П р и м е ч а н и е. Опыты 1-3 проводят при продувке азотом, опыты 5-9 - аргоном. Опыты 8-9 относятся к режимам, выходящим за предлагаемые пределы. В опыте 9 расплав выплескивается из тигля. Опыты 4 и 10 осуществляют по известному способу.
Составитель В, Иванов
Редактор Н. Джуган Техред Т.Маточка Корректор Л. Пилипенко
Заказ 9504/18 -Тираж 463 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4